PECVD grafīta vafeļu atbalsts

PECVD grafīta vafeļu atbalsta piedāvātais attēls

Īss apraksts:

VET Energy grafīta plākšņu balsts, kas paredzēts precizitātei un veiktspējai, ir ideāls materiāls izmantošanai progresīvā plākšņu apstrādē, kur kritiski svarīga ir augsta termiskā stabilitāte un nemainīga veiktspēja. Neatkarīgi no tā, vai strādājat ar pusvadītāju plāksnēm vai citiem smalkiem substrātiem, šis augstas kvalitātes grafīta balsts uzlabos jūsu procesa uzticamību un produkta kvalitāti, padarot to par neaizstājamu sastāvdaļu mūsdienu ražošanā.

Sūtiet mums e-pastu Lejupielādēt kā PDF

Produkta informācija

Produkta tagi

VET Energy PECVD procesa grafīta plākšņu balsts ir kodols, kas paredzēts PECVD (plazmas pastiprinātas ķīmiskās tvaiku uzklāšanas) procesam. Šis produkts ir izgatavots no augstas tīrības pakāpes, augsta blīvuma grafīta materiāla ar izcilu izturību pret augstu temperatūru, izturību pret koroziju, izmēru stabilitāti un citām īpašībām, kas var nodrošināt stabilu atbalsta platformu PECVD procesam, lai nodrošinātu plēves uzklāšanas vienmērīgumu un līdzenumu.

VET Energy grafīta vafeļu balsta "grafīta balsta" dizains var ne tikai efektīvi atbalstīt vafeļu, bet arī nodrošināt termisko stabilitāti augstā temperatūrā un augstspiediena PECVD vidē, lai garantētu procesa stabilitāti.

VET Energy PECVD procesa grafīta vafeļu pamatnei ir šādas īpašības:

▪Augsta tīrība:ārkārtīgi zems piemaisījumu saturs, izvairieties no plēves piesārņošanas, lai nodrošinātu plēves kvalitāti.

▪Augsts blīvums:augsts blīvums, augsta mehāniskā izturība, var izturēt augstu temperatūru un augsta spiediena PECVD vidi.

▪Laba izmēru stabilitāte:nelielas izmēru izmaiņas augstā temperatūrā, lai nodrošinātu procesa stabilitāti.

▪Lieliska siltumvadītspēja:efektīvi pārnes siltumu, lai novērstu vafeļu pārkaršanu.

▪Spēcīga izturība pret koroziju:Spēj pretoties dažādu kodīgu gāzu un plazmas erozijai.

▪Pielāgots pakalpojums:Dažādu izmēru un formu grafīta atbalsta galdus var pielāgot atbilstoši klienta vajadzībām.

Grafīta materiāls no SGL:

Tipisks parametrs: R6510
Indekss	Testa standarts	Vērtība	Vienība
Vidējais graudu izmērs	ISO 13320	10	μm
Tilpuma blīvums	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Atvērta porainība	DIN66133	10	%
Vidējs poru izmērs	DIN66133	1.8	μm
Caurlaidība	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rokvela cietība HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Īpatnējā elektriskā pretestība	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lieces izturība	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Spiedes izturība	DIN 51910	130	MPa
Janga modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termiskā izplešanās (20–200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Siltumvadītspēja (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tas ir īpaši izstrādāts augstas efektivitātes saules bateriju ražošanai, atbalstot G12 liela izmēra vafeļu apstrādi. Optimizēta nesēja konstrukcija ievērojami palielina caurlaidspēju, nodrošinot augstāku ražību un zemākas ražošanas izmaksas.

Prece	Tips	Numura vafeļu nesējs
PEVCD Grephite laiva - 156. sērija	156-13 grefīta laiva	144
	156-19 grefīta laiva	216
	156-21 grefīta laiva	240
	156-23 grafīta laiva	308
PEVCD Grephite laiva - 125. sērija	125-15 grefīta laiva	196
	125-19 grefīta laiva	252
	125-21 grafīta laiva	280