PECVD графитна подлога за плочки

Графитната подлога за плочки од VET Energy PECVD процес е потрошен материјал за јадро дизајниран за PECVD (плазма подобрено хемиско таложење на пареа) процес. Овој производ е направен од графитен материјал со висока чистота и висока густина, со одлична отпорност на високи температури, отпорност на корозија, димензионална стабилност и други карактеристики, може да обезбеди стабилна платформа за поддршка за PECVD процесот, за да се обезбеди униформност и рамномерност на таложењето на филмот.

Дизајнот со „графитна подлога“ на графитната подлога за плочка VET Energy не само што може ефикасно да ја поддржува плочката, туку и да обезбеди термичка стабилност во PECVD средина на висока температура и висок притисок за да се обезбеди стабилност на процесот.

Графитната подлога за плочки од VET Energy PECVD процес ги има следниве карактеристики:

▪Висока чистота:екстремно ниска содржина на нечистотии, избегнувајте контаминација на филмот, за да се обезбеди квалитетот на филмот.

▪Висока густина:висока густина, висока механичка цврстина, може да издржи висока температура и висок притисок PECVD средина.

▪Добра димензионална стабилност:мали димензионални промени на висока температура за да се обезбеди стабилност на процесот.

▪Одлична топлинска спроводливост:ефикасно пренесување на топлината за да се спречи прегревање на плочката.

▪Силна отпорност на корозија:Способност да се спротивстави на ерозијата од разни корозивни гасови и плазма.

▪Прилагодена услуга:Графитните потпорни маси со различни големини и форми можат да се прилагодат според потребите на клиентот.