E funzioni principali dibarca di carburo di siliciuU supportu è u supportu di barca in quarzu sò listessi.Barca di carburo di siliciuU supportu hà una prestazione eccellente ma un prezzu altu. Custituisce una relazione alternativa cù u supportu di barca di quarzu in l'attrezzatura di trasfurmazione di batterie cù cundizioni di travagliu difficili (cum'è l'attrezzatura LPCVD è l'attrezzatura di diffusione di boru). In l'attrezzatura di trasfurmazione di batterie cù cundizioni di travagliu nurmali, per via di e relazioni di prezzu, u carburu di siliciu è u supportu di barca di quarzu diventanu categurie coesistenti è in cumpetizione.
① Relazione di sustituzione in LPCVD è apparecchiature di diffusione di boru
L'equipaggiu LPCVD hè adupratu per l'ossidazione di tunneling di e cellule di batteria è u prucessu di preparazione di u stratu di polisilicio drogatu. Principiu di funziunamentu:
Sottu à una atmosfera à bassa pressione, cumminata cù una temperatura adatta, a reazione chimica è a furmazione di film di deposizione sò ottenute per preparà un stratu d'ossidu di tunneling ultra-sottile è un film di polisilicio. In u prucessu di preparazione di l'ossidazione di tunneling è di u stratu di polisilicio drogatu, u supportu di a barca hà una temperatura di travagliu alta è un film di silicone serà depositatu nantu à a superficia. U coefficientu di dilatazione termica di u quarzu hè abbastanza diversu da quellu di u silicone. Quandu hè adupratu in u prucessu sopra, hè necessariu decapà è rimuovere regularmente u silicone depositatu nantu à a superficia per impedisce chì u supportu di a barca di quarzu si rompa per via di l'espansione è a cuntrazione termica per via di u differente coefficientu di dilatazione termica da u silicone. A causa di u decapaggio frequente è di a bassa resistenza à alta temperatura, u supportu di a barca di quarzu hà una vita corta è hè spessu rimpiazzatu in u prucessu di preparazione di l'ossidazione di tunneling è di u stratu di polisilicio drogatu, ciò chì aumenta significativamente u costu di pruduzzione di a cellula di a batteria. U coefficientu di dilatazione dicarburu di siliciuhè vicinu à quellu di u siliciu. L'integratubarca di carburo di siliciuU supportu ùn richiede micca decapaggio in l'ossidazione di u tunnel è in u prucessu di preparazione di u stratu di polisilicio drogatu. Hà una alta resistenza à alta temperatura è una longa durata di serviziu. Hè una bona alternativa à u supportu di barca di quarzu.
L'equipaggiu di espansione di boru hè principalmente adupratu per u prucessu di dopaggio di elementi di boru nantu à u sustratu di wafer di siliciu di tipu N di a cellula di a batteria per preparà l'emettitore di tipu P per furmà una giunzione PN. U principiu di funziunamentu hè di realizà a furmazione di film di reazione chimica è di deposizione moleculare in una atmosfera à alta temperatura. Dopu chì u film hè furmatu, pò esse diffusu da u riscaldamentu à alta temperatura per realizà a funzione di dopaggio di a superficia di u wafer di siliciu. A causa di l'alta temperatura di funziunamentu di l'equipaggiu di espansione di boru, u supportu di barca di quarzu hà una bassa resistenza à alta temperatura è una breve durata di serviziu in l'equipaggiu di espansione di boru. U integratubarca di carburo di siliciuU supportu hà una alta resistenza à alta temperatura è hè una bona alternativa à u supportu di barca di quarzu in u prucessu di espansione di boru.
② Relazione di sustituzione in altri equipaghji di prucessu
I supporti per barche in SiC anu una capacità di pruduzzione stretta è prestazioni eccellenti. U so prezzu hè generalmente più altu ch'è quellu di i supporti per barche in quarzu. In e cundizioni di travagliu generali di l'equipaggiu di trasfurmazione cellulare, a differenza in a durata di vita trà i supporti per barche in SiC è i supporti per barche in quarzu hè chjuca. I clienti à valle paragunanu è sceglienu principalmente trà u prezzu è e prestazioni in basa à i so prucessi è bisogni. I supporti per barche in SiC è i supporti per barche in quarzu sò diventati coesistenti è cumpetitivi. Tuttavia, u margine di prufittu grossu di i supporti per barche in SiC hè relativamente altu attualmente. Cù a diminuzione di u costu di pruduzzione di i supporti per barche in SiC, se u prezzu di vendita di i supporti per barche in SiC diminuisce attivamente, questu rapprisenterà ancu una maggiore cumpetitività per i supporti per barche in quarzu.
Rapportu d'usu
A strada di a tecnulugia cellulare hè principalmente a tecnulugia PERC è a tecnulugia TOPCon. A quota di mercatu di a tecnulugia PERC hè di 88%, è a quota di mercatu di a tecnulugia TOPCon hè di 8,3%. A quota di mercatu cumminata di e duie hè di 96,30%.
Cum'è mostratu in a figura quì sottu:
In a tecnulugia PERC, i supporti per barche sò richiesti per i prucessi di diffusione frontale di u fosforu è di ricottura. In a tecnulugia TOPCon, i supporti per barche sò richiesti per a diffusione frontale di u boru, LPCVD, a diffusione posteriore di u fosforu è i prucessi di ricottura. Attualmente, i supporti per barche in carburo di siliciu sò principalmente aduprati in u prucessu LPCVD di a tecnulugia TOPCon, è a so applicazione in u prucessu di diffusione di u boru hè stata principalmente verificata.
Figura Applicazione di supporti per barche in u prucessu di trasfurmazione cellulare
Nota: Dopu à u rivestimentu frontale è posteriore di e tecnulugie PERC è TOPCon, ci sò sempre ligami cum'è a serigrafia, a sinterizazione è a prova è a classificazione, chì ùn implicanu micca l'usu di supporti per barche è ùn sò micca elencati in a figura sopra.
Data di publicazione: 15 d'ottobre di u 2024