ક્વાર્ટઝ બોટ સપોર્ટની તુલનામાં સિલિકોન કાર્બાઇડ બોટ સપોર્ટના ફાયદા

ના મુખ્ય કાર્યોસિલિકોન કાર્બાઇડ બોટસપોર્ટ અને ક્વાર્ટઝ બોટ સપોર્ટ સમાન છે.સિલિકોન કાર્બાઇડ બોટસપોર્ટ ઉત્તમ કામગીરી ધરાવે છે પરંતુ ઊંચી કિંમત ધરાવે છે. તે કઠોર કાર્યકારી પરિસ્થિતિઓ (જેમ કે LPCVD સાધનો અને બોરોન પ્રસાર સાધનો) સાથે બેટરી પ્રોસેસિંગ સાધનોમાં ક્વાર્ટઝ બોટ સપોર્ટ સાથે વૈકલ્પિક સંબંધ બનાવે છે. સામાન્ય કાર્યકારી પરિસ્થિતિઓવાળા બેટરી પ્રોસેસિંગ સાધનોમાં, કિંમત સંબંધોને કારણે, સિલિકોન કાર્બાઇડ અને ક્વાર્ટઝ બોટ સપોર્ટ સહઅસ્તિત્વમાં અને સ્પર્ધાત્મક શ્રેણીઓ બની જાય છે.

① LPCVD અને બોરોન પ્રસાર સાધનોમાં અવેજી સંબંધ

LPCVD સાધનોનો ઉપયોગ બેટરી સેલ ટનલિંગ ઓક્સિડેશન અને ડોપ્ડ પોલિસિલિકોન સ્તર તૈયારી પ્રક્રિયા માટે થાય છે. કાર્ય સિદ્ધાંત:

ઓછા દબાણવાળા વાતાવરણમાં, યોગ્ય તાપમાન સાથે સંયોજનમાં, રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા અને ડિપોઝિશન ફિલ્મ રચના પ્રાપ્ત થાય છે જેથી અલ્ટ્રા-થિન ટનલિંગ ઓક્સાઇડ સ્તર અને પોલિસિલિકોન ફિલ્મ તૈયાર થાય છે. ટનલિંગ ઓક્સિડેશન અને ડોપેડ પોલિસિલિકોન સ્તર તૈયારી પ્રક્રિયામાં, બોટ સપોર્ટનું કાર્યકારી તાપમાન ઊંચું હોય છે અને સપાટી પર સિલિકોન ફિલ્મ જમા થશે. ક્વાર્ટઝનો થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક સિલિકોન કરતા તદ્દન અલગ છે. ઉપરોક્ત પ્રક્રિયામાં ઉપયોગ કરતી વખતે, સપાટી પર જમા થયેલા સિલિકોનને નિયમિતપણે અથાણું કરવું અને દૂર કરવું જરૂરી છે જેથી સિલિકોનથી અલગ થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંકને કારણે થર્મલ વિસ્તરણ અને સંકોચનને કારણે ક્વાર્ટઝ બોટ સપોર્ટ તૂટતો અટકાવી શકાય. વારંવાર અથાણાં અને ઓછી ઉચ્ચ-તાપમાન શક્તિને કારણે, ક્વાર્ટઝ બોટ ધારકનું જીવન ટૂંકું હોય છે અને તેને ટનલ ઓક્સિડેશન અને ડોપેડ પોલિસિલિકોન સ્તર તૈયારી પ્રક્રિયામાં વારંવાર બદલવામાં આવે છે, જે બેટરી સેલના ઉત્પાદન ખર્ચમાં નોંધપાત્ર વધારો કરે છે. વિસ્તરણ ગુણાંકસિલિકોન કાર્બાઇડસિલિકોનની નજીક છે. સંકલિતસિલિકોન કાર્બાઇડ બોટટનલ ઓક્સિડેશન અને ડોપ્ડ પોલિસિલિકોન લેયર તૈયારી પ્રક્રિયામાં ધારકને અથાણાંની જરૂર નથી. તેમાં ઉચ્ચ-તાપમાન શક્તિ અને લાંબી સેવા જીવન છે. તે ક્વાર્ટઝ બોટ ધારકનો સારો વિકલ્પ છે.

બોરોન વિસ્તરણ સાધનોનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે બેટરી સેલના N-ટાઈપ સિલિકોન વેફર સબસ્ટ્રેટ પર બોરોન તત્વોના ડોપિંગની પ્રક્રિયા માટે થાય છે જેથી P-ટાઈપ એમિટરને PN જંકશન બનાવવા માટે તૈયાર કરી શકાય. કાર્યકારી સિદ્ધાંત ઉચ્ચ-તાપમાન વાતાવરણમાં રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા અને મોલેક્યુલર ડિપોઝિશન ફિલ્મ રચનાને સાકાર કરવાનો છે. ફિલ્મ બન્યા પછી, સિલિકોન વેફર સપાટીના ડોપિંગ કાર્યને સાકાર કરવા માટે તેને ઉચ્ચ-તાપમાન ગરમી દ્વારા વિખેરી શકાય છે. બોરોન વિસ્તરણ સાધનોના ઉચ્ચ કાર્યકારી તાપમાનને કારણે, ક્વાર્ટઝ બોટ ધારકમાં ઉચ્ચ-તાપમાન શક્તિ ઓછી હોય છે અને બોરોન વિસ્તરણ સાધનોમાં ટૂંકા સેવા જીવન હોય છે. સંકલિતસિલિકોન કાર્બાઇડ બોટહોલ્ડરમાં ઉચ્ચ-તાપમાન શક્તિ હોય છે અને તે બોરોન વિસ્તરણ પ્રક્રિયામાં ક્વાર્ટઝ બોટ હોલ્ડરનો સારો વિકલ્પ છે.

② અન્ય પ્રક્રિયા સાધનોમાં અવેજી સંબંધ

SiC બોટ સપોર્ટમાં ઉત્પાદન ક્ષમતા અને ઉત્તમ કામગીરી હોય છે. તેમની કિંમત સામાન્ય રીતે ક્વાર્ટઝ બોટ સપોર્ટ કરતા વધારે હોય છે. સેલ પ્રોસેસિંગ સાધનોની સામાન્ય કાર્યકારી પરિસ્થિતિઓમાં, SiC બોટ સપોર્ટ અને ક્વાર્ટઝ બોટ સપોર્ટ વચ્ચે સેવા જીવનમાં તફાવત ઓછો હોય છે. ડાઉનસ્ટ્રીમ ગ્રાહકો મુખ્યત્વે તેમની પોતાની પ્રક્રિયાઓ અને જરૂરિયાતોના આધારે કિંમત અને કામગીરી વચ્ચે તુલના કરે છે અને પસંદ કરે છે. SiC બોટ સપોર્ટ અને ક્વાર્ટઝ બોટ સપોર્ટ સહઅસ્તિત્વ અને સ્પર્ધાત્મક બની ગયા છે. જો કે, હાલમાં SiC બોટ સપોર્ટનો કુલ નફો માર્જિન પ્રમાણમાં ઊંચો છે. SiC બોટ સપોર્ટના ઉત્પાદન ખર્ચમાં ઘટાડા સાથે, જો SiC બોટ સપોર્ટની વેચાણ કિંમત સક્રિયપણે ઘટે છે, તો તે ક્વાર્ટઝ બોટ સપોર્ટ માટે વધુ સ્પર્ધાત્મકતા પણ ઉભી કરશે.

વપરાશ ગુણોત્તર

સેલ ટેકનોલોજીનો મુખ્ય માર્ગ મુખ્યત્વે PERC ટેકનોલોજી અને TOPCon ટેકનોલોજી છે. PERC ટેકનોલોજીનો બજાર હિસ્સો 88% છે, અને TOPCon ટેકનોલોજીનો બજાર હિસ્સો 8.3% છે. બંનેનો સંયુક્ત બજાર હિસ્સો 96.30% છે.

નીચેની આકૃતિમાં બતાવ્યા પ્રમાણે:

PERC ટેકનોલોજીમાં, આગળના ફોસ્ફરસ પ્રસરણ અને એનેલીંગ પ્રક્રિયાઓ માટે બોટ સપોર્ટ જરૂરી છે. TOPCon ટેકનોલોજીમાં, આગળના બોરોન પ્રસરણ, LPCVD, પાછળના ફોસ્ફરસ પ્રસરણ અને એનેલીંગ પ્રક્રિયાઓ માટે બોટ સપોર્ટ જરૂરી છે. હાલમાં, TOPCon ટેકનોલોજીની LPCVD પ્રક્રિયામાં સિલિકોન કાર્બાઇડ બોટ સપોર્ટનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે થાય છે, અને બોરોન પ્રસરણ પ્રક્રિયામાં તેમનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે ચકાસવામાં આવ્યો છે.

આકૃતિ કોષ પ્રક્રિયા પ્રક્રિયામાં બોટ સપોર્ટનો ઉપયોગ

નોંધ: PERC અને TOPCon ટેક્નોલોજીના આગળ અને પાછળના કોટિંગ પછી, સ્ક્રીન પ્રિન્ટિંગ, સિન્ટરિંગ અને ટેસ્ટિંગ અને સોર્ટિંગ જેવી લિંક્સ હજુ પણ છે, જેમાં બોટ સપોર્ટનો ઉપયોગ શામેલ નથી અને ઉપરોક્ત આકૃતિમાં સૂચિબદ્ધ નથી.