ຂໍ້ດີຂອງການຮອງຮັບເຮືອຊິລິໂຄນຄາໄບທຽບກັບການຮອງຮັບເຮືອຄວດ

ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງເຮືອຊິລິໂຄນຄາໄບການສະໜັບສະໜູນ ແລະ ການສະໜັບສະໜູນເຮືອ quartz ແມ່ນຄືກັນ.ເຮືອຊິລິໂຄນຄາໄບການຮອງຮັບມີປະສິດທິພາບດີເລີດແຕ່ມີລາຄາແພງ. ມັນເປັນສາຍພົວພັນທາງເລືອກກັບການຮອງຮັບເຮືອ quartz ໃນອຸປະກອນປະມວນຜົນແບັດເຕີຣີທີ່ມີເງື່ອນໄຂການເຮັດວຽກທີ່ຮຸນແຮງ (ເຊັ່ນ: ອຸປະກອນ LPCVD ແລະອຸປະກອນການແຜ່ກະຈາຍ boron). ໃນອຸປະກອນປະມວນຜົນແບັດເຕີຣີທີ່ມີເງື່ອນໄຂການເຮັດວຽກປົກກະຕິ, ເນື່ອງຈາກຄວາມສໍາພັນດ້ານລາຄາ, ການຮອງຮັບເຮືອ silicon carbide ແລະ quartz ກາຍເປັນປະເພດທີ່ມີຢູ່ຮ່ວມກັນແລະແຂ່ງຂັນກັນ.

① ຄວາມສຳພັນໃນການທົດແທນໃນ LPCVD ແລະ ອຸປະກອນການແຜ່ກະຈາຍຂອງໂບຣອນ

ອຸປະກອນ LPCVD ແມ່ນໃຊ້ສຳລັບການຜຸພັງຂອງອຸໂມງແບັດເຕີຣີ ແລະ ຂະບວນການກະກຽມຊັ້ນໂພລີຊິລິຄອນທີ່ມີສານເສີມ. ຫຼັກການເຮັດວຽກ:

ພາຍໃຕ້ບັນຍາກາດຄວາມກົດດັນຕ່ຳ, ບວກກັບອຸນຫະພູມທີ່ເໝາະສົມ, ປະຕິກິລິຍາເຄມີ ແລະ ການສ້າງຟິມຕົກຕະກອນແມ່ນບັນລຸໄດ້ເພື່ອກະກຽມຊັ້ນອອກໄຊອຸດໂມງບາງໆ ແລະ ຟິມໂພລີຊິລິຄອນ. ໃນຂະບວນການຜຸພັງອຸໂມງ ແລະ ການກະກຽມຊັ້ນໂພລີຊິລິຄອນທີ່ມີສານເສີມ, ເສົາຄ້ຳເຮືອມີອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກສູງ ແລະ ຟິມຊິລິຄອນຈະຖືກວາງໄວ້ເທິງໜ້າດິນ. ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງຫີນຄວດແມ່ນແຕກຕ່າງຈາກຊິລິກອນຫຼາຍ. ເມື່ອນຳໃຊ້ໃນຂະບວນການຂ້າງເທິງ, ມັນຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ດອງ ແລະ ເອົາຊິລິຄອນທີ່ວາງໄວ້ເທິງໜ້າດິນເປັນປະຈຳເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ເສົາຄ້ຳເຮືອຄວດແຕກຍ້ອນການຂະຫຍາຍຕົວ ແລະ ການຫົດຕົວທາງຄວາມຮ້ອນເນື່ອງຈາກຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ແຕກຕ່າງຈາກຊິລິກອນ. ເນື່ອງຈາກການດອງເລື້ອຍໆ ແລະ ຄວາມແຂງແຮງຂອງອຸນຫະພູມສູງຕ່ຳ, ເສົາຄ້ຳເຮືອຄວດມີອາຍຸການໃຊ້ງານສັ້ນ ແລະ ມັກຈະຖືກທົດແທນໃນຂະບວນການຜຸພັງອຸໂມງ ແລະ ການກະກຽມຊັ້ນໂພລີຊິລິຄອນທີ່ມີສານເສີມ, ເຊິ່ງເພີ່ມຕົ້ນທຶນການຜະລິດຂອງແບັດເຕີຣີຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊິລິກອນຄາໄບແມ່ນໃກ້ຄຽງກັບຂອງຊິລິໂຄນ. ປະສົມປະສານເຮືອຊິລິໂຄນຄາໄບຕົວຍຶດບໍ່ຕ້ອງການການດອງໃນຂະບວນການຜຸພັງອຸໂມງ ແລະ ຂະບວນການກະກຽມຊັ້ນໂພລີຊິລິຄອນທີ່ມີສານເສີມ. ມັນມີຄວາມແຂງແຮງສູງໃນອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ມີອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ. ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ດີແທນຕົວຍຶດເຮືອ quartz.

ອຸປະກອນຂະຫຍາຍໂບຣອນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສຳລັບຂະບວນການເສີມອົງປະກອບໂບຣອນໃສ່ຊັ້ນຮອງພື້ນຊິລິໂຄນເວເຟີປະເພດ N ຂອງແບັດເຕີຣີເພື່ອກະກຽມຕົວປ່ອຍໄຟຟ້າປະເພດ P ເພື່ອສ້າງຈຸດຕໍ່ PN. ຫຼັກການເຮັດວຽກແມ່ນເພື່ອຮັບຮູ້ປະຕິກິລິຍາເຄມີ ແລະ ການສ້າງຟິມການຕົກຕະກອນໂມເລກຸນໃນບັນຍາກາດທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ຫຼັງຈາກຟິມຖືກສ້າງຂຶ້ນແລ້ວ, ມັນສາມາດແຜ່ກະຈາຍໄດ້ໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ອຸນຫະພູມສູງເພື່ອຮັບຮູ້ໜ້າທີ່ເສີມຂອງໜ້າດິນເວເຟີຊິລິໂຄນ. ເນື່ອງຈາກອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກສູງຂອງອຸປະກອນຂະຫຍາຍໂບຣອນ, ຕົວຍຶດເຮືອ quartz ມີຄວາມແຂງແຮງຂອງອຸນຫະພູມສູງຕ່ຳ ແລະ ມີອາຍຸການໃຊ້ງານສັ້ນໃນອຸປະກອນຂະຫຍາຍໂບຣອນ. ປະສົມປະສານເຮືອຊິລິໂຄນຄາໄບຜູ້ຖືມີຄວາມແຂງແຮງສູງໃນອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ເປັນທາງເລືອກທີ່ດີແທນຜູ້ຖືເຮືອ quartz ໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍ boron.

② ຄວາມສຳພັນການທົດແທນໃນອຸປະກອນຂະບວນການອື່ນໆ

ວັດສະດຸຮອງຮັບເຮືອ SiC ມີກຳລັງການຜະລິດທີ່ແໜ້ນໜາ ແລະ ມີປະສິດທິພາບທີ່ດີເລີດ. ລາຄາຂອງມັນໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນສູງກວ່າວັດສະດຸຮອງຮັບເຮືອ quartz. ໃນສະພາບການເຮັດວຽກທົ່ວໄປຂອງອຸປະກອນປະມວນຜົນເຊວ, ຄວາມແຕກຕ່າງໃນອາຍຸການໃຊ້ງານລະຫວ່າງວັດສະດຸຮອງຮັບເຮືອ SiC ແລະ ວັດສະດຸຮອງຮັບເຮືອ quartz ແມ່ນນ້ອຍ. ລູກຄ້າສາຍລຸ່ມສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປຽບທຽບ ແລະ ເລືອກລະຫວ່າງລາຄາ ແລະ ປະສິດທິພາບໂດຍອີງໃສ່ຂະບວນການ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການຂອງຕົນເອງ. ວັດສະດຸຮອງຮັບເຮືອ SiC ແລະ ວັດສະດຸຮອງຮັບເຮືອ quartz ໄດ້ກາຍເປັນທີ່ມີຢູ່ຮ່ວມກັນ ແລະ ມີການແຂ່ງຂັນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ອັດຕາກຳໄລລວມຂອງວັດສະດຸຮອງຮັບເຮືອ SiC ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສູງໃນປະຈຸບັນ. ດ້ວຍການຫຼຸດລົງຂອງຕົ້ນທຶນການຜະລິດຂອງວັດສະດຸຮອງຮັບເຮືອ SiC, ຖ້າລາຄາຂາຍຂອງວັດສະດຸຮອງຮັບເຮືອ SiC ຫຼຸດລົງຢ່າງຫ້າວຫັນ, ມັນຍັງຈະສ້າງຄວາມສາມາດໃນການແຂ່ງຂັນທີ່ສູງຂຶ້ນກັບວັດສະດຸຮອງຮັບເຮືອ quartz.

ອັດຕາສ່ວນການນຳໃຊ້

ເສັ້ນທາງເຕັກໂນໂລຊີເຊວສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເຕັກໂນໂລຊີ PERC ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີ TOPCon. ສ່ວນແບ່ງຕະຫຼາດຂອງເຕັກໂນໂລຊີ PERC ແມ່ນ 88%, ແລະ ສ່ວນແບ່ງຕະຫຼາດຂອງເຕັກໂນໂລຊີ TOPCon ແມ່ນ 8.3%. ສ່ວນແບ່ງຕະຫຼາດລວມຂອງທັງສອງແມ່ນ 96.30%.

ດັ່ງທີ່ສະແດງຢູ່ໃນຮູບຂ້າງລຸ່ມນີ້:

ໃນເຕັກໂນໂລຊີ PERC, ການຮອງຮັບເຮືອແມ່ນຈຳເປັນສຳລັບຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍຟອສຟໍຣັດດ້ານໜ້າ ແລະ ການອົບແຫ້ງ. ໃນເຕັກໂນໂລຊີ TOPCon, ການຮອງຮັບເຮືອແມ່ນຈຳເປັນສຳລັບການແຜ່ກະຈາຍໂບຣອນດ້ານໜ້າ, LPCVD, ການແຜ່ກະຈາຍຟອສຟໍຣັດດ້ານຫຼັງ ແລະ ຂະບວນການອົບແຫ້ງ. ໃນປະຈຸບັນ, ການຮອງຮັບເຮືອຊິລິກອນຄາໄບດ໌ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນຂະບວນການ LPCVD ຂອງເຕັກໂນໂລຊີ TOPCon, ແລະ ການນຳໃຊ້ຂອງມັນໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍໂບຣອນໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນເປັນສ່ວນໃຫຍ່.

ຮູບທີ 1. ການນຳໃຊ້ເຮືອຮອງຮັບໃນຂະບວນການປຸງແຕ່ງຈຸລັງ

ໝາຍເຫດ: ຫຼັງຈາກການເຄືອບດ້ານໜ້າ ແລະ ດ້ານຫຼັງຂອງເຕັກໂນໂລຊີ PERC ແລະ TOPCon ແລ້ວ, ຍັງມີການເຊື່ອມໂຍງເຊັ່ນ: ການພິມໜ້າຈໍ, ການເຜົາ ແລະ ການທົດສອບ ແລະ ການຈັດຮຽງ, ເຊິ່ງບໍ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການໃຊ້ອຸປະກອນຮອງຮັບເຮືອ ແລະ ບໍ່ໄດ້ລະບຸໄວ້ໃນຮູບຂ້າງເທິງ.