ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරකයට සාපේක්ෂව සිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටු ආධාරකයේ වාසි

ප්‍රධාන කාර්යයන්සිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටුවආධාරකය සහ ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරකය සමාන වේ.සිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටුවආධාරකය විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් ඇති නමුත් ඉහළ මිලක් ඇත. එය කටුක සේවා කොන්දේසි සහිත බැටරි සැකසුම් උපකරණවල (LPCVD උපකරණ සහ බෝරෝන් විසරණ උපකරණ වැනි) ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු සහාය සමඟ විකල්ප සම්බන්ධතාවයක් ඇති කරයි. සාමාන්‍ය සේවා කොන්දේසි සහිත බැටරි සැකසුම් උපකරණවල, මිල සම්බන්ධතා හේතුවෙන්, සිලිකන් කාබයිඩ් සහ ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු සහාය සහජීවන සහ තරඟකාරී කාණ්ඩ බවට පත්වේ.

① LPCVD සහ බෝරෝන් විසරණ උපකරණවල ආදේශන සම්බන්ධතාවය

LPCVD උපකරණ බැටරි සෛල උමං ඔක්සිකරණය සහ මාත්‍රණය කරන ලද පොලිසිලිකන් ස්ථර සකස් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය සඳහා භාවිතා කරයි. ක්‍රියාකාරී මූලධර්මය:

අඩු පීඩන වායුගෝලයක් යටතේ, සුදුසු උෂ්ණත්වය සමඟ ඒකාබද්ධව, රසායනික ප්‍රතික්‍රියා සහ තැන්පත් කිරීමේ පටල සෑදීම මගින් අතිශය තුනී උමං ඔක්සයිඩ් ස්ථරය සහ පොලිසිලිකන් පටලය සකස් කරනු ලැබේ. උමං ඔක්සිකරණය සහ මාත්‍රණය කරන ලද පොලිසිලිකන් ස්ථර සකස් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, බෝට්ටු ආධාරකයට ඉහළ ක්‍රියාකාරී උෂ්ණත්වයක් ඇති අතර මතුපිට සිලිකන් පටලයක් තැන්පත් කෙරේ. ක්වාර්ට්ස් හි තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය සිලිකන් වලට වඩා බෙහෙවින් වෙනස් ය. ඉහත ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා කරන විට, සිලිකන් වලින් වෙනස් තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය හේතුවෙන් තාප ප්‍රසාරණය සහ හැකිලීම හේතුවෙන් ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරකය කැඩී යාම වැළැක්වීම සඳහා මතුපිට තැන්පත් කර ඇති සිලිකන් නිතිපතා අච්චාරු දැමීම සහ ඉවත් කිරීම අවශ්‍ය වේ. නිතර අච්චාරු දැමීම සහ අඩු ඉහළ උෂ්ණත්ව ශක්තිය හේතුවෙන්, ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු රඳවනයට කෙටි ආයු කාලයක් ඇති අතර උමං ඔක්සිකරණය සහ මාත්‍රණය කරන ලද පොලිසිලිකන් ස්ථර සකස් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී නිතර ප්‍රතිස්ථාපනය වේ, එය බැටරි සෛලයේ නිෂ්පාදන පිරිවැය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි කරයි. ප්‍රසාරණ සංගුණකයසිලිකන් කාබයිඩ්සිලිකන් වලට ආසන්නයි. ඒකාබද්ධසිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටුවඋමං ඔක්සිකරණය සහ මාත්‍රණය කරන ලද පොලිසිලිකන් ස්ථර සකස් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී රඳවනයට අච්චාරු දැමීම අවශ්‍ය නොවේ. එයට ඉහළ උෂ්ණත්ව ශක්තියක් සහ දිගු සේවා කාලයක් ඇත. එය ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු රඳවනයට හොඳ විකල්පයකි.

බෝරෝන් ප්‍රසාරණ උපකරණ ප්‍රධාන වශයෙන් භාවිතා කරනුයේ බැටරි සෛලයේ N-වර්ගයේ සිලිකන් වේෆර් උපස්ථරය මත බෝරෝන් මූලද්‍රව්‍ය මාත්‍රණය කිරීමේ ක්‍රියාවලිය සඳහා වන අතර එමඟින් P-වර්ගයේ විමෝචකය PN හන්දියක් සෑදීමට සූදානම් වේ. ක්‍රියාකාරී මූලධර්මය වන්නේ ඉහළ උෂ්ණත්ව වායුගෝලයක රසායනික ප්‍රතික්‍රියාව සහ අණුක තැන්පත් පටල සෑදීම සාක්ෂාත් කර ගැනීමයි. පටලය සෑදූ පසු, සිලිකන් වේෆර් මතුපිට මාත්‍රණ ක්‍රියාකාරිත්වය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්ව උණුසුම මගින් එය විසරණය කළ හැකිය. බෝරෝන් ප්‍රසාරණ උපකරණවල ඉහළ ක්‍රියාකාරී උෂ්ණත්වය නිසා, ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු රඳවනයට අඩු ඉහළ උෂ්ණත්ව ශක්තියක් සහ බෝරෝන් ප්‍රසාරණ උපකරණවල කෙටි සේවා කාලයක් ඇත. ඒකාබද්ධසිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටුවරඳවනයට ඉහළ උෂ්ණත්ව ශක්තියක් ඇති අතර බෝරෝන් ප්‍රසාරණ ක්‍රියාවලියේදී ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු රඳවනයට හොඳ විකල්පයකි.

② අනෙකුත් ක්‍රියාවලි උපකරණවල ආදේශන සම්බන්ධතාවය

SiC බෝට්ටු ආධාරකවල දැඩි නිෂ්පාදන ධාරිතාවක් සහ විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් ඇත. ඒවායේ මිල සාමාන්‍යයෙන් ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරකවලට වඩා ඉහළ ය. සෛල සැකසුම් උපකරණවල සාමාන්‍ය සේවා තත්වයන් තුළ, SiC බෝට්ටු ආධාරක සහ ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරක අතර සේවා කාලයෙහි වෙනස කුඩා වේ. පහළ ප්‍රවාහයේ ගනුදෙනුකරුවන් ප්‍රධාන වශයෙන් සංසන්දනය කර තමන්ගේම ක්‍රියාවලීන් සහ අවශ්‍යතා මත පදනම්ව මිල සහ කාර්ය සාධනය අතර තෝරා ගනී. SiC බෝට්ටු ආධාරක සහ ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරක සහජීවනයෙන් හා තරඟකාරී වී ඇත. කෙසේ වෙතත්, SiC බෝට්ටු ආධාරකවල දළ ලාභ ආන්තිකය වර්තමානයේ සාපේක්ෂව ඉහළ ය. SiC බෝට්ටු ආධාරකවල නිෂ්පාදන පිරිවැය පහත වැටීමත් සමඟ, SiC බෝට්ටු ආධාරකවල විකුණුම් මිල ක්‍රියාකාරීව පහත වැටේ නම්, එය ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ආධාරක සඳහා වැඩි තරඟකාරිත්වයක් ද ඇති කරයි.

භාවිත අනුපාතය

සෛල තාක්ෂණ මාර්ගය ප්‍රධාන වශයෙන් PERC තාක්ෂණය සහ TOPCon තාක්ෂණය වේ. PERC තාක්ෂණයේ වෙළඳපල කොටස 88% ක් වන අතර TOPCon තාක්ෂණයේ වෙළඳපල කොටස 8.3% කි. මෙම දෙකෙහි ඒකාබද්ධ වෙළඳපල කොටස 96.30% කි.

පහත රූපයේ දැක්වෙන පරිදි:

PERC තාක්ෂණයේ දී, ඉදිරිපස පොස්පරස් විසරණය සහ ඇනීලිං ක්‍රියාවලීන් සඳහා බෝට්ටු ආධාරක අවශ්‍ය වේ. TOPCon තාක්ෂණයේ දී, ඉදිරිපස බෝරෝන් විසරණය, LPCVD, පසුපස පොස්පරස් විසරණය සහ ඇනීලිං ක්‍රියාවලීන් සඳහා බෝට්ටු ආධාරක අවශ්‍ය වේ. වර්තමානයේ, සිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටු ආධාරක ප්‍රධාන වශයෙන් TOPCon තාක්ෂණයේ LPCVD ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා වන අතර, බෝරෝන් විසරණ ක්‍රියාවලියේදී ඒවායේ යෙදුම ප්‍රධාන වශයෙන් සත්‍යාපනය කර ඇත.

රූපය සෛල සැකසුම් ක්‍රියාවලියේදී බෝට්ටු ආධාරක යෙදීම

සටහන: PERC සහ TOPCon තාක්ෂණයන්හි ඉදිරිපස සහ පසුපස ආලේපනයෙන් පසුව, බෝට්ටු ආධාරක භාවිතය සම්බන්ධ නොවන සහ ඉහත රූපයේ ලැයිස්තුගත කර නොමැති තිර මුද්‍රණය, සින්ටර් කිරීම සහ පරීක්ෂා කිරීම සහ වර්ග කිරීම වැනි සබැඳි තවමත් පවතී.