Fonksyon prensipal yo nanbato carbure SilisyòmSipò ak sipò bato kwatz yo se menm bagay la.Bato carbure SilisyòmSipò a gen pèfòmans ekselan men pri a wo. Li konstitye yon relasyon altènatif ak sipò bato kwatz nan ekipman pwosesis batri ki gen kondisyon travay difisil (tankou ekipman LPCVD ak ekipman difizyon bor). Nan ekipman pwosesis batri ki gen kondisyon travay òdinè, akòz relasyon pri, carbure Silisyòm ak sipò bato kwatz vin tounen kategori koegzistan ak konpetitif.
① Relasyon sibstitisyon nan LPCVD ak ekipman difizyon bor
Ekipman LPCVD yo itilize pou oksidasyon tinèl selil batri ak pwosesis preparasyon kouch polisilikon dope. Prensip fonksyònman:
Anba yon atmosfè presyon ki ba, konbine avèk yon tanperati ki apwopriye, yo reyalize yon reyaksyon chimik ak fòmasyon yon fim depo pou prepare yon kouch oksid tinèl ultra-mens ak yon fim polisilikon. Nan pwosesis preparasyon oksidasyon tinèl ak kouch polisilikon dope a, sipò bato a gen yon tanperati travay ki wo epi yon fim silikon pral depoze sou sifas la. Koyefisyan ekspansyon tèmik kwatz la byen diferan de silikon an. Lè yo itilize li nan pwosesis ki anwo a, li nesesè pou regilyèman dekape epi retire silikon ki depoze sou sifas la pou anpeche sipò bato kwatz la kraze akòz ekspansyon tèmik ak kontraksyon akòz diferan koyefisyan ekspansyon tèmik ak silikon an. Akòz dekape souvan ak rezistans tanperati ki ba, sipò bato kwatz la gen yon lavi kout epi yo souvan ranplase li nan pwosesis preparasyon oksidasyon tinèl ak kouch polisilikon dope a, sa ki ogmante anpil pri pwodiksyon selil batri a. Koyefisyan ekspansyon...carbure Silisyòmse pre ak sa ki nan silikon. Entegre abato carbure SilisyòmSipò a pa bezwen marinasyon nan pwosesis oksidasyon tinèl la ak preparasyon kouch polisilikon dope a. Li gen yon gwo rezistans tanperati ki wo ak yon lavi sèvis ki long. Li se yon bon altènatif pou sipò bato kwatz la.
Ekipman ekspansyon bor yo sitou itilize pou pwosesis dopaj eleman bor sou substrati waf silikon tip N nan selil batri a pou prepare emitè tip P a pou fòme yon jonksyon PN. Prensip fonksyònman an se reyalize reyaksyon chimik ak fòmasyon fim depo molekilè nan yon atmosfè tanperati ki wo. Apre fim nan fin fòme, li ka difize pa chofaj tanperati ki wo pou reyalize fonksyon dopaj sifas waf silikon an. Akòz tanperati fonksyònman ki wo nan ekipman ekspansyon bor la, sipò bato kwatz la gen yon rezistans tanperati ki ba epi yon lavi sèvis kout nan ekipman ekspansyon bor la. Entegre a...bato carbure SilisyòmDetantè a gen yon gwo rezistans nan tanperati ki wo epi li se yon bon altènatif pou detantè bato kwatz la nan pwosesis ekspansyon bor la.
② Relasyon sibstitisyon nan lòt ekipman pwosesis
Sipò bato SiC yo gen yon kapasite pwodiksyon sere ak yon pèfòmans ekselan. Pri yo jeneralman pi wo pase pri sipò bato kwatz yo. Nan kondisyon travay jeneral ekipman pwosesis selil yo, diferans ki genyen nan lavi sèvis ant sipò bato SiC ak sipò bato kwatz yo piti. Kliyan ki an aval yo sitou konpare epi chwazi ant pri ak pèfòmans ki baze sou pwòp pwosesis ak bezwen yo. Sipò bato SiC yo ak sipò bato kwatz yo vin koegziste epi konpetitif. Sepandan, maj pwofi brit sipò bato SiC yo relativman wo kounye a. Avèk bès nan pri pwodiksyon sipò bato SiC yo, si pri lavant sipò bato SiC yo diminye aktivman, li pral poze tou yon pi gwo compétitivité pou sipò bato kwatz yo.
Rapò itilizasyon
Teknoloji selilè a se sitou teknoloji PERC ak teknoloji TOPCon. Pataje mache teknoloji PERC a se 88%, epi pati mache teknoloji TOPCon an se 8.3%. Pataje mache konbine de konpayi yo se 96.30%.
Jan yo montre nan figi ki anba a:
Nan teknoloji PERC, sipò bato yo nesesè pou pwosesis difizyon fosfò devan ak rekui. Nan teknoloji TOPCon, sipò bato yo nesesè pou difizyon bor devan, LPCVD, difizyon fosfò dèyè ak pwosesis rekui. Kounye a, sipò bato carbure Silisyòm yo sitou itilize nan pwosesis LPCVD nan teknoloji TOPCon, epi aplikasyon yo nan pwosesis difizyon bor la te sitou verifye.
Figi Aplikasyon sipò bato nan pwosesis pwosesis selilè a
Remak: Apre kouch devan ak dèyè teknoloji PERC ak TOPCon yo, toujou gen lyen tankou enprime ekran, sinterizasyon ak tès ak klasman, ki pa enplike itilizasyon sipò bato epi yo pa nan lis nan figi ki anwo a.
Dat piblikasyon: 15 Oktòb 2024