প্রধান কাজগুলোসিলিকন কার্বাইড নৌকাসাপোর্ট এবং কোয়ার্টজ বোট সাপোর্ট একই।সিলিকন কার্বাইড নৌকাসিলিকন কার্বাইডের কার্যক্ষমতা চমৎকার কিন্তু দাম বেশি। প্রতিকূল কর্মপরিবেশযুক্ত ব্যাটারি প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামগুলিতে (যেমন এলপিসিভিডি সরঞ্জাম এবং বোরন ডিফিউশন সরঞ্জাম) এটি কোয়ার্টজ বোট সাপোর্টের সাথে একটি বিকল্প সম্পর্ক স্থাপন করে। সাধারণ কর্মপরিবেশযুক্ত ব্যাটারি প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামগুলিতে, মূল্যের সম্পর্কের কারণে, সিলিকন কার্বাইড এবং কোয়ার্টজ বোট সাপোর্ট সহাবস্থানকারী এবং প্রতিযোগী শ্রেণীতে পরিণত হয়।
① এলপিসিভিডি এবং বোরন ব্যাপন যন্ত্রে প্রতিস্থাপন সম্পর্ক
ব্যাটারি সেলের টানেলিং অক্সিডেশন এবং ডোপড পলিসিলিকন স্তর তৈরির প্রক্রিয়ায় এলপিসিভিডি সরঞ্জাম ব্যবহার করা হয়। কার্যপ্রণালী:
নিম্নচাপের পরিবেশে, উপযুক্ত তাপমাত্রার সাথে মিলিত হয়ে, রাসায়নিক বিক্রিয়া এবং জমাটবদ্ধ ফিল্ম গঠনের মাধ্যমে অতি-পাতলা টানেলিং অক্সাইড স্তর এবং পলিসিলিকন ফিল্ম প্রস্তুত করা হয়। টানেলিং অক্সিডেশন এবং ডোপড পলিসিলিকন স্তর তৈরির প্রক্রিয়ায়, বোট সাপোর্টের একটি উচ্চ কার্যকারী তাপমাত্রা থাকে এবং এর পৃষ্ঠে একটি সিলিকন ফিল্ম জমা হয়। কোয়ার্টজের তাপীয় প্রসারণ সহগ সিলিকনের থেকে বেশ ভিন্ন। উপরোক্ত প্রক্রিয়ায় ব্যবহারের সময়, সিলিকনের থেকে ভিন্ন তাপীয় প্রসারণ সহগের কারণে তাপীয় প্রসারণ ও সংকোচনের ফলে কোয়ার্টজ বোট সাপোর্টটি যাতে ভেঙে না যায়, সেজন্য এর পৃষ্ঠে জমা হওয়া সিলিকন নিয়মিতভাবে পিকেল করে অপসারণ করা প্রয়োজন। ঘন ঘন পিকেল করা এবং উচ্চ-তাপমাত্রা সহ্য করার ক্ষমতা কম থাকার কারণে, কোয়ার্টজ বোট হোল্ডারের আয়ুষ্কাল কম হয় এবং টানেলিং অক্সিডেশন ও ডোপড পলিসিলিকন স্তর তৈরির প্রক্রিয়ায় এটি ঘন ঘন প্রতিস্থাপন করতে হয়, যা ব্যাটারি সেলের উৎপাদন খরচ উল্লেখযোগ্যভাবে বাড়িয়ে দেয়।সিলিকন কার্বাইডসিলিকনের কাছাকাছি। সমন্বিতসিলিকন কার্বাইড নৌকাটানেল অক্সিডেশন এবং ডোপড পলিসিলিকন স্তর তৈরির প্রক্রিয়ায় এই হোল্ডারটির জন্য পিকলিং করার প্রয়োজন হয় না। এর উচ্চ-তাপমাত্রা সহনশীলতা এবং দীর্ঘ পরিষেবা জীবন রয়েছে। এটি কোয়ার্টজ বোট হোল্ডারের একটি ভালো বিকল্প।
বোরন সম্প্রসারণ সরঞ্জাম প্রধানত ব্যাটারি সেলের এন-টাইপ সিলিকন ওয়েফার সাবস্ট্রেটে বোরন মৌল ডোপিং করার প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়, যার মাধ্যমে পি-টাইপ এমিটার প্রস্তুত করে একটি পিএন জংশন তৈরি করা হয়। এর কার্যপ্রণালী হলো একটি উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশে রাসায়নিক বিক্রিয়া এবং আণবিক অবক্ষেপণ ফিল্ম গঠন করা। ফিল্মটি গঠিত হওয়ার পর, উচ্চ-তাপমাত্রার উত্তাপের মাধ্যমে এটিকে ছড়িয়ে দিয়ে সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠের ডোপিং কার্যকারিতা সম্পন্ন করা হয়। বোরন সম্প্রসারণ সরঞ্জামের উচ্চ কার্যকারী তাপমাত্রার কারণে, এর কোয়ার্টজ বোট হোল্ডারের উচ্চ-তাপমাত্রা সহনশীলতা কম এবং কার্যকাল স্বল্প হয়।সিলিকন কার্বাইড নৌকাএই হোল্ডারটির উচ্চ তাপমাত্রা সহনশীলতা অনেক বেশি এবং বোরন প্রসারণ প্রক্রিয়ায় এটি কোয়ার্টজ বোট হোল্ডারের একটি ভালো বিকল্প।
২ অন্যান্য প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামে প্রতিস্থাপন সম্পর্ক
SiC বোট সাপোর্টের উৎপাদন ক্ষমতা সীমিত এবং কার্যক্ষমতা চমৎকার। এগুলোর দাম সাধারণত কোয়ার্টজ বোট সাপোর্টের চেয়ে বেশি। সেল প্রসেসিং সরঞ্জামের সাধারণ কার্যপরিবেশে, SiC বোট সাপোর্ট এবং কোয়ার্টজ বোট সাপোর্টের কার্যকালের পার্থক্য সামান্য। ডাউনস্ট্রিম গ্রাহকরা মূলত তাদের নিজস্ব প্রক্রিয়া এবং চাহিদার উপর ভিত্তি করে দাম ও কার্যক্ষমতার মধ্যে তুলনা করে বেছে নেন। SiC বোট সাপোর্ট এবং কোয়ার্টজ বোট সাপোর্ট এখন সহাবস্থান ও প্রতিযোগিতায় লিপ্ত। তবে, বর্তমানে SiC বোট সাপোর্টের মোট মুনাফার হার তুলনামূলকভাবে বেশি। SiC বোট সাপোর্টের উৎপাদন খরচ কমে আসার সাথে সাথে, যদি এর বিক্রয়মূল্যও ব্যাপকভাবে হ্রাস পায়, তবে এটি কোয়ার্টজ বোট সাপোর্টের জন্য আরও বড় প্রতিযোগিতার সৃষ্টি করবে।
ব্যবহারের অনুপাত
সেল প্রযুক্তির প্রধান দুটি ধারা হলো পার্ক (PERC) প্রযুক্তি এবং টপকন (TOPCon) প্রযুক্তি। পার্ক (PERC) প্রযুক্তির বাজার অংশ ৮৮% এবং টপকন (TOPCon) প্রযুক্তির বাজার অংশ ৮.৩%। এই দুটির সম্মিলিত বাজার অংশ হলো ৯৬.৩০%।
নিচের চিত্রে যেমন দেখানো হয়েছে:
PERC প্রযুক্তিতে, সম্মুখ ফসফরাস ব্যাপন এবং অ্যানিলিং প্রক্রিয়ার জন্য বোট সাপোর্টের প্রয়োজন হয়। TOPCon প্রযুক্তিতে, সম্মুখ বোরন ব্যাপন, LPCVD, পশ্চাৎ ফসফরাস ব্যাপন এবং অ্যানিলিং প্রক্রিয়ার জন্য বোট সাপোর্টের প্রয়োজন হয়। বর্তমানে, সিলিকন কার্বাইড বোট সাপোর্ট প্রধানত TOPCon প্রযুক্তির LPCVD প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয় এবং বোরন ব্যাপন প্রক্রিয়ায় এর প্রয়োগ মূলত যাচাই করা হয়েছে।
কোষ প্রক্রিয়াকরণ প্রক্রিয়ায় বোট সাপোর্টের প্রয়োগ
দ্রষ্টব্য: PERC এবং TOPCon প্রযুক্তির সম্মুখ ও পশ্চাৎ প্রলেপের পরেও স্ক্রিন প্রিন্টিং, সিন্টারিং এবং পরীক্ষা ও বাছাইয়ের মতো আরও কিছু ধাপ থাকে, যেগুলিতে বোট সাপোর্টের ব্যবহার হয় না এবং যা উপরের চিত্রে তালিকাভুক্ত করা হয়নি।
পোস্ট করার সময়: ১৫-অক্টোবর-২০২৪
