Buntáistí tacaíochta báid charbíde sileacain i gcomparáid le tacaíocht báid grianchloch

Príomhfheidhmeannabád sileacain charbaidTá tacaíocht agus tacaíocht báid grianchloch mar an gcéanna.Bád sileacain charbaidTá feidhmíocht den scoth ag an tacaíocht ach tá praghas ard aici. Is caidreamh malartach é le tacaíocht báid grianchloch i dtrealamh próiseála ceallraí le dálaí oibre crua (amhail trealamh LPCVD agus trealamh idirleata bóróin). I dtrealamh próiseála ceallraí le dálaí oibre gnáth, mar gheall ar chaidrimh phraghais, bíonn tacaíocht báid grianchloch agus charbaíd sileacain ina gcatagóirí comhsheasmhacha agus iomaíocha.

① Caidreamh ionadaíochta i LPCVD agus trealamh idirleata bóróin

Úsáidtear trealamh LPCVD le haghaidh ocsaídiú tollánú cealla ceallraí agus próiseas ullmhúcháin ciseal polaisileacain dópáilte. Prionsabal oibre:

Faoi atmaisféar ísealbhrú, in éineacht le teocht chuí, baintear amach imoibriú ceimiceach agus foirmiú scannáin taiscthe chun ciseal ocsaíd tolláin ultra-thanaí agus scannán polaisileacain a ullmhú. Sa phróiseas ocsaídiúcháin tolláin agus ullmhúcháin ciseal polaisileacain dópáilte, bíonn teocht oibre ard ag an taca báid agus taiscfear scannán sileacain ar an dromchla. Tá comhéifeacht leathnúcháin theirmeach grianchloch an-difriúil ó chomhéifeacht leathnúcháin theirmeach sileacain. Nuair a úsáidtear sa phróiseas thuas é, is gá an sileacan atá taiscthe ar an dromchla a phicilte agus a bhaint go rialta chun cosc ​​a chur ar thaca báid grianchloch briseadh mar gheall ar leathnú agus crapadh teirmeach mar gheall ar an gcomhéifeacht leathnúcháin theirmeach difriúil ó shileacan. Mar gheall ar phicilte go minic agus neart íseal ardteochta, bíonn saol gearr ag sealbhóir báid grianchloch agus is minic a athsholáthraítear é sa phróiseas ocsaídiúcháin tolláin agus ullmhúcháin ciseal polaisileacain dópáilte, rud a mhéadaíonn costas táirgthe na cille ceallraí go suntasach. Comhéifeacht leathnúcháincarbaid sileacainatá gar do shiliceán. An comhtháitebád sileacain charbaidNí gá picilte a dhéanamh ar an sealbhóir le linn ocsaídiúcháin tolláin agus ullmhúcháin ciseal polaisileacain dópáilte. Tá neart ard teochta agus saolré seirbhíse fada aige. Is rogha mhaith eile é seachas an sealbhóir báid grianchloch.

Úsáidtear trealamh leathnaithe bóróin go príomha le haghaidh próiseas dópála eilimintí bóróin ar an tsubstráit sceallóga sileacain de chineál N sa chill ceallraí chun an t-astaitheoir de chineál P a ullmhú chun acomhal PN a fhoirmiú. Is é an prionsabal oibre imoibriú ceimiceach agus foirmiú scannáin taiscthe móilíneacha a bhaint amach in atmaisféar ardteochta. Tar éis an scannán a fhoirmiú, is féidir é a scaipeadh trí théamh ardteochta chun feidhm dópála dhromchla an sceallóga sileacain a bhaint amach. Mar gheall ar an teocht oibre ard atá ag an trealamh leathnaithe bóróin, tá neart íseal ardteochta agus saolré seirbhíse gearr ag sealbhóir báid grianchloch sa trealamh leathnaithe bóróin. An trealamh comhtháite...bád sileacain charbaidTá neart ardteochta ag an sealbhóir agus is rogha mhaith eile é seachas an sealbhóir báid grianchloch sa phróiseas leathnú bóróin.

② Caidreamh ionadaíochta i dtrealamh próisis eile

Tá cumas táirgthe daingean agus feidhmíocht den scoth ag tacaí báid SiC. Go ginearálta, bíonn a bpraghsáil níos airde ná praghsáil tacaí báid Grianchloiche. I ndálaí oibre ginearálta trealaimh phróiseála cealla, is beag an difríocht i saolré seirbhíse idir tacaí báid SiC agus tacaí báid Grianchloiche. Déanann custaiméirí iartheachtacha comparáid agus rogha den chuid is mó idir praghas agus feidhmíocht bunaithe ar a bpróisis agus a riachtanais féin. Tá tacaí báid SiC agus tacaí báid Grianchloiche anois comhbhainteach agus iomaíoch. Mar sin féin, tá corrlach brabúis chomhlán tacaí báid SiC sách ard faoi láthair. Leis an laghdú ar chostas táirgthe tacaí báid SiC, má laghdaíonn praghas díola tacaí báid SiC go gníomhach, beidh iomaíochas níos mó ann do thacaí báid Grianchloiche freisin.

Cóimheas úsáide

Is teicneolaíocht PERC agus teicneolaíocht TOPCon den chuid is mó atá i gceist leis an teicneolaíocht cheallacha. Is é 88% sciar den mhargadh atá ag teicneolaíocht PERC, agus is é 8.3% sciar den mhargadh atá ag teicneolaíocht TOPCon. Is é 96.30% sciar den mhargadh comhcheangailte an dá cheann.

Mar a thaispeántar sa fhigiúr thíos:

I dteicneolaíocht PERC, tá tacaí báid ag teastáil do na próisis idirleathadh fosfair tosaigh agus annála. I dteicneolaíocht TOPCon, tá tacaí báid ag teastáil do na próisis idirleathadh bóróin tosaigh, LPCVD, idirleathadh fosfair ar ais agus annála. Faoi láthair, úsáidtear tacaí báid cairbíde sileacain den chuid is mó i bpróiseas LPCVD theicneolaíocht TOPCon, agus tá a bhfeidhmiú sa phróiseas idirleathadh bóróin fíoraithe den chuid is mó.

Fíor Feidhmiú tacaí báid sa phróiseas próiseála cealla

Nóta: Tar éis sciath tosaigh agus chúl theicneolaíochtaí PERC agus TOPCon, tá naisc ann fós amhail priontáil scáileáin, sintéiriú agus tástáil agus sórtáil, nach mbaineann le húsáid tacaí báid agus nach bhfuil liostaithe sa fhigiúr thuas.