A főbb funkciókszilícium-karbid csónakA tartó és a kvarc hajótartó ugyanaz.Szilícium-karbid csónakA tartó kiváló teljesítményt nyújt, de magas az ára. Alternatív megoldást jelent a kvarc hajótartóval szemben a zord üzemi körülmények között működő akkumulátorfeldolgozó berendezésekben (például LPCVD berendezésekben és bórdiffúziós berendezésekben). A szokásos üzemi körülmények között működő akkumulátorfeldolgozó berendezésekben az árviszonyok miatt a szilícium-karbid és a kvarc hajótartó egymás mellett létező és egymással versengő kategóriákká válik.
① Helyettesítési kapcsolat LPCVD és bórdiffúziós berendezésekben
Az LPCVD berendezést akkumulátorcellák alagútoxidációjához és adalékolt poliszilícium réteg előkészítéséhez használják. Működési elv:
Alacsony nyomású atmoszférában, megfelelő hőmérsékleten, kémiai reakció és lerakódási filmképződés jön létre, amely ultravékony alagútoxidációs és adalékolt poliszilícium réteg előállítását eredményezi. Az alagútoxidációs és adalékolt poliszilícium réteg előkészítési folyamatában a hajótartó magas üzemi hőmérsékleten van, és egy szilícium film rakódik le a felületére. A kvarc hőtágulási együtthatója meglehetősen eltér a szilíciumétól. A fenti eljárás során rendszeresen pácolni és eltávolítani kell a felületre lerakódott szilíciumot, hogy megakadályozzuk a kvarc hajótartó törését a hőtágulás és az összehúzódás miatt, mivel a hőtágulási együtthatója eltérő a szilíciumtól. A gyakori pácolás és az alacsony magas hőmérsékleti szilárdság miatt a kvarc hajótartó rövid élettartamú, és gyakran cserélik az alagútoxidációs és adalékolt poliszilícium réteg előkészítési folyamata során, ami jelentősen növeli az akkumulátorcella gyártási költségeit. A tágulási együtthatója...szilícium-karbidközel van a szilíciumhoz. Az integráltszilícium-karbid csónakA tartó nem igényel pácolást az alagútoxidáció és az adalékolt poliszilícium réteg előkészítési folyamata során. Nagy hőmérsékleti szilárdsággal és hosszú élettartammal rendelkezik. Jó alternatívája a kvarc csónaktartónak.
A bór-expanziós berendezéseket elsősorban bór elemek doppingolására használják az akkumulátorcella N-típusú szilícium ostya szubsztrátján, hogy előkészítsék a P-típusú emittert egy PN-átmenet kialakításához. A működési elv a kémiai reakció és a molekuláris lerakódásos filmképződés megvalósítása magas hőmérsékletű atmoszférában. A film kialakulása után magas hőmérsékletű melegítéssel diffundálható, hogy megvalósítsa a szilícium ostya felületének doppingfunkcióját. A bór-expanziós berendezés magas üzemi hőmérséklete miatt a kvarccsónaktartó alacsony magas hőmérsékleti szilárdsággal és rövid élettartammal rendelkezik a bór-expanziós berendezésben. Az integráltszilícium-karbid csónakA tartó nagy hőmérsékleti szilárdsággal rendelkezik, és jó alternatívája a kvarccsónaktartónak a bórtágítási folyamatban.
② Helyettesítési kapcsolat más technológiai berendezésekben
A SiC hajótámaszok szűkös gyártási kapacitással és kiváló teljesítménnyel rendelkeznek. Árképzésük általában magasabb, mint a kvarc hajótámaszoké. A cellás feldolgozó berendezések általános munkakörülményei között a SiC és a kvarc hajótámaszok élettartama közötti különbség kicsi. A downstream ügyfelek elsősorban a saját folyamataik és igényeik alapján hasonlítják össze és választanak az ár és a teljesítmény között. A SiC és a kvarc hajótámaszok egymás mellett léteznek és versenyképesek. A SiC hajótámaszok bruttó haszonkulcsa azonban jelenleg viszonylag magas. A SiC hajótámaszok gyártási költségeinek csökkenésével, ha a SiC hajótámaszok eladási ára aktívan csökken, az a kvarc hajótámaszok versenyképesebbé válását is jelenti.
Használati arány
A cellatechnológia főként a PERC és a TOPCon technológiára épül. A PERC technológia piaci részesedése 88%, a TOPCon technológiaé pedig 8,3%. A kettő együttes piaci részesedése 96,30%.
Amint az az alábbi ábrán látható:
A PERC technológiában a hajótámaszokra az elülső foszfordiffúziós és lágyítási folyamatokhoz van szükség. A TOPCon technológiában a hajótámaszokra az elülső bórdiffúziós, LPCVD, hátsó foszfordiffúziós és lágyítási folyamatokhoz van szükség. Jelenleg a szilícium-karbid hajótámaszokat főként a TOPCon technológia LPCVD folyamatában használják, és alkalmazásukat a bórdiffúziós folyamatban főként igazolták.
Ábra Hajótámaszok alkalmazása a cellafeldolgozási folyamatban
Megjegyzés: A PERC és TOPCon technológiák elülső és hátulsó bevonása után még mindig vannak olyan kapcsolatok, mint a szitanyomás, a szinterelés, valamint a tesztelés és válogatás, amelyek nem járnak hajótámaszok használatával, és nem szerepelnek a fenti ábrán.
Közzététel ideje: 2024. október 15.