Основните функции налодка от силициев карбидПоддръжката и поддръжката на кварцова лодка са едни и същи.Лодка от силициев карбидПодложката има отлични характеристики, но висока цена. Тя представлява алтернативна връзка с кварцовата подложка за лодки в оборудване за обработка на батерии с тежки условия на работа (като например LPCVD оборудване и оборудване за дифузия на бор). В оборудване за обработка на батерии с нормални условия на работа, поради ценовите отношения, силициевият карбид и кварцовата подложка за лодки се превръщат в съвместно съществуващи и конкуриращи се категории.
① Връзка на заместване в LPCVD и оборудване за дифузия на бор
LPCVD оборудването се използва за тунелно окисление на батерийни клетки и за процес на подготовка на легиран полисилициев слой. Принцип на работа:
В атмосфера с ниско налягане, комбинирана с подходяща температура, се постига химическа реакция и образуване на отложен филм, за да се получи ултратънък тунелен оксиден слой и полисилициев филм. В процеса на тунелно окисление и подготовка на легиран полисилициев слой, основата на лодката има висока работна температура и върху повърхността се отлага силициев филм. Коефициентът на термично разширение на кварца е доста различен от този на силиция. Когато се използва в горния процес, е необходимо редовно да се маринова и отстранява отложеният върху повърхността силиций, за да се предотврати счупване на основата на кварцовата лодка поради термично разширение и свиване, дължащи се на различния коефициент на термично разширение от силиция. Поради честото мариноване и ниската якост при високи температури, основата на кварцовата лодка има кратък живот и често се подменя в процеса на тунелно окисление и подготовка на легиран полисилициев слой, което значително увеличава производствените разходи на батерийната клетка. Коефициентът на разширениесилициев карбиде близък до този на силиция. Интегрираниятлодка от силициев карбидДържачът не изисква декапиране в процеса на тунелно окисление и подготовка на легиран полисилициев слой. Той има висока якост при високи температури и дълъг експлоатационен живот. Той е добра алтернатива на кварцовия държач тип „лодка“.
Оборудването за разширяване на бор се използва главно за процеса на легиране на борови елементи върху N-тип силициевата пластина на батерията, за да се подготви P-тип емитерът за образуване на PN преход. Принципът на работа е да се осъществи химическа реакция и образуване на молекулно отлагане на филм във високотемпературна атмосфера. След образуването на филма, той може да бъде дифузиран чрез високотемпературно нагряване, за да се реализира функцията на легиране на повърхността на силициевата пластина. Поради високата работна температура на оборудването за разширяване на бор, държачът на кварцовата лодка има ниска високотемпературна якост и кратък експлоатационен живот в оборудването за разширяване на бор. Интегрираният...лодка от силициев карбидДържачът има висока якост при висока температура и е добра алтернатива на държача за кварцова лодка в процеса на разширяване на бора.
② Взаимозаместителна връзка в друго технологично оборудване
SiC опорите за лодки имат ограничен производствен капацитет и отлични характеристики. Цената им обикновено е по-висока от тази на кварцовите опори за лодки. При общите работни условия на оборудването за клетъчна обработка, разликата в експлоатационния живот между SiC опорите за лодки и кварцовите опори за лодки е малка. Клиентите надолу по веригата основно сравняват и избират между цена и производителност въз основа на собствените си процеси и нужди. SiC опорите за лодки и кварцовите опори за лодки са станали едновременно съществуващи и конкурентни. Въпреки това, брутният марж на печалба от SiC опорите за лодки в момента е сравнително висок. С намаляването на производствените разходи за SiC опори за лодки, ако продажната цена на SiC опорите за лодки активно спадне, това ще представлява и по-голяма конкурентоспособност спрямо кварцовите опори за лодки.
Коефициент на използване
Технологията за клетки е основно PERC и TOPCon. Пазарният дял на PERC технологията е 88%, а на TOPCon технологията е 8,3%. Комбинираният пазарен дял на двете е 96,30%.
Както е показано на фигурата по-долу:
В PERC технологията, опорите за лодки са необходими за процесите на предна дифузия на фосфор и отгряване. В TOPCon технологията, опорите за лодки са необходими за процесите на предна дифузия на бор, LPCVD, обратна дифузия на фосфор и отгряване. Понастоящем, силициево-карбидните опори за лодки се използват главно в LPCVD процеса на TOPCon технологията и приложението им в процеса на дифузия на бор е доказано.
Фигура Приложение на опори за лодки в процеса на клетъчна обработка
Забележка: След нанасяне на предното и задното покритие по технологиите PERC и TOPCon, все още има връзки като ситопечат, синтероване и тестване и сортиране, които не включват използването на опори за лодки и не са изброени на горната фигура.
Време на публикуване: 15 октомври 2024 г.