முக்கிய செயல்பாடுகள்சிலிக்கான் கார்பைடு படகுஆதரவும் குவார்ட்ஸ் படகு ஆதரவும் ஒன்றுதான்.சிலிக்கான் கார்பைடு படகுஇந்த சப்போர்ட் சிறந்த செயல்திறனைக் கொண்டிருந்தாலும், அதிக விலை கொண்டது. கடுமையான வேலைச் சூழல்களைக் கொண்ட பேட்டரி செயலாக்க உபகரணங்களில் (LPCVD உபகரணங்கள் மற்றும் போரான் பரவல் உபகரணங்கள் போன்றவை), இது குவார்ட்ஸ் போட் சப்போர்ட்டுடன் ஒரு மாற்றுத் தொடர்பை உருவாக்குகிறது. சாதாரண வேலைச் சூழல்களைக் கொண்ட பேட்டரி செயலாக்க உபகரணங்களில், விலை நிலவரங்களின் காரணமாக, சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் குவார்ட்ஸ் போட் சப்போர்ட் ஆகியவை இணைந்து செயல்படும் மற்றும் போட்டியிடும் வகைகளாக மாறுகின்றன.
① LPCVD மற்றும் போரான் பரவல் உபகரணங்களில் பதிலீட்டுத் தொடர்பு
LPCVD உபகரணமானது, பேட்டரி செல் டனலிங் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் டோப் செய்யப்பட்ட பாலிசிலிக்கான் அடுக்கு தயாரிப்பு செயல்முறைக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. செயல்படும் கொள்கை:
குறைந்த அழுத்தச் சூழலில், பொருத்தமான வெப்பநிலையுடன் இணைந்து, வேதிவினை மற்றும் படிவுப் படல உருவாக்கம் ஆகியவை நிகழ்த்தப்பட்டு, மிக மெல்லிய டனலிங் ஆக்சைடு படலமும் பாலிசிலிக்கான் படலமும் தயாரிக்கப்படுகின்றன. டனலிங் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் கலப்பு பாலிசிலிக்கான் படலம் தயாரிக்கும் செயல்முறையில், படகுத் தாங்கி அதிக இயக்க வெப்பநிலையைக் கொண்டிருப்பதால், அதன் மேற்பரப்பில் ஒரு சிலிக்கான் படலம் படியவைக்கப்படும். குவார்ட்ஸின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் சிலிக்கானிலிருந்து முற்றிலும் வேறுபட்டது. மேற்கூறிய செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படும்போது, சிலிக்கானிலிருந்து வேறுபட்ட வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் காரணமாக ஏற்படும் வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கத்தால் குவார்ட்ஸ் படகுத் தாங்கி உடைவதைத் தடுக்க, அதன் மேற்பரப்பில் படிந்துள்ள சிலிக்கானைத் தவறாமல் ஊறவைத்து அகற்ற வேண்டியது அவசியம். அடிக்கடி ஊறவைப்பதாலும், குறைந்த உயர்-வெப்பநிலை வலிமையாலும், டனலிங் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் கலப்பு பாலிசிலிக்கான் படலம் தயாரிக்கும் செயல்முறையில் குவார்ட்ஸ் படகுத் தாங்கியின் ஆயுட்காலம் குறைவாக உள்ளது மற்றும் அது அடிக்கடி மாற்றப்படுகிறது, இது மின்கலத்தின் உற்பத்திச் செலவை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது. விரிவாக்கக் குணகம்சிலிக்கான் கார்பைடுசிலிக்கானின் தன்மைக்கு நெருக்கமாக உள்ளது. ஒருங்கிணைந்தசிலிக்கான் கார்பைடு படகுஇந்த ஹோல்டருக்கு, டனல் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் டோப் செய்யப்பட்ட பாலிசிலிக்கான் அடுக்கு தயாரிப்பு செயல்முறையில் ஊறவைத்தல் தேவையில்லை. இது அதிக உயர்-வெப்பநிலை வலிமையையும் நீண்ட சேவை ஆயுளையும் கொண்டுள்ளது. இது குவார்ட்ஸ் படகு ஹோல்டருக்கு ஒரு நல்ல மாற்றாகும்.
பேட்டரி செல்லின் N-வகை சிலிக்கான் வேஃபர் அடி மூலக்கூறில் போரான் தனிமங்களைக் கலப்படம் செய்து, P-வகை எமிட்டரைத் தயார் செய்து ஒரு PN சந்திப்பை உருவாக்கும் செயல்முறைக்கு போரான் விரிவாக்க உபகரணம் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உயர்-வெப்பநிலைச் சூழலில் வேதிவினை மற்றும் மூலக்கூறுப் படிவுப் படல உருவாக்கத்தை நிகழ்த்துவதே இதன் செயல்பாட்டுக் கொள்கையாகும். படலம் உருவான பிறகு, சிலிக்கான் வேஃபர் மேற்பரப்பின் கலப்படம் செய்யும் செயல்பாட்டை நிறைவேற்றுவதற்காக, உயர்-வெப்பநிலை வெப்பமூட்டல் மூலம் அது பரவச் செய்யப்படுகிறது. போரான் விரிவாக்க உபகரணத்தின் உயர் செயல்பாட்டு வெப்பநிலை காரணமாக, குவார்ட்ஸ் படகு தாங்கியானது குறைந்த உயர்-வெப்பநிலை வலிமையையும் குறுகிய சேவை ஆயுளையும் கொண்டுள்ளது.சிலிக்கான் கார்பைடு படகுஇந்த ஹோல்டர் அதிக உயர் வெப்பநிலை வலிமையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் போரான் விரிவாக்கச் செயல்பாட்டில் குவார்ட்ஸ் படகு ஹோல்டருக்கு ஒரு நல்ல மாற்றாக விளங்குகிறது.
② மற்ற செயல்முறை உபகரணங்களில் பதிலீட்டு உறவு
SiC படகு தாங்கிகள் குறைந்த உற்பத்தித் திறனையும் சிறந்த செயல்திறனையும் கொண்டுள்ளன. அவற்றின் விலை பொதுவாக குவார்ட்ஸ் படகு தாங்கிகளை விட அதிகமாக உள்ளது. செல் செயலாக்க உபகரணங்களின் பொதுவான வேலைச் சூழலில், SiC படகு தாங்கிகளுக்கும் குவார்ட்ஸ் படகு தாங்கிகளுக்கும் இடையிலான சேவை ஆயுள் வேறுபாடு குறைவாகவே உள்ளது. கீழ்நிலை வாடிக்கையாளர்கள் முக்கியமாக தங்களின் சொந்த செயல்முறைகள் மற்றும் தேவைகளின் அடிப்படையில் விலை மற்றும் செயல்திறனை ஒப்பிட்டுத் தேர்வு செய்கிறார்கள். SiC படகு தாங்கிகளும் குவார்ட்ஸ் படகு தாங்கிகளும் இணைந்தும் போட்டித்தன்மையுடனும் உள்ளன. இருப்பினும், தற்போது SiC படகு தாங்கிகளின் மொத்த லாப வரம்பு ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாக உள்ளது. SiC படகு தாங்கிகளின் உற்பத்திச் செலவு குறைந்து வருவதால், அதன் விற்பனை விலையும் கணிசமாகக் குறைந்தால், அது குவார்ட்ஸ் படகு தாங்கிகளுக்கு ஒரு பெரும் போட்டியையும் உருவாக்கும்.
பயன்பாட்டு விகிதம்
செல் தொழில்நுட்பப் பாதையானது முக்கியமாக PERC தொழில்நுட்பம் மற்றும் TOPCon தொழில்நுட்பம் ஆகும். PERC தொழில்நுட்பத்தின் சந்தைப் பங்கு 88% ஆகவும், TOPCon தொழில்நுட்பத்தின் சந்தைப் பங்கு 8.3% ஆகவும் உள்ளது. இவ்விரண்டின் ஒருங்கிணைந்த சந்தைப் பங்கு 96.30% ஆகும்.
கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளபடி:
PERC தொழில்நுட்பத்தில், முன் பாஸ்பரஸ் பரவல் மற்றும் பதப்படுத்தும் செயல்முறைகளுக்கு படகு வடிவ தாங்கிகள் தேவைப்படுகின்றன. TOPCon தொழில்நுட்பத்தில், முன் போரான் பரவல், LPCVD, பின் பாஸ்பரஸ் பரவல் மற்றும் பதப்படுத்தும் செயல்முறைகளுக்கு படகு வடிவ தாங்கிகள் தேவைப்படுகின்றன. தற்போது, சிலிக்கான் கார்பைடு படகு வடிவ தாங்கிகள் முக்கியமாக TOPCon தொழில்நுட்பத்தின் LPCVD செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் போரான் பரவல் செயல்முறையில் அவற்றின் பயன்பாடு முக்கியமாக சரிபார்க்கப்பட்டுள்ளது.
செல் செயலாக்கச் செயல்பாட்டில் படகு ஆதரவுகளின் பயன்பாடு
குறிப்பு: PERC மற்றும் TOPCon தொழில்நுட்பங்களின் முன் மற்றும் பின் பூச்சுக்குப் பிறகு, திரை அச்சிடுதல், உருகுதல் மற்றும் சோதனை மற்றும் வகைப்படுத்துதல் போன்ற இணைப்புகள் இன்னும் உள்ளன, அவை படகு ஆதரவுகளின் பயன்பாட்டை உள்ளடக்காததால் மேற்கண்ட படத்தில் பட்டியலிடப்படவில்லை.
பதிவிட்ட நேரம்: அக்டோபர் 15, 2024
