Prìomh dhleastanasanbàta silicon carbidetha taic agus taic bàta grian-chloiche mar an ceudna.Bàta silicon carbideTha coileanadh sàr-mhath aig taic ach prìs àrd. Tha e na dhàimh eile le taic bàta grian-chlach ann an uidheamachd giullachd bataraidh le suidheachaidhean obrach cruaidh (leithid uidheamachd LPCVD agus uidheamachd sgaoilidh boron). Ann an uidheamachd giullachd bataraidh le suidheachaidhean obrach àbhaisteach, air sgàth dàimhean prìsean, bidh taic bàta silicon carbide agus grian-chlach a’ tighinn còmhla agus a’ farpais ri chèile.
① Dàimh ionadachaidh ann an uidheam sgaoilidh LPCVD agus boron
Tha uidheam LPCVD air a chleachdadh airson ocsaidachadh tunail cealla bataraidh agus pròiseas ullachaidh sreathan polysilicon dopaichte. Prionnsabal obrach:
Fo àile ìosal-bhruthadh, còmhla ri teòthachd iomchaidh, thèid ath-bhualadh ceimigeach agus cruthachadh film tasgaidh a choileanadh gus sreath ocsaid tunail tana agus film polysilicon ullachadh. Anns a’ phròiseas ullachaidh ocsaid tunail agus sreath polysilicon dopaichte, tha teòthachd obrach àrd aig taic a’ bhàta agus thèid film silicon a thasgadh air an uachdar. Tha co-èifeachd leudachaidh teirmeach grian-chloiche gu math eadar-dhealaichte bho cho-èifeachd leudachaidh teirmeach silicon. Nuair a thèid a chleachdadh sa phròiseas gu h-àrd, feumar an silicon a tha air a thasgadh air an uachdar a phiocadh agus a thoirt air falbh gu cunbhalach gus casg a chuir air taic a’ bhàta grian-chloiche bho bhith a’ briseadh air sgàth leudachadh teirmeach agus giorrachadh air sgàth an co-èifeachd leudachaidh teirmeach eadar-dhealaichte bho silicon. Air sgàth picilte tric agus neart ìosal aig teòthachd àrd, tha beatha ghoirid aig neach-gleidhidh a’ bhàta grian-chloiche agus thèid a chur na àite gu tric anns a’ phròiseas ullachaidh ocsaid tunail agus sreath polysilicon dopaichte, a tha ag àrdachadh cosgais cinneasachaidh cealla a’ bhataraidh gu mòr. Co-èifeachd leudachaidhcarbide sileacontha e faisg air silicon. Tha an t-aonad amalaichtebàta silicon carbideChan eil feum air picilteadh anns a’ phròiseas ullachaidh airson oxidation tunail agus sreath polysilicon dopaichte. Tha neart àrd teòthachd àrd agus beatha seirbheis fhada aige. Tha e na dheagh roghainn eile an àite an neach-gleidhidh bàta grianchloch.
Tha uidheam leudachaidh boron air a chleachdadh sa mhòr-chuid airson pròiseas doping eileamaidean boron air fo-strat wafer silicon seòrsa-N cealla a’ bhataraidh gus an emitter seòrsa-P ullachadh airson snaim PN a chruthachadh. Is e am prionnsapal obrach ath-bhualadh ceimigeach agus cruthachadh film tasgadh moileciuil a thoirt gu buil ann an àile àrd-theodhachd. Às deidh don fhilm a bhith air a chruthachadh, faodar a sgaoileadh le teasachadh àrd-theodhachd gus gnìomh doping uachdar wafer silicon a thoirt gu buil. Air sgàth teòthachd obrach àrd an uidheamachd leudachaidh boron, tha neart ìosal àrd-theodhachd aig neach-gleidhidh bàta quartz agus beatha seirbheis ghoirid san uidheamachd leudachaidh boron. An t-aonad amalaichtebàta silicon carbideTha neart àrd teòthachd àrd aig an neach-gleidhidh agus tha e na dheagh roghainn eile an àite neach-gleidhidh bàta quartz sa phròiseas leudachaidh boron.
② Dàimh ionadachaidh ann an uidheam pròiseas eile
Tha comas cinneasachaidh teann agus coileanadh sàr-mhath aig taicean bàta SiC. San fharsaingeachd, tha am prìs nas àirde na prìs taicean bàta grian-chlach. Ann an suidheachaidhean obrach coitcheann uidheamachd giullachd cealla, tha an diofar ann am beatha seirbheis eadar taicean bàta SiC agus taicean bàta grian-chlach beag. Bidh luchd-ceannach sìos an abhainn sa mhòr-chuid a’ dèanamh coimeas agus a’ taghadh eadar prìs agus coileanadh stèidhichte air na pròiseasan agus na feumalachdan aca fhèin. Tha taicean bàta SiC agus taicean bàta grian-chlach air fàs co-sheasmhach agus farpaiseach. Ach, tha iomall prothaid iomlan taicean bàta SiC an ìre mhath àrd an-dràsta. Leis an lùghdachadh ann an cosgais cinneasachaidh taicean bàta SiC, ma bhios prìs reic taicean bàta SiC a’ lùghdachadh gu gnìomhach, cuiridh e barrachd farpais ri taicean bàta grian-chlach cuideachd.
Co-mheas cleachdaidh
Is e teicneòlas PERC agus teicneòlas TOPCon a’ phrìomh dhòigh air teicneòlas cealla a chleachdadh. Tha 88% de theicneòlas PERC a’ roinn a’ mhargaidh, agus 8.3% de theicneòlas TOPCon. Tha 96.30% de roinn a’ mhargaidh còmhla aig an dà chompanaidh.
Mar a chithear san fhigear gu h-ìosal:
Ann an teicneòlas PERC, tha feum air taicean bàta airson na pròiseasan sgaoilidh fosfair aghaidh agus teasachaidh. Ann an teicneòlas TOPCon, tha feum air taicean bàta airson na pròiseasan sgaoilidh boron aghaidh, LPCVD, sgaoileadh fosfair cùil agus teasachaidh. An-dràsta, thathas a’ cleachdadh taicean bàta silicon carbide sa mhòr-chuid ann am pròiseas LPCVD de theicneòlas TOPCon, agus chaidh an cleachdadh sa phròiseas sgaoilidh boron a dhearbhadh sa mhòr-chuid.
Figear Cleachdadh thaic bhàtaichean ann am pròiseas giullachd cealla
Nota: Às dèidh còmhdach aghaidh is cùil theicneòlasan PERC agus TOPCon, tha ceanglaichean ann fhathast leithid clò-bhualadh sgrion, sintering agus deuchainn is seòrsachadh, nach eil a’ toirt a-steach cleachdadh taicean bhàtaichean agus nach eil air an liostadh san fhigear gu h-àrd.
Àm puist: 15 Dàmhair 2024