De wichtichste funksjes fansilisiumkarbide boatstipe en kwartsboatstipe binne itselde.Silisiumkarbide boatstipe hat poerbêste prestaasjes, mar in hege priis. It foarmet in alternative relaasje mei kwartsboatstipe yn batterijferwurkingsapparatuer mei rûge wurkomstannichheden (lykas LPCVD-apparatuer en boordiffúzjeapparatuer). Yn batterijferwurkingsapparatuer mei gewoane wurkomstannichheden wurde silisiumkarbid en kwartsboatstipe fanwegen priisferhâldingen neist elkoar besteande en konkurrearjende kategoryen.
① Substitúsjeferhâlding yn LPCVD- en boordiffúzjeapparatuer
LPCVD-apparatuer wurdt brûkt foar it oksidearjen fan batterijsellen en it tarieden fan dopearre polysiliciumlaach. Wurkprinsipe:
Under in lege drukatmosfear, kombinearre mei in passende temperatuer, wurde gemyske reaksjes en de foarming fan in ôfsettingsfilm berikt om in ultradunne tunneling-oksidelaach en polysiliciumfilm te meitsjen. Yn it proses fan tunneling-oksidaasje en it tariedingsproses fan 'e dopearre polysiliciumlaach hat de boatstipe in hege wurktemperatuer en sil in siliciumfilm op it oerflak ôfset wurde. De termyske útwreidingskoëffisjint fan kwarts is hiel oars as dy fan silicium. As it brûkt wurdt yn it boppesteande proses, is it needsaaklik om it silicium dat op it oerflak ôfset is regelmjittich te pekeljen en te ferwiderjen om te foarkommen dat de kwartsboatstipe brekt troch termyske útwreiding en krimp fanwegen de ferskillende termyske útwreidingskoëffisjint fan silicium. Fanwegen faak pekeljen en lege hege-temperatuersterkte hat de kwartsboathâlder in koarte libbensdoer en wurdt faak ferfongen yn it proses fan tunneling-oksidaasje en it tariedingsproses fan 'e dopearre polysiliciumlaach, wat de produksjekosten fan 'e batterijsel signifikant fergruttet. De útwreidingskoëffisjint fansilisiumkarbidis ticht by dat fan silisium. De yntegrearesilisiumkarbide boatDe hâlder hoecht net te beitsen yn 'e tunneloksidaasje en it tariedingsproses fan 'e dopearre polysiliciumlaach. It hat hege hege-temperatuersterkte en in lange libbensdoer. It is in goed alternatyf foar de kwartsboathâlder.
Apparatuer foar boorútwreiding wurdt benammen brûkt foar it proses fan it dopjen fan booreleminten op it N-type silisiumwafersubstraat fan 'e batterijsel om de P-type emitter ta te rieden op it foarmjen fan in PN-oergong. It wurkprinsipe is it realisearjen fan in gemyske reaksje en molekulêre ôfsettingsfilmfoarming yn in hege-temperatueratmosfear. Nei't de film foarme is, kin it ferspraat wurde troch ferwaarming op hege temperatuer om de dopingfunksje fan it silisiumwaferoerflak te realisearjen. Fanwegen de hege wurktemperatuer fan 'e boorútwreidingsapparatuer hat de kwartsboathâlder in lege hege-temperatuersterkte en in koarte libbensdoer yn 'e boorútwreidingsapparatuer. De yntegrearesilisiumkarbide boatDe hâlder hat hege hege-temperatuersterkte en is in goed alternatyf foar de kwartsboathâlder yn it boor-útwreidingsproses.
② Ferfangingsrelaasje yn oare prosesapparatuer
SiC-boatstipes hawwe in beheinde produksjekapasiteit en poerbêste prestaasjes. Harren prizen binne oer it algemien heger as dy fan kwartsboatstipes. Yn 'e algemiene wurkomstannichheden fan selferwurkingsapparatuer is it ferskil yn libbensdoer tusken SiC-boatstipes en kwartsboatstipes lyts. Downstream-klanten fergelykje en kieze benammen tusken priis en prestaasjes op basis fan har eigen prosessen en behoeften. SiC-boatstipes en kwartsboatstipes binne neist elkoar besteand en konkurrearjend wurden. De brutowinstmarge fan SiC-boatstipes is lykwols op it stuit relatyf heech. Mei de delgong fan 'e produksjekosten fan SiC-boatstipes, as de ferkeappriis fan SiC-boatstipes aktyf sakket, sil dit ek in gruttere konkurrinsjefermogen foarmje foar kwartsboatstipes.
Gebrûksferhâlding
De seltechnologyrûte giet benammen oer PERC-technology en TOPCon-technology. It merkoandiel fan PERC-technology is 88%, en it merkoandiel fan TOPCon-technology is 8,3%. It kombineare merkoandiel fan 'e twa is 96,30%.
Lykas te sjen is yn 'e ûndersteande ôfbylding:
Yn PERC-technology binne boatstipes nedich foar de frontfosfordiffúzje- en gloeiprosessen. Yn TOPCon-technology binne boatstipes nedich foar de frontboordiffúzje-, LPCVD-, efterfosfordiffúzje- en gloeiprosessen. Op it stuit wurde silisiumkarbide boatstipes benammen brûkt yn it LPCVD-proses fan TOPCon-technology, en har tapassing yn it boordiffúzjeproses is benammen ferifiearre.
Figuer Tapassing fan boatstipe yn it selferwurkingsproses
Opmerking: Nei de foar- en eftercoating fan PERC- en TOPCon-technologyen binne der noch ferbiningen lykas skermprintsjen, sinterjen en testen en sortearjen, dy't gjin gebrûk fan boatstipe omfetsje en net neamd binne yn 'e boppesteande figuer.
Pleatsingstiid: 15 oktober 2024