Hlavní funkceloď z karbidu křemíkupodpora a podpora křemenné lodi jsou stejné.Loď z karbidu křemíkuPodpora má vynikající výkon, ale vysokou cenu. Představuje alternativu k podpěře z křemenných lodiček v zařízeních na zpracování baterií s náročnými provozními podmínkami (jako jsou zařízení LPCVD a zařízení pro difuzi boru). V zařízeních na zpracování baterií s běžnými provozními podmínkami se v důsledku cenových vztahů podpěra z karbidu křemíku a křemenné lodičky stávají koexistujícími a zároveň konkurenčními kategoriemi.
① Substituční vztah v LPCVD a zařízeních pro difuzi boru
Zařízení LPCVD se používá pro tunelovou oxidaci bateriových článků a pro přípravu dopované polykrystalické křemíkové vrstvy. Princip činnosti:
V nízkotlaké atmosféře v kombinaci s vhodnou teplotou se dosahuje chemické reakce a tvorby depozičního filmu, čímž se připraví ultratenká tunelová oxidová vrstva a polykřemíkový film. V procesu tunelové oxidace a přípravy dopované polykřemíkové vrstvy má nosič lodičky vysokou pracovní teplotu a na povrchu se usazuje křemíkový film. Koeficient tepelné roztažnosti křemene se značně liší od koeficientu tepelné roztažnosti křemene. Při použití ve výše uvedeném procesu je nutné pravidelně moření a odstraňování křemíku usazeného na povrchu, aby se zabránilo zlomení nosiče lodičky v důsledku tepelné roztažnosti a smrštění, které je způsobeno odlišným koeficientem tepelné roztažnosti od křemíku. Vzhledem k častému moření a nízké pevnosti za vysokých teplot má nosič lodičky křemene krátkou životnost a je v procesu tunelové oxidace a přípravy dopované polykřemíkové vrstvy často vyměňován, což výrazně zvyšuje výrobní náklady bateriových článků. Koeficient tepelné roztažnostikarbid křemíkuje blízký křemíku. Integrovanýloď z karbidu křemíkuDržák nevyžaduje moření v tunelové oxidaci a proces přípravy dopované polykřemíkové vrstvy. Má vysokou pevnost za vysokých teplot a dlouhou životnost. Je dobrou alternativou k držáku z křemenné lodičky.
Zařízení pro expanzi bóru se používá hlavně pro proces dopování borových prvků na křemíkový substrát typu N bateriového článku, aby se připravil emitor typu P k vytvoření PN přechodu. Princip práce spočívá v realizaci chemické reakce a tvorby molekulárního depozičního filmu ve vysokoteplotní atmosféře. Po vytvoření filmu může být difundován vysokoteplotním ohřevem, čímž se realizuje dopingová funkce povrchu křemíkového destičky. Vzhledem k vysoké pracovní teplotě zařízení pro expanzi bóru má držák křemenné lodičky nízkou pevnost za vysokých teplot a krátkou životnost v zařízení pro expanzi bóru. Integrovanýloď z karbidu křemíkuDržák má vysokou odolnost proti vysokým teplotám a je dobrou alternativou k držáku z křemenné lodičky v procesu expanze bóru.
② Substituční vztah v jiném procesním zařízení
Podpěry lodí z SiC mají nízkou výrobní kapacitu a vynikající výkon. Jejich cena je obecně vyšší než u křemenných podpěr lodí. Za běžných provozních podmínek zařízení pro elektrolytické zpracování je rozdíl v životnosti mezi podpěrami lodí z SiC a křemennými podpěrami lodí malý. Následní zákazníci porovnávají a vybírají mezi cenou a výkonem hlavně na základě svých vlastních procesů a potřeb. Podpěry lodí z SiC a křemenné podpěry lodí se staly koexistenčními a konkurenceschopnými. Hrubá zisková marže podpěr lodí z SiC je však v současné době relativně vysoká. S poklesem výrobních nákladů na podpěry lodí z SiC, pokud prodejní cena podpěr lodí z SiC aktivně klesne, bude to také znamenat větší konkurenceschopnost vůči křemenným podpěrám lodí.
Poměr využití
Technologie článků se vyznačuje především technologiemi PERC a TOPCon. Tržní podíl technologie PERC je 88 % a podíl technologie TOPCon je 8,3 %. Kombinovaný tržní podíl obou technologií je 96,30 %.
Jak je znázorněno na obrázku níže:
V technologii PERC jsou pro procesy přední difúze fosforu a žíhání vyžadovány lodičkové podpěry. V technologii TOPCon jsou lodičkové podpěry vyžadovány pro procesy přední difúze boru, LPCVD, zadní difúze fosforu a žíhání. V současné době se lodičkové podpěry z karbidu křemíku používají hlavně v procesu LPCVD technologie TOPCon a jejich použití v procesu difúze boru bylo převážně ověřeno.
Obrázek Použití podpěr lodí v procesu zpracování buněk
Poznámka: Po nanesení předního a zadního povlaku technologiemi PERC a TOPCon stále zbývají kroky, jako je sítotisk, spékání a testování a třídění, které nezahrnují použití podpěr lodí a nejsou uvedeny na výše uvedeném obrázku.
Čas zveřejnění: 15. října 2024