Негізгі функцияларыкремний карбиді қайығытіреуіш және кварц қайығының тірегі бірдей.Кремний карбидті қайықҚолдау тамаша өнімділікке ие, бірақ бағасы жоғары. Ол қатал жұмыс жағдайлары бар аккумуляторлық өңдеу жабдықтарында (мысалы, LPCVD жабдықтары және бор диффузиялық жабдықтары) кварц қайығын қолдаумен балама қатынасты құрайды. Қалыпты жұмыс жағдайлары бар аккумуляторлық өңдеу жабдықтарында баға қатынастарына байланысты кремний карбиді мен кварц қайығын қолдау қатар өмір сүретін және бәсекелес санаттарға айналады.
① LPCVD және бор диффузиялық жабдықтарындағы алмастыру қатынасы
LPCVD жабдығы батарея ұяшықтарының туннелін тотығу және легирленген полискремний қабатын дайындау процесі үшін қолданылады. Жұмыс принципі:
Төмен қысымды атмосферада тиісті температурамен бірге химиялық реакция және тұндыру қабықшасының түзілуі ультра жұқа туннельдік оксид қабаты мен полискремний қабатын дайындау үшін жүзеге асырылады. Туннельдік тотығу және легирленген поликремний қабатын дайындау процесінде қайық тірегінің жұмыс температурасы жоғары болады және бетіне кремний қабықшасы тұнады. Кварцтың жылулық кеңею коэффициенті кремнийден айтарлықтай ерекшеленеді. Жоғарыда аталған процесте қолданылған кезде, кремнийден өзгеше жылулық кеңею коэффициентіне байланысты жылулық кеңею және жиырылу салдарынан кварц қайық тірегінің сынуына жол бермеу үшін бетіне тұндырылған кремнийді үнемі тұздап, алып тастау қажет. Жиі тұздалу және төмен жоғары температуралық беріктікке байланысты кварц қайық ұстағышының қызмет ету мерзімі қысқа және туннельдік тотығу және легирленген поликремний қабатын дайындау процесінде жиі ауыстырылады, бұл батарея ұяшығының өндірістік құнын айтарлықтай арттырады. Кеңею коэффициентікремний карбидікремнийге жақын. Интегралдыкремний карбиді қайығыҰстағыш туннельді тотығу және легирленген полисиликон қабатын дайындау процесінде маринадтауды қажет етпейді. Ол жоғары температураға төзімді және ұзақ қызмет ету мерзіміне ие. Бұл кварц қайық ұстағышына жақсы балама.
Бор кеңейту жабдығы негізінен батарея ұяшығының N-типті кремний пластинасының негізіне бор элементтерін легирлеу процесінде қолданылады, бұл P-типті эмиттерді PN түйіспесін қалыптастыруға дайындауға мүмкіндік береді. Жұмыс принципі - жоғары температуралы атмосферада химиялық реакцияны және молекулалық тұндыру пленкасының түзілуін жүзеге асыру. Пленка түзілгеннен кейін, оны кремний пластинасының бетінің легирлеу функциясын жүзеге асыру үшін жоғары температуралы қыздыру арқылы диффузиялауға болады. Бор кеңейту жабдығының жоғары жұмыс температурасына байланысты кварц қайық ұстағышының бор кеңейту жабдығында жоғары температуралық беріктігі төмен және қызмет ету мерзімі қысқа. Интеграцияланғанкремний карбиді қайығыҰстағыш жоғары температуралық беріктікке ие және борды кеңейту процесінде кварц қайығы ұстағышына жақсы балама болып табылады.
2 Басқа технологиялық жабдықтардағы алмастыру қатынасы
SiC қайық тіректері тығыз өндірістік қуатқа және тамаша өнімділікке ие. Олардың бағасы әдетте кварц қайық тіректеріне қарағанда жоғары. Ұяшық өңдеу жабдықтарының жалпы жұмыс жағдайында SiC қайық тіректері мен кварц қайық тіректері арасындағы қызмет ету мерзімінің айырмашылығы аз. Төменгі ағындағы тұтынушылар негізінен баға мен өнімділікті өз процестері мен қажеттіліктеріне қарай салыстырады және таңдайды. SiC қайық тіректері мен кварц қайық тіректері бірге өмір сүріп, бәсекеге қабілетті бола бастады. Дегенмен, SiC қайық тіректерінің жалпы пайда маржасы қазіргі уақытта салыстырмалы түрде жоғары. SiC қайық тіректерінің өндірістік құнының төмендеуімен, егер SiC қайық тіректерінің сату бағасы белсенді түрде төмендесе, бұл кварц қайық тіректеріне де бәсекелестікті арттырады.
Пайдалану коэффициенті
Ұялы технология бағыты негізінен PERC технологиясы және TOPCon технологиясы болып табылады. PERC технологиясының нарықтық үлесі 88%, ал TOPCon технологиясының нарықтық үлесі 8,3% құрайды. Екеуінің нарықтық үлесі 96,30% құрайды.
Төмендегі суретте көрсетілгендей:
PERC технологиясында қайық тіректері алдыңғы фосфор диффузиясы және күйдіру процестері үшін қажет. TOPCon технологиясында қайық тіректері алдыңғы бор диффузиясы, LPCVD, артқы фосфор диффузиясы және күйдіру процестері үшін қажет. Қазіргі уақытта кремний карбидті қайық тіректері негізінен TOPCon технологиясының LPCVD процесінде қолданылады және олардың бор диффузиясы процесінде қолданылуы негізінен тексерілген.
Сурет Қайық тіректерін ұяшықты өңдеу процесінде қолдану
Ескерту: PERC және TOPCon технологияларының алдыңғы және артқы жабынынан кейін, қайық тіректерін пайдалануды қамтымайтын және жоғарыдағы суретте көрсетілмеген трафаретті басып шығару, күйдіру және сынау және сұрыптау сияқты байланыстар әлі де бар.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 15 қазан