Предности на потпирачот за чамци од силициум карбид во споредба со потпирачот за чамци од кварц

Главните функции наброд од силициум карбидпотпората и потпората за кварцни чамци се исти.Брод од силициум карбидПоддршката има одлични перформанси, но висока цена. Претставува алтернативен однос со кварцната потпора за чамци во опремата за обработка на батерии со сурови работни услови (како што се LPCVD опремата и опремата за дифузија на бор). Во опремата за обработка на батерии со вообичаени работни услови, поради ценовните односи, силициум карбидот и кварцната потпора за чамци стануваат коегзистентни и конкурентни категории.

① Однос на супституција во LPCVD и опрема за дифузија на бор

LPCVD опремата се користи за оксидација на тунелирање на батериски ќелии и процес на подготовка на допиран полисилициумски слој. Принцип на работа:

Под атмосфера со низок притисок, во комбинација со соодветна температура, се постигнува хемиска реакција и формирање на филм за таложење за да се подготви ултратенок слој на тунелски оксид и полисилициумски филм. Во процесот на подготовка на тунелски оксид и допиран полисилициумски слој, потпората на чамецот има висока работна температура и на површината ќе се наталожи силициумски филм. Коефициентот на термичка експанзија на кварцот е доста различен од оној на силициумот. Кога се користи во горенаведениот процес, потребно е редовно да се кисели и отстранува силициумот нанесен на површината за да се спречи кршење на кварцната потпора на чамецот поради термичка експанзија и контракција поради различниот коефициент на термичка експанзија од силициумот. Поради честото киселење и ниската цврстина на високи температури, држачот на кварцниот чамец има краток век на траење и често се заменува во процесот на тунелска оксидација и допиран полисилициумски слој, што значително ги зголемува трошоците за производство на батериската ќелија. Коефициентот на експанзија насилициум карбиде блиску до оној на силиконот. Интегрираниотброд од силициум карбидДржачот не бара маринирање во тунелската оксидација и процес на подготовка на допиран полисилициумски слој. Има висока отпорност на високи температури и долг век на траење. Претставува добра алтернатива на кварцниот држач за чамци.

Опремата за експанзија на бор главно се користи за процесот на допирање на борни елементи на супстратот од силициумска плочка од N-тип на батеријата за да се подготви емитер од P-тип за формирање на PN спој. Принципот на работа е да се реализира хемиска реакција и формирање на молекуларно таложење на филм во атмосфера со висока температура. Откако ќе се формира филмот, тој може да се дифузира со загревање на висока температура за да се реализира функцијата на допирање на површината на силициумската плочка. Поради високата работна температура на опремата за експанзија на бор, држачот за кварцни чамци има ниска висока температура и краток век на траење во опремата за експанзија на бор. Интегрираната...брод од силициум карбидДржачот има висока отпорност на високи температури и е добра алтернатива на држачот за кварцни чамци во процесот на експанзија на бор.

② Однос на замена во друга процесна опрема

SiC потпорите за чамци имаат мал производствен капацитет и одлични перформанси. Нивните цени се генерално повисоки од оние на кварцните потпори за чамци. Во општите услови на работа на опремата за обработка на ќелии, разликата во работниот век помеѓу SiC потпорите за чамци и кварцните потпори за чамци е мала. Купувачите од пониските пазари главно споредуваат и избираат помеѓу цената и перформансите врз основа на нивните сопствени процеси и потреби. SiC потпорите за чамци и кварцните потпори за чамци станаа коегзистентни и конкурентни. Сепак, маржата на бруто профит на SiC потпорите за чамци е релативно висока во моментов. Со намалувањето на трошоците за производство на SiC потпорите за чамци, ако продажната цена на SiC потпорите за чамци активно се намали, тоа ќе претставува и поголема конкурентност за кварцните потпори за чамци.

Сооднос на користење

Патот на мобилната технологија е главно PERC технологијата и TOPCon технологијата. Пазарниот удел на PERC технологијата е 88%, а пазарниот удел на TOPCon технологијата е 8,3%. Комбинираниот пазарен удел на двете е 96,30%.

Како што е прикажано на сликата подолу:

Во PERC технологијата, потребни се потпори за чамци за процесите на предна дифузија на фосфор и жарење. Во TOPCon технологијата, потребни се потпори за чамци за процесите на предна дифузија на бор, LPCVD, задна дифузија на фосфор и жарење. Во моментов, потпорите за чамци од силициум карбид главно се користат во процесот LPCVD на TOPCon технологијата, а нивната примена во процесот на дифузија на бор е главно потврдена.

Слика Примена на потпори за чамци во процесот на обработка на ќелии

Забелешка: По предното и задното премачкување со PERC и TOPCon технологиите, сè уште постојат врски како што се ситопечат, синтерување и тестирање и сортирање, кои не вклучуваат употреба на потпори за чамци и не се наведени на горната слика.