Fungsi utama tinaparahu silikon karbidapangrojong sareng pangrojong parahu kuarsa sami.Parahu silikon karbidaPangrojong ieu mibanda kinerja anu saé tapi hargana mahal. Ieu mangrupikeun hubungan alternatif sareng pangrojong parahu kuarsa dina alat pamrosésan batré kalayan kaayaan kerja anu kasar (sapertos alat LPCVD sareng alat difusi boron). Dina alat pamrosésan batré kalayan kaayaan kerja biasa, kusabab hubungan harga, pangrojong silikon karbida sareng parahu kuarsa janten kategori anu hirup babarengan sareng saling bersaing.
① Hubungan substitusi dina LPCVD sareng alat difusi boron
Peralatan LPCVD dianggo pikeun oksidasi tunneling sél batré sareng prosés persiapan lapisan polisilikon anu didoping. Prinsip kerja:
Dina atmosfir tekanan rendah, digabungkeun sareng suhu anu pas, réaksi kimia sareng formasi pilem déposisi kahontal pikeun nyiapkeun lapisan oksida torowongan ultra-ipis sareng pilem polisilikon. Dina prosés persiapan lapisan polisilikon oksidasi torowongan sareng doping, pangrojong parahu gaduh suhu kerja anu luhur sareng pilem silikon bakal diendapkeun dina permukaan. Koéfisién ékspansi termal kuarsa rada béda ti silikon. Nalika dianggo dina prosés di luhur, perlu rutin ngarékam sareng miceun silikon anu diendapkeun dina permukaan pikeun nyegah pangrojong parahu kuarsa pegat kusabab ékspansi sareng kontraksi termal kusabab koéfisién ékspansi termal anu béda ti silikon. Kusabab sering ngarékam sareng kakuatan suhu luhur anu handap, wadah parahu kuarsa gaduh umur anu pondok sareng sering diganti dina prosés persiapan lapisan polisilikon oksidasi torowongan sareng doping, anu sacara signifikan ningkatkeun biaya produksi sél batré. Koéfisién ékspansi tinasilikon karbidaampir sarua jeung silikon. Anu terintegrasiparahu silikon karbidawadahna teu merlukeun pengawetan dina prosés persiapan lapisan polisilikon anu didoping sareng oksidasi torowongan. Éta ngagaduhan kakuatan suhu luhur anu luhur sareng umur panjang. Éta mangrupikeun alternatif anu saé pikeun wadah parahu kuarsa.
Alat ékspansi boron utamina dianggo pikeun prosés doping unsur boron dina substrat wafer silikon tipe-N tina sél batré pikeun nyiapkeun emitor tipe-P pikeun ngabentuk sambungan PN. Prinsip kerjana nyaéta pikeun ngawujudkeun réaksi kimia sareng formasi pilem déposisi molekuler dina atmosfir suhu luhur. Saatos pilem kabentuk, éta tiasa didifusikeun ku pemanasan suhu luhur pikeun ngawujudkeun fungsi doping permukaan wafer silikon. Kusabab suhu kerja anu luhur tina alat ékspansi boron, wadah parahu kuarsa gaduh kakuatan suhu luhur anu handap sareng umur jasa anu pondok dina alat ékspansi boron. Anu terintegrasiparahu silikon karbidawadah ieu mibanda kakuatan suhu luhur anu luhur sareng mangrupikeun alternatif anu saé pikeun wadah parahu kuarsa dina prosés ékspansi boron.
② Hubungan substitusi dina alat prosés anu sanés
Pangrojong parahu SiC mibanda kapasitas produksi anu heureut sareng kinerja anu saé pisan. Hargana umumna langkung luhur tibatan pangrojong parahu kuarsa. Dina kaayaan kerja umum alat-alat pangolahan sél, bédana umur layanan antara pangrojong parahu SiC sareng pangrojong parahu kuarsa alit. Konsumén hilir utamina ngabandingkeun sareng milih antara harga sareng kinerja dumasar kana prosés sareng kabutuhanana nyalira. Pangrojong parahu SiC sareng pangrojong parahu kuarsa parantos janten sasarengan sareng kompetitif. Nanging, margin kauntungan kotor pangrojong parahu SiC relatif luhur ayeuna. Kalayan turunna biaya produksi pangrojong parahu SiC, upami harga jual pangrojong parahu SiC sacara aktif turun, éta ogé bakal nyababkeun daya saing anu langkung ageung pikeun pangrojong parahu kuarsa.
Babandingan panggunaan
Rute téknologi sél utamina nyaéta téknologi PERC sareng téknologi TOPCon. Pangsa pasar téknologi PERC nyaéta 88%, sareng pangsa pasar téknologi TOPCon nyaéta 8,3%. Pangsa pasar gabungan duanana nyaéta 96,30%.
Sakumaha anu dipidangkeun dina gambar di handap ieu:
Dina téknologi PERC, pangrojong parahu diperyogikeun pikeun prosés difusi fosfor hareup sareng prosés annealing. Dina téknologi TOPCon, pangrojong parahu diperyogikeun pikeun prosés difusi boron hareup, LPCVD, difusi fosfor tukang sareng prosés annealing. Ayeuna, pangrojong parahu silikon karbida utamina dianggo dina prosés LPCVD téknologi TOPCon, sareng aplikasi na dina prosés difusi boron utamina parantos diverifikasi.
Gambar Aplikasi pangrojong parahu dina prosés pamrosésan sél
Catetan: Saatos palapis hareup sareng tukang téknologi PERC sareng TOPCon, masih aya tautan sapertos sablon, sintering sareng uji coba sareng sortir, anu henteu ngalibatkeun panggunaan pangrojong parahu sareng henteu didaptarkeun dina gambar di luhur.
Waktos posting: 15-Okt-2024