De belangrijkste functies vansiliciumcarbide bootDe ondersteuning en de ondersteuning van de kwartsboot zijn hetzelfde.Siliciumcarbide bootDe ondersteuningselementen bieden uitstekende prestaties, maar hebben een hoge prijs. Ze vormen een alternatief voor kwartsbootondersteuning in batterijverwerkingsapparatuur met zware werkomstandigheden (zoals LPCVD-apparatuur en boordiffusieapparatuur). In batterijverwerkingsapparatuur met normale werkomstandigheden bestaan siliciumcarbide en kwartsbootondersteuning, vanwege de prijsverhoudingen, naast elkaar en concurreren ze met elkaar.
① Substitutieverhouding in LPCVD- en boordiffusieapparatuur
LPCVD-apparatuur wordt gebruikt voor tunneloxidatie van batterijcellen en voor de bereiding van gedoteerde polysiliciumlagen. Werkingsprincipe:
Onder lage druk, in combinatie met een geschikte temperatuur, vinden chemische reacties en depositie van een film plaats, waardoor een ultradunne tunneloxide-laag en een polysiliciumfilm worden gevormd. Tijdens het proces van tunneloxidatie en de bereiding van de gedoteerde polysiliciumlaag heeft de bootvormige drager een hoge werktemperatuur, waardoor een siliciumfilm op het oppervlak wordt afgezet. De thermische uitzettingscoëfficiënt van kwarts verschilt aanzienlijk van die van silicium. Bij gebruik in het bovenstaande proces is het noodzakelijk om de op het oppervlak afgezette silicium regelmatig te verwijderen door beitsen en te verwijderen om te voorkomen dat de kwarts bootvormige drager breekt als gevolg van thermische uitzetting en krimp door het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënt met silicium. Door het frequente beitsen en de lage sterkte bij hoge temperaturen heeft de kwarts bootvormige drager een korte levensduur en moet deze regelmatig worden vervangen tijdens het proces van tunneloxidatie en de bereiding van de gedoteerde polysiliciumlaag, wat de productiekosten van de batterijcel aanzienlijk verhoogt.siliciumcarbideligt dicht bij die van silicium. De geïntegreerdesiliciumcarbide bootDe houder hoeft niet gebeitst te worden tijdens het tunneloxidatie- en preparatieproces van de gedoteerde polysiliciumlaag. Hij heeft een hoge temperatuurbestendigheid en een lange levensduur. Het is een goed alternatief voor de kwartsboothouder.
Boriumexpansieapparatuur wordt voornamelijk gebruikt voor het doteren van N-type siliciumwafelsubstraten in batterijcellen met borium om een P-type emitter te creëren en zo een PN-junctie te vormen. Het werkingsprincipe berust op een chemische reactie en de vorming van een moleculaire film in een atmosfeer met hoge temperatuur. Nadat de film is gevormd, kan deze door verhitting op hoge temperatuur diffunderen om de doteringsfunctie van het siliciumwafeloppervlak te realiseren. Vanwege de hoge werktemperatuur van de boriumexpansieapparatuur heeft de kwartsboothouder een lage temperatuurbestendigheid en een korte levensduur.siliciumcarbide bootDe houder heeft een hoge temperatuurbestendigheid en is een goed alternatief voor de kwartsboothouder in het boorexpansieproces.
② Vervangingsrelatie in andere procesapparatuur
SiC-bootsteunen hebben een beperkte productiecapaciteit en uitstekende prestaties. De prijs ervan ligt over het algemeen hoger dan die van kwartsbootsteunen. Onder de normale bedrijfsomstandigheden van celverwerkingsapparatuur is het verschil in levensduur tussen SiC-bootsteunen en kwartsbootsteunen klein. Afnemers vergelijken en kiezen voornamelijk op basis van prijs en prestaties, rekening houdend met hun eigen processen en behoeften. SiC-bootsteunen en kwartsbootsteunen bestaan naast elkaar en concurreren met elkaar. De brutowinstmarge van SiC-bootsteunen is momenteel echter relatief hoog. Als de productiekosten van SiC-bootsteunen dalen en de verkoopprijs ervan verder daalt, zal dit de concurrentiepositie van kwartsbootsteunen verder versterken.
Gebruiksverhouding
De belangrijkste technologieën voor zonnecellen zijn PERC- en TOPCon-technologie. Het marktaandeel van PERC-technologie bedraagt 88%, en dat van TOPCon-technologie 8,3%. Het gecombineerde marktaandeel van beide is 96,30%.
Zoals weergegeven in de onderstaande afbeelding:
Bij PERC-technologie zijn bootvormige steunen nodig voor de diffusie van fosfor aan de voorzijde en het gloeiproces. Bij TOPCon-technologie zijn bootvormige steunen nodig voor de diffusie van boor aan de voorzijde, LPCVD, diffusie van fosfor aan de achterzijde en het gloeiproces. Momenteel worden siliciumcarbide bootvormige steunen voornamelijk gebruikt in het LPCVD-proces van TOPCon-technologie, en hun toepassing in het boordiffusieproces is grotendeels geverifieerd.
Afbeelding: Toepassing van bootsteunen in het celverwerkingsproces
Opmerking: Na de coating van de voor- en achterkant met de PERC- en TOPCon-technologieën volgen nog stappen zoals zeefdrukken, sinteren, testen en sorteren, waarbij geen bootsteunen nodig zijn en die niet in de bovenstaande afbeelding zijn weergegeven.
Geplaatst op: 15 oktober 2024