क्वार्ट्ज बोट सपोर्टच्या तुलनेत सिलिकॉन कार्बाइड बोट सपोर्टचे फायदे

मुख्य कार्येसिलिकॉन कार्बाइड बोटसपोर्ट आणि क्वार्ट्झ बोट सपोर्ट हे एकच आहेत.सिलिकॉन कार्बाइड बोटसपोर्टची कार्यक्षमता उत्कृष्ट असली तरी त्याची किंमत जास्त आहे. खडतर कार्य परिस्थिती असलेल्या बॅटरी प्रक्रिया उपकरणांमध्ये (जसे की LPCVD उपकरणे आणि बोरॉन डिफ्यूजन उपकरणे), क्वार्ट्झ बोट सपोर्टसोबत त्याचा एक पर्यायी संबंध असतो. सामान्य कार्य परिस्थिती असलेल्या बॅटरी प्रक्रिया उपकरणांमध्ये, किमतीच्या संबंधामुळे, सिलिकॉन कार्बाइड आणि क्वार्ट्झ बोट सपोर्ट हे सहअस्तित्वात असलेले आणि स्पर्धात्मक प्रकार बनतात.

① एलपीसीव्हीडी आणि बोरॉन प्रसार उपकरणांमधील प्रतिस्थापन संबंध

एलपीसीव्हीडी उपकरण बॅटरी सेल टनेलिंग ऑक्सिडेशन आणि डोप्ड पॉलिसिलिकॉन थर तयार करण्याच्या प्रक्रियेसाठी वापरले जाते. कार्यतत्त्व:

कमी दाबाच्या वातावरणात, योग्य तापमानासह, रासायनिक अभिक्रिया आणि निक्षेपण फिल्मची निर्मिती करून अति-पातळ टनेलिंग ऑक्साइड थर आणि पॉलिसिलिकॉन फिल्म तयार केली जाते. टनेलिंग ऑक्सिडेशन आणि डोप्ड पॉलिसिलिकॉन थर तयार करण्याच्या प्रक्रियेत, बोट सपोर्टचे कार्य तापमान उच्च असते आणि त्याच्या पृष्ठभागावर सिलिकॉन फिल्म जमा होते. क्वार्ट्झचा औष्णिक प्रसरण गुणांक सिलिकॉनपेक्षा खूप वेगळा असतो. वरील प्रक्रियेत वापरताना, सिलिकॉनपेक्षा वेगळ्या औष्णिक प्रसरण गुणांकामुळे होणाऱ्या औष्णिक प्रसरण आणि आकुंचनामुळे क्वार्ट्झ बोट सपोर्ट तुटू नये म्हणून, पृष्ठभागावर जमा झालेले सिलिकॉन नियमितपणे पिक्लिंग करून काढून टाकणे आवश्यक असते. वारंवार पिक्लिंग आणि कमी उच्च-तापमान क्षमतेमुळे, क्वार्ट्झ बोट होल्डरचे आयुष्य कमी होते आणि टनेल ऑक्सिडेशन व डोप्ड पॉलिसिलिकॉन थर तयार करण्याच्या प्रक्रियेत तो वारंवार बदलावा लागतो, ज्यामुळे बॅटरी सेलचा उत्पादन खर्च लक्षणीयरीत्या वाढतो.सिलिकॉन कार्बाइडसिलिकॉनच्या जवळपास आहे. एकात्मिकसिलिकॉन कार्बाइड बोटटनेल ऑक्सिडेशन आणि डोप्ड पॉलिसिलिकॉन थर तयार करण्याच्या प्रक्रियेत होल्डरला पिक्लिंगची आवश्यकता नसते. यात उच्च तापमानाला टिकून राहण्याची क्षमता आणि दीर्घ सेवा आयुष्य असते. हा क्वार्ट्ज बोट होल्डरला एक चांगला पर्याय आहे.

बोरॉन विस्तार उपकरण मुख्यत्वे बॅटरी सेलच्या एन-टाइप सिलिकॉन वेफर सबस्ट्रेटवर बोरॉन मूलद्रव्यांचे डोपिंग करण्याच्या प्रक्रियेसाठी वापरले जाते, जेणेकरून पी-टाइप एमिटर तयार करून पीएन जंक्शन बनवता येईल. याचे कार्यतत्त्व म्हणजे उच्च-तापमानाच्या वातावरणात रासायनिक अभिक्रिया आणि आण्विक निक्षेपण फिल्मची निर्मिती करणे. फिल्म तयार झाल्यावर, सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागावर डोपिंगचे कार्य साध्य करण्यासाठी उच्च-तापमानाच्या उष्णतेने ती पसरवली जाते. बोरॉन विस्तार उपकरणाच्या उच्च कार्य तापमानामुळे, क्वार्ट्झ बोट होल्डरची उच्च-तापमान शक्ती कमी असते आणि त्याचे सेवा आयुष्य कमी असते. एकात्मिकसिलिकॉन कार्बाइड बोटया होल्डरमध्ये उच्च तापमान सहन करण्याची क्षमता आहे आणि बोरॉन विस्तार प्रक्रियेमध्ये तो क्वार्ट्ज बोट होल्डरला एक चांगला पर्याय आहे.

② इतर प्रक्रिया उपकरणांमधील प्रतिस्थापन संबंध

एसआयसी बोट सपोर्ट्सची उत्पादन क्षमता मर्यादित असून त्यांची कार्यक्षमता उत्कृष्ट आहे. त्यांची किंमत सामान्यतः क्वार्ट्झ बोट सपोर्ट्सपेक्षा जास्त असते. सेल प्रोसेसिंग उपकरणांच्या सामान्य कार्य परिस्थितीत, एसआयसी बोट सपोर्ट्स आणि क्वार्ट्झ बोट सपोर्ट्स यांच्या सेवा आयुष्यातील फरक कमी असतो. डाउनस्ट्रीम ग्राहक प्रामुख्याने त्यांच्या स्वतःच्या प्रक्रिया आणि गरजांनुसार किंमत आणि कार्यक्षमता यांची तुलना करून निवड करतात. एसआयसी बोट सपोर्ट्स आणि क्वार्ट्झ बोट सपोर्ट्स आता एकत्र अस्तित्वात आहेत आणि त्यांच्यात स्पर्धा आहे. तथापि, सध्या एसआयसी बोट सपोर्ट्सचा एकूण नफा तुलनेने जास्त आहे. एसआयसी बोट सपोर्ट्सच्या उत्पादन खर्चात घट झाल्यामुळे, जर त्यांची विक्री किंमतही वेगाने कमी झाली, तर त्यामुळे क्वार्ट्झ बोट सपोर्ट्ससाठी अधिक मोठी स्पर्धा निर्माण होईल.

वापराचे प्रमाण

सेल तंत्रज्ञानाचा मार्ग प्रामुख्याने PERC तंत्रज्ञान आणि TOPCon तंत्रज्ञान आहे. PERC तंत्रज्ञानाचा बाजारहिस्सा ८८% आहे, आणि TOPCon तंत्रज्ञानाचा बाजारहिस्सा ८.३% आहे. या दोन्हींचा एकत्रित बाजारहिस्सा ९६.३०% आहे.

खालील आकृतीत दाखवल्याप्रमाणे:

PERC तंत्रज्ञानामध्ये, पुढील फॉस्फरस डिफ्यूजन आणि ॲनीलिंग प्रक्रियांसाठी बोट सपोर्ट्सची आवश्यकता असते. TOPCon तंत्रज्ञानामध्ये, पुढील बोरॉन डिफ्यूजन, LPCVD, मागील फॉस्फरस डिफ्यूजन आणि ॲनीलिंग प्रक्रियांसाठी बोट सपोर्ट्सची आवश्यकता असते. सध्या, सिलिकॉन कार्बाइड बोट सपोर्ट्स प्रामुख्याने TOPCon तंत्रज्ञानाच्या LPCVD प्रक्रियेमध्ये वापरले जातात आणि बोरॉन डिफ्यूजन प्रक्रियेतील त्यांच्या वापराची मुख्यत्वे पडताळणी झाली आहे.

पेशी प्रक्रिया प्रक्रियेत बोट सपोर्ट्सचा वापर दर्शवणारी आकृती.

टीप: PERC आणि TOPCon तंत्रज्ञानाच्या पुढील आणि मागील कोटिंगनंतर, स्क्रीन प्रिंटिंग, सिंटरिंग आणि चाचणी व वर्गीकरण यांसारखे टप्पे अजूनही आहेत, ज्यामध्ये बोट सपोर्टचा वापर होत नाही आणि ते वरील आकृतीत सूचीबद्ध नाहीत.