Le lelei o le lagolago va'a silicon carbide pe a fa'atusatusa i le lagolago va'a quartz

O galuega autū ava'a silicon carbidee tutusa le lagolago ma le lagolago o le va'a kuata.Va'a silicon carbideE lelei tele le fa'atinoga o le lagolago ae taugata tele. O se isi sootaga ma le lagolago va'a kuata i masini fa'agaoioia maa e faigata tulaga faigaluega (e pei o masini LPCVD ma masini fa'asalalau boron). I masini fa'agaoioia maa e masani ona faigaluega, ona o le tau, o le silicon carbide ma le lagolago va'a kuata e avea ma vaega e nonofo fa'atasi ma tauva.

① Sootaga o le suiga i le LPCVD ma meafaigaluega fa'asalalau boron

O masini LPCVD e faʻaaogaina mo le faʻaolaolaina o le sela o le maa ma le faʻagasologa o le sauniaina o le vaega polysilicon. Mataupu faʻavae o le galue:

I lalo o le ea maualalo le mamafa, faʻatasi ai ma le vevela talafeagai, e ausia ai le faʻagasologa o vailaʻau ma le fausiaina o le ata tifaga e saunia ai le vaega manifinifi o le tunneling oxide ma le ata tifaga polysilicon. I le faagasologa o le sauniaina o le tunneling oxidation ma le doped polysilicon layer, o le lagolago o le vaʻa e maualuga le vevela o le galuega ma o le a faʻaputuina se ata tifaga silicon i luga o le fogaeleele. O le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o le quartz e matua ese lava mai le silicon. A faʻaaogaina i le faagasologa o loʻo i luga, e tatau ona faʻasusu ma aveese soo le silicon o loʻo faʻaputuina i luga o le fogaeleele e puipuia ai le lagolago o le vaʻa quartz mai le gau ona o le faʻalauteleina ma le faʻapuʻupuʻuina o le vevela ona o le eseesega o le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela mai le silicon. Ona o le faʻasusu soo ma le malosi maualalo o le vevela maualuga, o le uʻamea o le vaʻa quartz e puʻupuʻu lona ola ma e masani ona sui i le faagasologa o le sauniaina o le tunnel oxidation ma le doped polysilicon layer, lea e faʻateleina ai le tau o le gaosiga o le cell battery. O le coefficient o le faʻalauteleina o lesilicon carbidee latalata i le silicon. O le tu'ufa'atasiava'a silicon carbideE le manaʻomia e le mea e uu ai le fa'amasima i le faagasologa o le saunia o le vaega polysilicon ua fa'apipi'iina i le alavai. E maualuga lona malosi i le vevela maualuga ma umi lona ola. O se isi auala lelei e sui ai le mea e uu ai le va'a kuata.

O masini fa'alauteleina o le boron e fa'aaogaina tele mo le fa'agasologa o le fa'apipi'iina o elemene boron i luga o le N-type silicon wafer substrate o le sela o le maa e saunia ai le P-type emitter e fausia ai se PN junction. O le mataupu fa'atino o le fa'atinoina lea o le tali atu o vaila'au ma le fausiaina o le ata tifaga molecular deposition i se siosiomaga vevela maualuga. A mae'a ona fausia le ata tifaga, e mafai ona fa'asalalauina i le vevela maualuga e fa'atino ai le galuega fa'apipi'i o le silicon wafer surface. Ona o le vevela maualuga o le galuega a le masini fa'alauteleina o le boron, o le quartz boat holder e maualalo le malosi o le vevela maualuga ma e pu'upu'u le ola tautua i le masini fa'alauteleina o le boron. O le tu'ufa'atasiava'a silicon carbideO le mea e uu ai e maualuga lona malosi e tetee atu i le vevela ma o se isi auala lelei e sui ai le mea e uu ai le va'a kuata i le fa'agasologa o le fa'alauteleina o le boron.

② Sootaga sui i isi masini fa'agasologa

E laiti le gafatia o le gaosiga o lagolago va'a SiC ma e sili ona lelei le fa'atinoga. E masani lava ona maualuga atu a latou tau nai lo lagolago va'a kuata. I tulaga masani o galuega a masini fa'agasolo sela, e la'ititi le eseesega i le umi e fa'aaogaina ai lagolago va'a SiC ma lagolago va'a kuata. E masani ona fa'atusatusa ma filifili e tagata fa'atau i lalo ifo le tau ma le fa'atinoga e fa'atatau i a latou lava faiga ma mana'oga. Ua tutusa ma tauva lagolago va'a SiC ma lagolago va'a kuata. Peita'i, o le aofa'i o tupe mama o lagolago va'a SiC e maualuga tele i le taimi nei. Fa'atasi ai ma le pa'u'ū o le tau o le gaosiga o lagolago va'a SiC, afai e pa'u'ū malosi le tau fa'atau atu o lagolago va'a SiC, o le a sili atu fo'i ona tauva i lagolago va'a kuata.

Fua fa'atatau o le fa'aaogaina

O le auala autū o tekinolosi o sela o le tekinolosi PERC ma le tekinolosi TOPCon. O le sea maketi o le tekinolosi PERC e 88%, ma le sea maketi o le tekinolosi TOPCon e 8.3%. O le sea maketi tuufaatasi o ia mea e lua e 96.30%.

E pei ona faaalia i le ata o loo i lalo:

I le tekinolosi PERC, e manaʻomia lagolago vaʻa mo le faʻasalalauina o le phosphorus i luma ma le faʻamafanafana. I le tekinolosi TOPCon, e manaʻomia lagolago vaʻa mo le faʻasalalauina o le boron i luma, LPCVD, faʻasalalauina o le phosphorus i tua ma le faʻamafanafana. I le taimi nei, o lagolago vaʻa silicon carbide e faʻaaogaina tele i le faagasologa LPCVD o le tekinolosi TOPCon, ma o latou faʻaoga i le faagasologa o le faʻasalalauina o le boron ua faʻamaonia tele.

Ata Fa'aaogāina o lagolago o va'a i le fa'agasologa o le fa'agasologa o le sela

Manatua: A maeʻa ona ufiufi luma ma tua o tekinolosi a le PERC ma le TOPCon, o loʻo iai pea soʻotaga e pei o le lolomiina o ata, faʻasuʻeina ma le faʻataʻitaʻiina ma le faʻavasegaina, e le aofia ai le faʻaaogaina o lagolago vaʻa ma e le o lisiina i le ata o loʻo i luga.