As principais funcións debarco de carburo de silicioO soporte e o soporte de cuarzo para barcos son o mesmo.Barco de carburo de silicioO soporte ten un rendemento excelente pero un prezo elevado. Constitúe unha relación alternativa co soporte de barco de cuarzo en equipos de procesamento de baterías con condicións de traballo adversas (como equipos LPCVD e equipos de difusión de boro). Nos equipos de procesamento de baterías con condicións de traballo ordinarias, debido ás relacións de prezos, o carburo de silicio e o soporte de barco de cuarzo convértense en categorías coexistentes e competidoras.
① Relación de substitución en equipos de LPCVD e difusión de boro
O equipo LPCVD utilízase para a oxidación por tunelización de celas de baterías e o proceso de preparación de capas de polisilicio dopado. Principio de funcionamento:
En atmosfera de baixa presión, combinada cunha temperatura axeitada, conséguese unha reacción química e a formación dunha película de deposición para preparar unha capa de óxido de tunelamento ultrafina e unha película de polisilicio. No proceso de preparación da capa de polisilicio dopado e oxidación por tunelamento, o soporte da barca ten unha temperatura de traballo alta e depositarase unha película de silicio na superficie. O coeficiente de expansión térmica do cuarzo é bastante diferente ao do silicio. Cando se usa no proceso anterior, é necesario decapar e eliminar regularmente o silicio depositado na superficie para evitar que o soporte da barca de cuarzo se rompa debido á expansión e contracción térmicas debido ao diferente coeficiente de expansión térmica do silicio. Debido ao decapado frecuente e á baixa resistencia a altas temperaturas, o soporte da barca de cuarzo ten unha vida útil curta e substitúese con frecuencia no proceso de preparación da capa de polisilicio dopado e oxidación por tunelamento, o que aumenta significativamente o custo de produción da cela da batería. O coeficiente de expansión decarburo de silicioé próximo ao do silicio. O integradobarco de carburo de silicioO soporte non require decapado no proceso de oxidación por túnel nin na preparación da capa de polisilicio dopado. Ten unha alta resistencia a altas temperaturas e unha longa vida útil. É unha boa alternativa ao soporte de cuarzo tipo barca.
O equipo de expansión de boro úsase principalmente para o proceso de dopaxe de elementos de boro no substrato da oblea de silicio de tipo N da cela da batería para preparar o emisor de tipo P para formar unha unión PN. O principio de funcionamento é realizar unha reacción química e a formación dunha película de deposición molecular nunha atmosfera de alta temperatura. Unha vez formada a película, pódese difundir mediante quecemento a alta temperatura para realizar a función de dopaxe da superficie da oblea de silicio. Debido á alta temperatura de traballo do equipo de expansión de boro, o soporte do bote de cuarzo ten unha baixa resistencia a altas temperaturas e unha curta vida útil no equipo de expansión de boro. O integradobarco de carburo de silicioO soporte ten unha alta resistencia a altas temperaturas e é unha boa alternativa ao soporte de barca de cuarzo no proceso de expansión do boro.
② Relación de substitución noutros equipos de proceso
Os soportes para barcos de SiC teñen unha capacidade de produción axustada e un excelente rendemento. O seu prezo é xeralmente superior ao dos soportes para barcos de cuarzo. Nas condicións xerais de traballo dos equipos de procesamento celular, a diferenza na vida útil entre os soportes para barcos de SiC e os soportes para barcos de cuarzo é pequena. Os clientes posteriores comparan e escollen principalmente entre prezo e rendemento en función dos seus propios procesos e necesidades. Os soportes para barcos de SiC e os soportes para barcos de cuarzo convertéronse en coexistentes e competitivos. Non obstante, a marxe de beneficio bruto dos soportes para barcos de SiC é relativamente alta na actualidade. Coa diminución do custo de produción dos soportes para barcos de SiC, se o prezo de venda dos soportes para barcos de SiC diminúe activamente, tamén suporá unha maior competitividade para os soportes para barcos de cuarzo.
Taxa de uso
A ruta da tecnoloxía celular é principalmente a tecnoloxía PERC e a tecnoloxía TOPCon. A cota de mercado da tecnoloxía PERC é do 88 % e a da tecnoloxía TOPCon é do 8,3 %. A cota de mercado combinada das dúas é do 96,30 %.
Como se mostra na figura seguinte:
Na tecnoloxía PERC, os soportes para barcos son necesarios para os procesos de difusión frontal do fósforo e recocido. Na tecnoloxía TOPCon, os soportes para barcos son necesarios para os procesos de difusión frontal do boro, LPCVD, difusión posterior do fósforo e recocido. Na actualidade, os soportes para barcos de carburo de silicio utilízanse principalmente no proceso LPCVD da tecnoloxía TOPCon, e a súa aplicación no proceso de difusión do boro foi verificada principalmente.
Figura Aplicación de soportes para embarcacións no proceso de procesamento celular
Nota: Despois do revestimento frontal e traseiro das tecnoloxías PERC e TOPCon, aínda existen conexións como a serigrafía, a sinterización e as probas e clasificación, que non implican o uso de soportes para embarcacións e non se enumeran na figura anterior.
Data de publicación: 15 de outubro de 2024