ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടിനെ അപേക്ഷിച്ച് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടിന്റെ ഗുണങ്ങൾ

പ്രധാന പ്രവർത്തനങ്ങൾസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട്സപ്പോർട്ടും ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടും ഒന്നുതന്നെയാണ്.സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട്മികച്ച പ്രകടനശേഷിയുള്ള സപ്പോർട്ടിന് ഉയർന്ന വിലയുണ്ട്. കഠിനമായ പ്രവർത്തന സാഹചര്യങ്ങളുള്ള (LPCVD ഉപകരണങ്ങൾ, ബോറോൺ ഡിഫ്യൂഷൻ ഉപകരണങ്ങൾ പോലുള്ളവ) ബാറ്ററി പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ ക്വാർട്സ് ബോട്ട് പിന്തുണയുമായി ഇത് ഒരു ബദൽ ബന്ധം സൃഷ്ടിക്കുന്നു. സാധാരണ പ്രവർത്തന സാഹചര്യങ്ങളുള്ള ബാറ്ററി പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ, വില ബന്ധങ്ങൾ കാരണം, സിലിക്കൺ കാർബൈഡും ക്വാർട്സ് ബോട്ട് പിന്തുണയും സഹവർത്തിക്കുന്നതും മത്സരിക്കുന്നതുമായ വിഭാഗങ്ങളായി മാറുന്നു.

① എൽപിസിവിഡിയിലും ബോറോൺ ഡിഫ്യൂഷൻ ഉപകരണങ്ങളിലും സബ്സ്റ്റിറ്റ്യൂഷൻ ബന്ധം

ബാറ്ററി സെൽ ടണലിംഗ് ഓക്‌സിഡേഷനും ഡോപ്പ് ചെയ്ത പോളിസിലിക്കൺ പാളി തയ്യാറാക്കൽ പ്രക്രിയയ്ക്കും LPCVD ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. പ്രവർത്തന തത്വം:

താഴ്ന്ന മർദ്ദത്തിലുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ, ഉചിതമായ താപനിലയുമായി സംയോജിപ്പിച്ച്, രാസപ്രവർത്തനവും നിക്ഷേപണ ഫിലിം രൂപീകരണവും വഴി അൾട്രാ-നേർത്ത ടണലിംഗ് ഓക്സൈഡ് പാളിയും പോളിസിലിക്കൺ ഫിലിമും തയ്യാറാക്കുന്നു. ടണലിംഗ് ഓക്സിഡേഷനും ഡോപ്പ് ചെയ്ത പോളിസിലിക്കൺ പാളി തയ്യാറാക്കൽ പ്രക്രിയയിൽ, ബോട്ട് സപ്പോർട്ടിന് ഉയർന്ന പ്രവർത്തന താപനിലയുണ്ട്, കൂടാതെ ഒരു സിലിക്കൺ ഫിലിം ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കും. ക്വാർട്സിന്റെ താപ വികാസ ഗുണകം സിലിക്കണിൽ നിന്ന് വളരെ വ്യത്യസ്തമാണ്. മുകളിൽ പറഞ്ഞ പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, സിലിക്കണിൽ നിന്നുള്ള വ്യത്യസ്ത താപ വികാസ ഗുണകം കാരണം താപ വികാസവും സങ്കോചവും കാരണം ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ട് പൊട്ടുന്നത് തടയാൻ ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിച്ചിരിക്കുന്ന സിലിക്കൺ പതിവായി അച്ചാർ ചെയ്ത് നീക്കം ചെയ്യേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. ഇടയ്ക്കിടെ അച്ചാർ ചെയ്യുന്നതും കുറഞ്ഞ ഉയർന്ന താപനില ശക്തിയും കാരണം, ക്വാർട്സ് ബോട്ട് ഹോൾഡറിന് ഹ്രസ്വമായ ആയുസ്സുണ്ട്, കൂടാതെ ടണൽ ഓക്സിഡേഷനിലും ഡോപ്പ് ചെയ്ത പോളിസിലിക്കൺ പാളി തയ്യാറാക്കൽ പ്രക്രിയയിലും ഇത് പതിവായി മാറ്റിസ്ഥാപിക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് ബാറ്ററി സെല്ലിന്റെ ഉൽപാദനച്ചെലവ് ഗണ്യമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. ഇതിന്റെ വികാസ ഗുണകംസിലിക്കൺ കാർബൈഡ്സിലിക്കണിന് സമാനമാണ്. സംയോജിതസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട്ടണൽ ഓക്‌സിഡേഷനിലും ഡോപ്പ് ചെയ്ത പോളിസിലിക്കൺ പാളി തയ്യാറാക്കൽ പ്രക്രിയയിലും ഹോൾഡറിന് അച്ചാറിംഗ് ആവശ്യമില്ല. ഇതിന് ഉയർന്ന താപനില ശക്തിയും നീണ്ട സേവന ജീവിതവുമുണ്ട്. ക്വാർട്സ് ബോട്ട് ഹോൾഡറിന് നല്ലൊരു ബദലാണിത്.

ബാറ്ററി സെല്ലിന്റെ N-ടൈപ്പ് സിലിക്കൺ വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൽ ബോറോൺ മൂലകങ്ങൾ ഡോപ്പിംഗ് ചെയ്യുന്ന പ്രക്രിയയ്ക്കാണ് ബോറോൺ എക്സ്പാൻഷൻ ഉപകരണങ്ങൾ പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നത്, ഇത് പി-ടൈപ്പ് എമിറ്റർ ഒരു പിഎൻ ജംഗ്ഷൻ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് തയ്യാറാക്കുന്നു. ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ രാസപ്രവർത്തനവും തന്മാത്രാ നിക്ഷേപ ഫിലിം രൂപീകരണവും യാഥാർത്ഥ്യമാക്കുക എന്നതാണ് പ്രവർത്തന തത്വം. ഫിലിം രൂപപ്പെട്ടതിനുശേഷം, സിലിക്കൺ വേഫർ ഉപരിതലത്തിന്റെ ഡോപ്പിംഗ് പ്രവർത്തനം യാഥാർത്ഥ്യമാക്കുന്നതിന് ഉയർന്ന താപനില ചൂടാക്കൽ വഴി ഇത് വ്യാപിപ്പിക്കാൻ കഴിയും. ബോറോൺ എക്സ്പാൻഷൻ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഉയർന്ന പ്രവർത്തന താപനില കാരണം, ക്വാർട്സ് ബോട്ട് ഹോൾഡറിന് കുറഞ്ഞ ഉയർന്ന താപനില ശക്തിയും ബോറോൺ എക്സ്പാൻഷൻ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഒരു ചെറിയ സേവന ജീവിതവുമുണ്ട്. സംയോജിതസിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട്ഹോൾഡറിന് ഉയർന്ന താപനില ശക്തിയുണ്ട്, ബോറോൺ വികാസ പ്രക്രിയയിൽ ക്വാർട്സ് ബോട്ട് ഹോൾഡറിന് നല്ലൊരു ബദലാണ് ഇത്.

② മറ്റ് പ്രോസസ്സ് ഉപകരണങ്ങളിലെ സബ്സ്റ്റിറ്റ്യൂഷൻ ബന്ധം

SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകൾക്ക് കുറഞ്ഞ ഉൽപ്പാദന ശേഷിയും മികച്ച പ്രകടനവുമുണ്ട്. അവയുടെ വില സാധാരണയായി ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളേക്കാൾ കൂടുതലാണ്. സെൽ പ്രോസസ്സിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ പൊതുവായ പ്രവർത്തന സാഹചര്യങ്ങളിൽ, SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളും ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളും തമ്മിലുള്ള സേവന ജീവിതത്തിലെ വ്യത്യാസം ചെറുതാണ്. ഡൗൺസ്ട്രീം ഉപഭോക്താക്കൾ പ്രധാനമായും താരതമ്യം ചെയ്ത് വിലയും പ്രകടനവും തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നത് അവരുടെ സ്വന്തം പ്രക്രിയകളെയും ആവശ്യങ്ങളെയും അടിസ്ഥാനമാക്കിയാണ്. SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളും ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളും സഹവർത്തിത്വവും മത്സരക്ഷമതയും നേടിയിട്ടുണ്ട്. എന്നിരുന്നാലും, SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളുടെ മൊത്ത ലാഭ മാർജിൻ നിലവിൽ താരതമ്യേന ഉയർന്നതാണ്. SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളുടെ ഉൽപാദനച്ചെലവ് കുറയുന്നതിനനുസരിച്ച്, SiC ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളുടെ വിൽപ്പന വില സജീവമായി കുറയുകയാണെങ്കിൽ, അത് ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകൾക്ക് കൂടുതൽ മത്സരശേഷി നൽകും.

ഉപയോഗ അനുപാതം

സെൽ ടെക്നോളജി റൂട്ട് പ്രധാനമായും PERC സാങ്കേതികവിദ്യയും TOPCon സാങ്കേതികവിദ്യയുമാണ്. PERC സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വിപണി വിഹിതം 88% ആണ്, TOPCon സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വിപണി വിഹിതം 8.3% ആണ്. രണ്ടും കൂടിച്ചേർന്ന് 96.30% ആണ്.

താഴെയുള്ള ചിത്രത്തിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ:

PERC സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ, ഫ്രണ്ട് ഫോസ്ഫറസ് ഡിഫ്യൂഷൻ, അനീലിംഗ് പ്രക്രിയകൾക്ക് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകൾ ആവശ്യമാണ്. TOPCon സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ, ഫ്രണ്ട് ബോറോൺ ഡിഫ്യൂഷൻ, LPCVD, ബാക്ക് ഫോസ്ഫറസ് ഡിഫ്യൂഷൻ, അനീലിംഗ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയ്ക്ക് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകൾ ആവശ്യമാണ്. നിലവിൽ, TOPCon സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ LPCVD പ്രക്രിയയിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകൾ പ്രധാനമായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ ബോറോൺ ഡിഫ്യൂഷൻ പ്രക്രിയയിൽ അവയുടെ പ്രയോഗം പ്രധാനമായും പരിശോധിച്ചിട്ടുണ്ട്.

ചിത്രം സെൽ പ്രോസസ്സിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളുടെ പ്രയോഗം

കുറിപ്പ്: PERC, TOPCon സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെ മുന്നിലും പിന്നിലും കോട്ടിംഗ് നടത്തിയതിനു ശേഷവും, സ്ക്രീൻ പ്രിന്റിംഗ്, സിന്ററിംഗ്, ടെസ്റ്റിംഗ്, സോർട്ടിംഗ് തുടങ്ങിയ ലിങ്കുകൾ ഇപ്പോഴും ഉണ്ട്, അവ ബോട്ട് സപ്പോർട്ടുകളുടെ ഉപയോഗം ഉൾപ്പെടുന്നില്ല, മുകളിലുള്ള ചിത്രത്തിൽ പട്ടികപ്പെടുത്തിയിട്ടില്ല.