основные функциилодка из карбида кремнияОпора и кварцевая опора для лодки — это одно и то же.лодка из карбида кремнияПодложка из карбида кремния обладает превосходными характеристиками, но высокой ценой. Она представляет собой альтернативу кварцевой лодочке в оборудовании для обработки батарей, работающем в жестких условиях (например, в оборудовании LPCVD и оборудовании для диффузии бора). В оборудовании для обработки батарей, работающем в обычных условиях, из-за ценового соотношения карбид кремния и кварцевая лодочка становятся сосуществующими и конкурирующими категориями.
① Соотношение замещения в оборудовании для LPCVD и диффузии бора
Оборудование LPCVD используется для процесса туннельного окисления в аккумуляторных элементах и получения легированного поликремниевого слоя. Принцип работы:
В условиях низкого давления и соответствующей температуры достигается химическая реакция и осаждение пленок для получения сверхтонкого туннельного оксидного слоя и поликремниевой пленки. В процессе туннельного окисления и получения легированного поликремниевого слоя подложка для лодочек имеет высокую рабочую температуру, и на ее поверхность осаждается кремниевая пленка. Коэффициент теплового расширения кварца значительно отличается от коэффициента теплового расширения кремния. При использовании в вышеуказанном процессе необходимо регулярно травить и удалять осажденный на поверхности кремний, чтобы предотвратить разрушение кварцевой подложки для лодочек из-за теплового расширения и сжатия, вызванных различием коэффициентов теплового расширения с кремнием. Из-за частого травления и низкой высокотемпературной прочности кварцевая подложка для лодочек имеет короткий срок службы и часто заменяется в процессе туннельного окисления и получения легированного поликремниевого слоя, что значительно увеличивает себестоимость производства аккумуляторных элементов. Коэффициент теплового расширениякарбид кремнияблизок к кремнию. Интегрированныйлодка из карбида кремнияДержатель не требует травления в процессе туннельного оксидирования и получения легированного поликремниевого слоя. Он обладает высокой прочностью при высоких температурах и длительным сроком службы. Является хорошей альтернативой кварцевому держателю в форме лодки.
Оборудование для легирования бором в основном используется для процесса легирования бором кремниевой подложки N-типа аккумуляторной батареи с целью получения эмиттера P-типа и формирования PN-перехода. Принцип работы заключается в осуществлении химической реакции и молекулярного осаждения пленки в высокотемпературной атмосфере. После образования пленки она может быть диффундирована путем высокотемпературного нагрева для реализации функции легирования поверхности кремниевой подложки. Из-за высокой рабочей температуры оборудования для легирования бором кварцевый держатель лодочки имеет низкую термостойкость и короткий срок службы. Интегрированная системалодка из карбида кремнияДержатель обладает высокой термостойкостью и является хорошей альтернативой кварцевому держателю в процессе расширения бора.
② Взаимосвязь замещения в другом технологическом оборудовании
Подставки из карбида кремния (SiC) обладают высокой производственной мощностью и превосходными характеристиками. Их цена, как правило, выше, чем у кварцевых подставок. В обычных условиях эксплуатации оборудования для обработки ячеек разница в сроке службы между подставками из SiC и кварца невелика. Потребители в основном сравнивают и выбирают между ценой и производительностью, исходя из своих собственных процессов и потребностей. Подставки из SiC и кварца стали сосуществовать и конкурировать. Однако валовая прибыль от подставок из SiC в настоящее время относительно высока. Снижение себестоимости производства подставок из SiC, а также активное снижение их продажной цены, также создадут большую конкуренцию кварцевым подставкам.
Коэффициент использования
В основном, в разработке сотовых технологий используются технологии PERC и TOPCon. Доля рынка технологии PERC составляет 88%, а доля рынка технологии TOPCon — 8,3%. Совокупная доля рынка этих двух технологий составляет 96,30%.
Как показано на рисунке ниже:
В технологии PERC для процессов фронтальной диффузии фосфора и отжига требуются опоры в виде лодочек. В технологии TOPCon опоры в виде лодочек необходимы для процессов фронтальной диффузии бора, LPCVD, обратной диффузии фосфора и отжига. В настоящее время опоры в виде лодочек из карбида кремния в основном используются в процессе LPCVD технологии TOPCon, и их применение в процессе диффузии бора в основном проверено.
Рисунок. Применение опорных элементов в виде лодок в процессе обработки клеток.
Примечание: После нанесения лицевого и тыльного покрытия по технологиям PERC и TOPCon, остаются еще этапы, такие как трафаретная печать, спекание, тестирование и сортировка, которые не предполагают использования опорных элементов и не указаны на рисунке выше.
Дата публикации: 15 октября 2024 г.