Àwọn àǹfààní ìrànlọ́wọ́ ọkọ̀ ojú omi silikoni carbide ní ìfiwéra pẹ̀lú ìrànlọ́wọ́ ọkọ̀ ojú omi quartz

Awọn iṣẹ akọkọ tiọkọ̀ ojú omi silikoni carbideatilẹyin ati atilẹyin ọkọ oju omi quartz jẹ kanna.Ọkọ̀ ojú omi silikoni carbideAtilẹyin naa ni iṣẹ ṣiṣe to dara julọ ṣugbọn idiyele giga. O jẹ ibatan miiran pẹlu atilẹyin ọkọ oju omi quartz ninu awọn ẹrọ iṣelọpọ batiri pẹlu awọn ipo iṣẹ ti o nira (bii ẹrọ LPCVD ati ẹrọ itankale boron). Ninu awọn ẹrọ iṣelọpọ batiri pẹlu awọn ipo iṣẹ lasan, nitori ibatan idiyele, atilẹyin ọkọ oju omi silikoni ati quartz di awọn ẹka ti o jọra ati awọn idije.

① Ìbáṣepọ̀ ìyípadà nínú LPCVD àti ohun èlò ìtànkálẹ̀ boron

A lo ohun elo LPCVD fun oxidation cell tunneling ati ilana igbaradi polysilicon ti a fi doped ṣe. Ilana Iṣiṣẹ:

Lábẹ́ afẹ́fẹ́ onítẹ̀sí kékeré, pẹ̀lú ìwọ̀n otútù tó yẹ, ìṣiṣẹ́ kẹ́míkà àti ìṣẹ̀dá fíìmù ìdènà ni a ṣe láti pèsè ìpele oxide tunneling ultra-tinrin àti fíìmù polysilicon. Nínú ilana ìṣètò tunneling oxidation àti doped polysilicon layer, ìtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi ní ìwọ̀n otútù tó ga àti pé a ó gbé fíìmù silicon sí ojú omi. Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti quartz yàtọ̀ sí ti silicon. Nígbà tí a bá lò ó nínú ilana tí a kọ sí òkè yìí, ó ṣe pàtàkì láti máa yọ silicon tí a fi sínú ojú omi déédéé kí a sì máa yọ ọ́ kúrò kí ìtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi quartz má baà fọ́ nítorí ìfàsẹ́yìn ooru àti ìfàsẹ́yìn ooru nítorí ìyàtọ̀ nínú ìfàsẹ́yìn ooru láti silicon. Nítorí ìfàsẹ́yìn loorekoore àti agbára òtútù gíga tí ó kéré, ìtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi quartz ní ìgbésí ayé kúkúrú, a sì máa ń rọ́pò rẹ̀ nígbà gbogbo nínú ilana ìfàsẹ́yìn tunnel àti ilana ìṣètò polysilicon layer doped, èyí tí ó mú iye owó ìṣẹ̀dá ti sẹ́ẹ̀lì batiri pọ̀ sí i ní pàtàkì.silikoni kabọideó sún mọ́ ti silikoni.ọkọ̀ ojú omi silikoni carbideẸni tí ó ni ohun èlò ìdìmú náà kò nílò ìpara nínú ihò ìfàmọ́ra àti ìlànà ìṣètò polysilicon tí a fi doped ṣe. Ó ní agbára ooru gíga àti ìgbésí ayé pípẹ́. Ó jẹ́ àyípadà rere sí ohun èlò ìdìmú quartz.

Àwọn ohun èlò ìfàsẹ́yìn Boron ni a sábà máa ń lò fún ìlànà ìfàsẹ́yìn àwọn èròjà boron lórí ohun èlò wafer silicon irú N ti sẹ́ẹ̀lì batiri láti pèsè ohun èlò P-type emitter láti ṣẹ̀dá ìsopọ̀ PN kan. Ìlànà iṣẹ́ ni láti ṣe àṣeyọrí ìṣiṣẹ́ kẹ́míkà àti ìṣẹ̀dá fíìmù ìfàsẹ́yìn molikula nínú afẹ́fẹ́ igbóná gíga. Lẹ́yìn tí a bá ti ṣẹ̀dá fíìmù náà, a lè tàn án ká nípasẹ̀ ìgbóná igbóná gíga láti ṣe iṣẹ́ doping ti ojú ohun èlò wafer silicon. Nítorí igbóná igbóná gíga ti ohun èlò ìfàsẹ́yìn boron, ohun èlò ìfàsẹ́yìn quartz ní agbára igbóná gíga kékeré àti ìgbésí ayé iṣẹ́ kúkúrú nínú ohun èlò ìfàsẹ́yìn boron.ọkọ̀ ojú omi silikoni carbideOlùmú ní agbára ìgbóná gíga gíga àti pé ó jẹ́ àṣàyàn tó dára sí olùmú ọkọ̀ ojú omi quartz nínú ilana ìfàsẹ́yìn boron.

② Ìbáṣepọ̀ ìyípadà nínú àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ mìíràn

Àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi SiC ní agbára ìṣẹ̀dá tó pọ̀ àti iṣẹ́ tó dára gan-an. Owó wọn sábà máa ń ga ju ti àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi quartz lọ. Ní gbogbogbòò, àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ sẹ́ẹ̀lì, ìyàtọ̀ nínú ìgbésí ayé iṣẹ́ láàárín àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi SiC àti àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi quartz kéré. Àwọn oníbàárà ìsàlẹ̀ máa ń fi iye owó àti iṣẹ́ wé ara wọn ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ìlànà àti àìní wọn. Àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi SiC àti àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi quartz ti di ọ̀kan lára ​​àwọn tí wọ́n ń díje. Síbẹ̀síbẹ̀, èrè gbogbogbò ti àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi SiC ga ní ìsinsìnyí. Pẹ̀lú ìdínkù nínú iye owó ìṣẹ̀dá àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi SiC, tí iye owó títà àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi SiC bá dínkù ní kíákíá, yóò tún fa ìdíje tó ga sí i sí àwọn àtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi quartz.

Ìpíndọ́gba lílò

Ọ̀nà ìmọ̀ ẹ̀rọ sẹ́ẹ̀lì ni ìmọ̀ ẹ̀rọ PERC àti ìmọ̀ ẹ̀rọ TOPCon. Ipín ọjà ìmọ̀ ẹ̀rọ PERC jẹ́ 88%, àti ìpín ọjà ìmọ̀ ẹ̀rọ TOPCon jẹ́ 8.3%. Ipín àpapọ̀ ọjà àwọn méjèèjì jẹ́ 96.30%.

Gẹ́gẹ́ bí a ṣe fihàn nínú àwòrán ní ìsàlẹ̀ yìí:

Nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ PERC, àwọn ìtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi ni a nílò fún ìtànkálẹ̀ phosphorus iwájú àti ìtújáde ìfọ́mọ́. Nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ TOPCon, àwọn ìtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi ni a nílò fún ìtànkálẹ̀ boron iwájú, LPCVD, ìtànkálẹ̀ phosphorus ẹ̀yìn àti ìtújáde ìfọ́mọ́. Lọ́wọ́lọ́wọ́, àwọn ìtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi silicon carbide ni a sábà máa ń lò nínú ìlànà LPCVD ti ìmọ̀ ẹ̀rọ TOPCon, a sì ti jẹ́rìí sí lílò wọn nínú ìlànà ìtànkálẹ̀ boron jùlọ.

Àwòrán Lílo àwọn ìtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi nínú ilana ìṣiṣẹ́ sẹ́ẹ̀lì

Àkíyèsí: Lẹ́yìn ìbòjú iwájú àti ẹ̀yìn ti àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ PERC àti TOPCon, àwọn ìjápọ̀ bíi títẹ̀wé ìbòjú, síntering àti ìdánwò àti yíyàwòrán ṣì wà, èyí tí kò ní í ṣe pẹ̀lú lílo àwọn ìtìlẹ́yìn ọkọ̀ ojú omi àti pé a kò kọ wọ́n sí inú àwòrán tí ó wà lókè yìí.