Kazi kuu zamashua ya kabidi ya silikoniusaidizi na usaidizi wa mashua ya quartz ni sawa.Boti ya kabidi ya silikoniUsaidizi una utendaji bora lakini bei yake ni ya juu. Unaunda uhusiano mbadala na usaidizi wa mashua ya quartz katika vifaa vya usindikaji wa betri vyenye hali ngumu za kufanya kazi (kama vile vifaa vya LPCVD na vifaa vya usambazaji wa boroni). Katika vifaa vya usindikaji wa betri vyenye hali ya kawaida ya kufanya kazi, kutokana na uhusiano wa bei, usaidizi wa mashua ya silicon carbide na quartz huwa kategoria zinazolingana na zinazoshindana.
① Uhusiano wa uingizwaji katika vifaa vya LPCVD na uenezaji wa boroni
Vifaa vya LPCVD hutumika kwa ajili ya mchakato wa uoksidishaji wa seli za betri na utayarishaji wa safu ya polisilicon iliyochanganywa. Kanuni ya utendaji kazi:
Chini ya angahewa yenye shinikizo la chini, pamoja na halijoto inayofaa, mmenyuko wa kemikali na uundaji wa filamu ya utuaji hupatikana ili kuandaa safu nyembamba sana ya oksidi ya handaki na filamu ya polisilicon. Katika mchakato wa uoksidishaji wa handaki na utayarishaji wa safu ya polisilicon iliyochanganywa, usaidizi wa boti una halijoto ya juu ya kufanya kazi na filamu ya silicon itawekwa juu ya uso. Mgawo wa upanuzi wa joto wa quartz ni tofauti kabisa na ule wa silicon. Inapotumika katika mchakato hapo juu, ni muhimu kung'oa na kuondoa silicon iliyowekwa juu ya uso mara kwa mara ili kuzuia usaidizi wa boti ya quartz kuvunjika kutokana na upanuzi wa joto na mkazo kutokana na mgawo tofauti wa upanuzi wa joto kutoka kwa silicon. Kutokana na kuokota mara kwa mara na nguvu ya chini ya joto la juu, kishikilia boti ya quartz kina maisha mafupi na mara nyingi hubadilishwa katika mchakato wa utayarishaji wa safu ya oksidi ya handaki na polisilicon iliyochanganywa, ambayo huongeza kwa kiasi kikubwa gharama ya uzalishaji wa seli ya betri. Mgawo wa upanuzi wakabidi ya silikoniiko karibu na ile ya silicon. Kilichounganishwamashua ya kabidi ya silikoniKishikilia hakihitaji kuchujwa katika mchakato wa uoksidishaji wa handaki na utayarishaji wa safu ya polisilicon iliyochanganywa. Kina nguvu ya halijoto ya juu na maisha marefu ya huduma. Ni mbadala mzuri wa kishikilia mashua ya quartz.
Vifaa vya upanuzi wa boroni hutumika zaidi kwa mchakato wa kutumia doping elementi za boroni kwenye sehemu ya kaki ya silikoni aina ya N ya seli ya betri ili kuandaa kitoaji cha aina ya P kuunda makutano ya PN. Kanuni ya kufanya kazi ni kutambua mmenyuko wa kemikali na uundaji wa filamu ya uwekaji wa molekuli katika angahewa yenye halijoto ya juu. Baada ya filamu kuundwa, inaweza kusambazwa kwa kupasha joto kwa halijoto ya juu ili kutambua kazi ya doping ya uso wa kaki ya silikoni. Kutokana na halijoto ya juu ya kufanya kazi ya vifaa vya upanuzi wa boroni, kishikilia mashua cha quartz kina nguvu ya chini ya halijoto ya juu na maisha mafupi ya huduma katika vifaa vya upanuzi wa boroni. Kimeunganishwamashua ya kabidi ya silikoniKishikilia kina nguvu ya juu ya joto la juu na ni mbadala mzuri wa kishikilia boti cha quartz katika mchakato wa upanuzi wa boroni.
② Uhusiano wa kubadilisha vifaa vingine vya mchakato
Viungio vya boti vya SiC vina uwezo mdogo wa uzalishaji na utendaji bora. Bei zao kwa ujumla ni kubwa kuliko zile za viungio vya boti vya quartz. Katika hali ya jumla ya kazi ya vifaa vya usindikaji wa seli, tofauti ya maisha ya huduma kati ya viungio vya boti vya SiC na viungio vya boti vya quartz ni ndogo. Wateja wa chini hulinganisha na kuchagua kati ya bei na utendaji kulingana na michakato na mahitaji yao wenyewe. Viungio vya boti vya SiC na viungio vya boti vya quartz vimekuwa vya pamoja na vya ushindani. Hata hivyo, faida kubwa ya viungio vya boti vya SiC ni kubwa kwa sasa. Kwa kupungua kwa gharama ya uzalishaji wa viungio vya boti vya SiC, ikiwa bei ya kuuza viungio vya boti vya SiC itapungua kikamilifu, pia italeta ushindani mkubwa kwa viungio vya boti vya quartz.
Uwiano wa matumizi
Njia ya teknolojia ya seli hasa ni teknolojia ya PERC na teknolojia ya TOPCon. Sehemu ya soko ya teknolojia ya PERC ni 88%, na sehemu ya soko ya teknolojia ya TOPCon ni 8.3%. Sehemu ya soko ya pamoja ya hizo mbili ni 96.30%.
Kama inavyoonyeshwa kwenye mchoro hapa chini:
Katika teknolojia ya PERC, vifaa vya kutegemeza mashua vinahitajika kwa ajili ya michakato ya uenezaji wa fosforasi ya mbele na uunganishaji. Katika teknolojia ya TOPCon, vifaa vya kutegemeza mashua vinahitajika kwa ajili ya michakato ya uenezaji wa boroni ya mbele, LPCVD, uenezaji wa fosforasi ya nyuma na uunganishaji. Kwa sasa, vifaa vya kutegemeza mashua ya kabidi ya silikoni vinatumika zaidi katika mchakato wa LPCVD wa teknolojia ya TOPCon, na matumizi yake katika mchakato wa uenezaji wa boroni yamethibitishwa kwa kiasi kikubwa.
Mchoro Matumizi ya vifaa vya kusaidia mashua katika mchakato wa usindikaji wa seli
Kumbuka: Baada ya kupakwa rangi mbele na nyuma kwa teknolojia za PERC na TOPCon, bado kuna viungo kama vile uchapishaji wa skrini, uchakataji na upimaji na upangaji, ambavyo havihusishi matumizi ya vifaa vya kutegemeza mashua na havijaorodheshwa katika mchoro hapo juu.
Muda wa chapisho: Oktoba-15-2024