Silīcija karbīda laivas atbalsta priekšrocības salīdzinājumā ar kvarca laivas atbalstu

Galvenās funkcijassilīcija karbīda laivaatbalsts un kvarca laivas atbalsts ir vienādi.Silīcija karbīda laivaBalsta materiālam ir lieliska veiktspēja, bet augsta cena. Tas veido alternatīvu kvarca laivu balstam akumulatoru apstrādes iekārtās ar skarbiem darba apstākļiem (piemēram, LPCVD iekārtās un bora difūzijas iekārtās). Akumulatoru apstrādes iekārtās ar parastiem darba apstākļiem cenu attiecību dēļ silīcija karbīda un kvarca laivu balsti kļūst par līdzāspastāvošām un konkurējošām kategorijām.

① Aizvietošanas attiecības LPCVD un bora difūzijas iekārtās

LPCVD iekārtu izmanto akumulatoru elementu tunelēšanas oksidēšanai un leģēta polikristāliskā silīcija slāņa sagatavošanas procesam. Darbības princips:

Zema spiediena atmosfērā, apvienojumā ar atbilstošu temperatūru, tiek panākta ķīmiska reakcija un nogulsnēšanās plēves veidošanās, lai sagatavotu īpaši plānu tunelēšanas oksīda slāni un polisilīcija plēvi. Tunelēšanas oksidācijas un leģētā polisilīcija slāņa sagatavošanas procesā laivas balstam ir augsta darba temperatūra, un uz virsmas nogulsnējas silīcija plēve. Kvarca termiskās izplešanās koeficients ievērojami atšķiras no silīcija. Izmantojot iepriekš minēto procesu, ir nepieciešams regulāri kodināt un noņemt uz virsmas nogulsnēto silīciju, lai novērstu kvarca laivas balsta plīšanu termiskās izplešanās un saraušanās dēļ, jo silīcijam ir atšķirīgs termiskās izplešanās koeficients. Biežas kodināšanas un zemas augstās temperatūras izturības dēļ kvarca laivas turētājam ir īss kalpošanas laiks, un tas tuneļa oksidācijas un leģētā polisilīcija slāņa sagatavošanas procesā tiek bieži nomainīts, kas ievērojami palielina akumulatora elementa ražošanas izmaksas. Izplešanās koeficientssilīcija karbīdsir tuvu silīcija līmenim. Integrētaissilīcija karbīda laivaTurētājam nav nepieciešama kodināšana tuneļa oksidēšanas un dopētā polisilīcija slāņa sagatavošanas procesā. Tam ir augsta izturība augstā temperatūrā un ilgs kalpošanas laiks. Tā ir laba alternatīva kvarca laivveida turētājam.

Bora izplešanās iekārtas galvenokārt izmanto bora elementu dopēšanas procesam uz akumulatora elementa N tipa silīcija plāksnes substrāta, lai sagatavotu P tipa emitētāju PN pārejas veidošanai. Darbības princips ir ķīmiskās reakcijas un molekulārās nogulsnēšanās plēves veidošanās realizēšana augstas temperatūras atmosfērā. Pēc plēves izveidošanas to var difūzēt, karsējot augstā temperatūrā, lai realizētu silīcija plāksnes virsmas dopēšanas funkciju. Bora izplešanās iekārtas augstās darba temperatūras dēļ kvarca laiviņas turētājam ir zema augstās temperatūras izturība un īss kalpošanas laiks bora izplešanās iekārtā. Integrētaissilīcija karbīda laivaTurētājam ir augsta izturība augstā temperatūrā, un tas ir labs alternatīva kvarca laivu turētājam bora izplešanās procesā.

② Aizvietošanas attiecības citās procesa iekārtās

SiC laivu balstiem ir ierobežota ražošanas jauda un lieliska veiktspēja. To cenas parasti ir augstākas nekā kvarca laivu balstiem. Šūnu apstrādes iekārtu vispārējos darba apstākļos SiC laivu balstu un kvarca laivu balstu kalpošanas laika atšķirība ir neliela. Pakārtotie klienti galvenokārt salīdzina un izvēlas starp cenu un veiktspēju, pamatojoties uz saviem procesiem un vajadzībām. SiC laivu balsti un kvarca laivu balsti ir kļuvuši līdzāspastāvoši un konkurētspējīgi. Tomēr SiC laivu balstu bruto peļņas norma pašlaik ir relatīvi augsta. Samazinoties SiC laivu balstu ražošanas izmaksām, ja SiC laivu balstu pārdošanas cena aktīvi samazināsies, tas radīs arī lielāku konkurētspēju kvarca laivu balstiem.

Lietošanas koeficients

Šūnu tehnoloģiju virziens galvenokārt ir PERC tehnoloģija un TOPCon tehnoloģija. PERC tehnoloģijas tirgus daļa ir 88%, un TOPCon tehnoloģijas tirgus daļa ir 8,3%. Abu tehnoloģiju kopējā tirgus daļa ir 96,30%.

Kā parādīts attēlā zemāk:

PERC tehnoloģijā laivu balsti ir nepieciešami priekšējās fosfora difūzijas un atkvēlināšanas procesiem. TOPCon tehnoloģijā laivu balsti ir nepieciešami priekšējās bora difūzijas, LPCVD, aizmugurējās fosfora difūzijas un atkvēlināšanas procesiem. Pašlaik silīcija karbīda laivu balsti galvenokārt tiek izmantoti TOPCon tehnoloģijas LPCVD procesā, un to pielietojums bora difūzijas procesā galvenokārt ir pārbaudīts.

Attēls. Laivu balstu pielietojums šūnu apstrādes procesā.

Piezīme: Pēc PERC un TOPCon tehnoloģiju priekšējās un aizmugurējās pārklāšanas joprojām pastāv tādas saites kā sietspiede, sintēšana, testēšana un šķirošana, kas neietver laivu balstu izmantošanu un nav uzskaitītas iepriekš redzamajā attēlā.