Fordeler med båtstøtte i silisiumkarbid sammenlignet med båtstøtte i kvarts

Hovedfunksjonene tilsilisiumkarbidbåtstøtte og kvartsbåtstøtte er de samme.SilisiumkarbidbåtStøtten har utmerket ytelse, men høy pris. Den utgjør et alternativt forhold til kvartsbåtstøtte i batteriprosessutstyr med tøffe arbeidsforhold (som LPCVD-utstyr og bordiffusjonsutstyr). I batteriprosessutstyr med vanlige arbeidsforhold blir silisiumkarbid og kvartsbåtstøtter sameksisterende og konkurrerende kategorier på grunn av prisforhold.

① Substitusjonsforhold i LPCVD og bor-diffusjonsutstyr

LPCVD-utstyr brukes til oksidasjon av battericelletunneler og til fremstilling av dopet polysilisiumlag. Arbeidsprinsipp:

Under lavtrykksatmosfære, kombinert med passende temperatur, oppnås kjemisk reaksjon og dannelse av avsetningsfilm for å fremstille et ultratynt tunneloksidlag og en polysilisiumfilm. I tunneloksidasjons- og dopede polysilisiumlag-fremstillingsprosessen har båtstøtten en høy arbeidstemperatur, og en silisiumfilm vil avsettes på overflaten. Den termiske utvidelseskoeffisienten til kvarts er ganske forskjellig fra silisium. Når den brukes i prosessen ovenfor, er det nødvendig å regelmessig beise og fjerne silisiumet som er avsatt på overflaten for å forhindre at kvartsbåtstøtten brytes på grunn av termisk utvidelse og sammentrekning på grunn av den forskjellige termiske utvidelseskoeffisienten fra silisium. På grunn av hyppig beising og lav høytemperaturstyrke har kvartsbåtholderen kort levetid og byttes ofte ut i tunneloksidasjons- og dopede polysilisiumlag-fremstillingsprosessen, noe som øker produksjonskostnadene for battericellen betydelig. Ekspansjonskoeffisienten tilsilisiumkarbider nær silisiumets. Den integrertesilisiumkarbidbåtHolderen krever ikke beising i tunneloksidasjonen og forberedelsen av dopet polysilisiumlag. Den har høy høytemperaturstyrke og lang levetid. Det er et godt alternativ til kvartsbåtholderen.

Borekspansjonsutstyr brukes hovedsakelig til prosessen med å dope borelementer på N-type silisiumskivesubstratet i battericellen for å forberede P-type-emitteren til å danne en PN-overgang. Arbeidsprinsippet er å realisere kjemisk reaksjon og dannelse av molekylær avsetningsfilm i en atmosfære med høy temperatur. Etter at filmen er dannet, kan den diffunderes ved høytemperaturoppvarming for å realisere dopingfunksjonen til silisiumskiveoverflaten. På grunn av den høye arbeidstemperaturen til borekspansjonsutstyret har kvartsbåtholderen lav høytemperaturstyrke og kort levetid i borekspansjonsutstyret. Den integrertesilisiumkarbidbåtHolderen har høy høytemperaturstyrke og er et godt alternativ til kvartsbåtholderen i borekspansjonsprosessen.

② Substitusjonsforhold i annet prosessutstyr

SiC-båtstøtter har en liten produksjonskapasitet og utmerket ytelse. Prisene deres er generelt høyere enn for kvartsbåtstøtter. Under generelle arbeidsforhold for cellebehandlingsutstyr er forskjellen i levetid mellom SiC-båtstøtter og kvartsbåtstøtter liten. Nedstrømskunder sammenligner og velger hovedsakelig mellom pris og ytelse basert på sine egne prosesser og behov. SiC-båtstøtter og kvartsbåtstøtter har blitt sameksisterende og konkurransedyktige. Bruttofortjenestemarginen for SiC-båtstøtter er imidlertid relativt høy for tiden. Med nedgangen i produksjonskostnadene for SiC-båtstøtter, vil hvis salgsprisen på SiC-båtstøtter aktivt synker, også gi større konkurranseevne for kvartsbåtstøtter.

Bruksforhold

Celleteknologiruten er hovedsakelig PERC-teknologi og TOPCon-teknologi. Markedsandelen for PERC-teknologi er 88 %, og markedsandelen for TOPCon-teknologi er 8,3 %. Den samlede markedsandelen for de to er 96,30 %.

Som vist i figuren nedenfor:

I PERC-teknologi kreves båtstøtter for frontfosfordiffusjon og glødeprosesser. I TOPCon-teknologi kreves båtstøtter for frontbordiffusjon, LPCVD, bakfosfordiffusjon og glødeprosesser. For tiden brukes silisiumkarbidbåtstøtter hovedsakelig i LPCVD-prosessen i TOPCon-teknologien, og anvendelsen av dem i bordiffusjonsprosessen er i hovedsak verifisert.

Figur Bruk av båtstøtter i cellebehandlingsprosessen

Merk: Etter for- og bakbelegget med PERC- og TOPCon-teknologier er det fortsatt koblinger som silketrykk, sintring og testing og sortering, som ikke involverer bruk av båtstøtter og ikke er oppført i figuren ovenfor.