Helstu hlutverkkísillkarbíðbáturstuðningur og stuðningur úr kvarsbáti eru þeir sömu.KísilkarbíðbáturStuðningurinn hefur framúrskarandi afköst en hátt verð. Hann er valkostur við kvarsbáta í rafhlöðuvinnslubúnaði við erfiðar vinnuskilyrði (eins og LPCVD búnað og bórdreifingarbúnað). Í rafhlöðuvinnslubúnaði við venjulegar vinnuskilyrði verða kísillkarbíð og kvarsbátastyrkir samhliða og keppa við aðra flokka vegna verðsamhengis.
① Skiptisamband í LPCVD og bórdreifingarbúnaði
LPCVD búnaður er notaður til að grafa oxun í rafhlöðufrumum og undirbúa pólýsílikonlag. Virkni:
Undir lágþrýstingi, ásamt viðeigandi hitastigi, næst efnahvörf og myndun útfellingarfilmu til að búa til öfgaþunnt oxíðlag í göngum og pólýsílikonfilmu. Í oxunarferli göngum og undirbúningsferli fyrir efnað pólýsílikonlag hefur bátagrindin hátt vinnsluhitastig og kísilfilma mun setjast á yfirborðið. Varmaþenslustuðull kvarss er nokkuð frábrugðinn kísli. Þegar kvars er notað í ofangreindu ferli er nauðsynlegt að súrsa og fjarlægja kísil sem hefur sest á yfirborðið reglulega til að koma í veg fyrir að kvartagrindin brotni vegna varmaþenslu og samdráttar vegna mismunandi varmaþenslustuðuls frá kísli. Vegna tíðrar súrsunar og lágs styrks við háan hita hefur kvartagrindin stuttan líftíma og er oft skipt út í oxunarferli göngum og undirbúningsferli fyrir efnað pólýsílikonlag, sem eykur framleiðslukostnað rafhlöðunnar verulega. Þenslustuðullinnkísillkarbíðer svipað og kísill. SamþættakísillkarbíðbáturHaldurinn þarf ekki súrsun í oxunarferlinu og undirbúningi fyrir pólýsílikonlag. Hann hefur mikinn háhitastyrk og langan líftíma. Það er góður valkostur við kvarsbátahaldara.
Bórþenslubúnaður er aðallega notaður til að dopa bórþætti á N-gerð kísilþynnu undirlag rafhlöðufrumna til að undirbúa P-gerð sendinn til að mynda PN gatnamót. Virknisreglan er að framkvæma efnahvörf og myndun sameindaútfellingarfilmu í háhita andrúmslofti. Eftir að filman er mynduð er hægt að dreifa henni með háhitahitun til að ná fram dopingvirkni á yfirborði kísilþynnunnar. Vegna mikils vinnuhita bórþenslubúnaðarins hefur kvarsbátahaldarinn lágan háhitastyrk og stuttan endingartíma í bórþenslubúnaðinum. Innbyggði...kísillkarbíðbáturHaldarinn hefur mikinn háhitastyrk og er góður valkostur við kvarsbátahaldarann í bórþensluferlinu.
② Skiptisamband í öðrum vinnslubúnaði
SiC bátastoðir hafa mikla framleiðslugetu og framúrskarandi afköst. Verð þeirra er almennt hærra en kvars bátastoðir. Við almennar vinnuskilyrði frumuvinnslubúnaðar er munurinn á endingartíma SiC bátastoða og kvars bátastoða lítill. Viðskiptavinir í neyðarlínu bera aðallega saman og velja á milli verðs og afkasta út frá eigin ferlum og þörfum. SiC bátastoðir og kvars bátastoðir hafa orðið samkeppnishæfir. Hins vegar er hagnaðarframlegð SiC bátastoða tiltölulega há um þessar mundir. Með lækkun framleiðslukostnaðar SiC bátastoða, ef söluverð SiC bátastoða lækkar verulega, mun það einnig skapa meiri samkeppnishæfni fyrir kvars bátastoða.
Notkunarhlutfall
Leiðin í frumutækni er aðallega PERC-tækni og TOPCon-tækni. Markaðshlutdeild PERC-tækni er 88% og markaðshlutdeild TOPCon-tækni er 8,3%. Samanlagður markaðshlutdeild þessara tveggja er 96,30%.
Eins og sést á myndinni hér að neðan:
Í PERC tækni eru bátastoðir nauðsynlegir fyrir framdreifingu fosfórs og glæðingu. Í TOPCon tækni eru bátastoðir nauðsynlegir fyrir framdreifingu bórs, LPCVD, afturdreifingu fosfórs og glæðingu. Eins og er eru bátastoðir úr kísilkarbíði aðallega notaðir í LPCVD ferli TOPCon tækninnar og notkun þeirra í bórdreifingarferlinu hefur að mestu verið staðfest.
Mynd Notkun bátastoða í frumuvinnsluferlinu
Athugið: Eftir að fram- og bakhúðun PERC og TOPCon tækni hefur verið framkvæmd eru enn tengingar eins og skjáprentun, sintun og prófun og flokkun, sem fela ekki í sér notkun bátastoða og eru ekki taldar upp á myndinni hér að ofan.
Birtingartími: 15. október 2024