Mesebetsi e meholo easekepe sa silicon carbidetšehetso le tšehetso ea sekepe sa quartz lia tšoana.Sekepe sa silicon carbideTšehetso e na le ts'ebetso e ntle haholo empa theko e holimo. E theha kamano e 'ngoe le tšehetso ea sekepe sa quartz lisebelisoa tsa ho sebetsana le betri tse nang le maemo a thata a ts'ebetso (joalo ka lisebelisoa tsa LPCVD le lisebelisoa tsa ho hasanya boron). Lisebelisoa tsa ho sebetsana le betri tse nang le maemo a tloaelehileng a ts'ebetso, ka lebaka la likamano tsa litheko, tšehetso ea sekepe sa silicon carbide le quartz e fetoha mekhahlelo e ts'oanang le e qothisanang lehlokoa.
① Kamano ea ho nkela sebaka lisebelisoa tsa LPCVD le boron distribution
Lisebelisoa tsa LPCVD li sebelisetsoa ho oxidation ea tunneling ea sele ea betri le mokhoa oa ho lokisa lera la polysilicon le nang le doped.
Tlas'a sepakapaka se nang le khatello e tlase, hammoho le mocheso o loketseng, karabelo ea lik'hemik'hale le ho thehoa ha filimi ea deposition lia finyelloa ho lokisa lera la oxide ea tunneling le filimi ea polysilicon e tšesaane haholo. Mokhoeng oa ho lokisa lera la polysilicon ka tunneling oxidation le doped polysilicon, tšehetso ea sekepe e na le mocheso o phahameng oa ho sebetsa 'me filimi ea silicon e tla beoa holim'a metsi. Coefficient ea katoloso ea mocheso ea quartz e fapane haholo le ea silicon. Ha e sebelisoa ts'ebetsong e kaholimo, ho hlokahala hore kamehla u khelle le ho tlosa silicon e behiloeng holim'a metsi ho thibela tšehetso ea sekepe sa quartz ho robeha ka lebaka la katoloso ea mocheso le ho honyela ka lebaka la coefficient e fapaneng ea katoloso ea mocheso ho tloha ho silicon. Ka lebaka la ho khella khafetsa le matla a tlase a mocheso o phahameng, sets'oara sa sekepe sa quartz se na le bophelo bo bokhutšoanyane 'me hangata se nkeloa sebaka ts'ebetsong ea ho lokisa lera la polysilicon ka tunnel oxidation le doped, e leng se eketsang haholo litšenyehelo tsa tlhahiso ea sele ea betri. Coefficient ea katoloso eakhabide ea silicone batla e tšoana le ea silicon. E kopantsoengsekepe sa silicon carbideSetshwari ha se hloke ho kenngwa ka hara oxidation ya kotopo le tshebetso ya ho lokisa lera la polysilicon e nang le doped. Se na le matla a phahameng a mocheso o phahameng le bophelo bo bolelele ba tshebeletso. Ke sebaka se setle sa ho tshwara sekepe sa quartz.
Lisebelisoa tsa katoloso ea boron li sebelisoa haholo bakeng sa ts'ebetso ea ho sebelisa metsoako ea boron ho substrate ea wafer ea silicon ea mofuta oa N ea sele ea betri ho lokisa emitter ea mofuta oa P ho theha kopano ea PN. Molao-motheo o sebetsang ke ho etsa karabelo ea lik'hemik'hale le ho thehoa ha filimi ea ho boloka limolek'hule sepakapakeng se nang le mocheso o phahameng. Kamora hore filimi e thehoe, e ka hasoa ka ho futhumatsa mocheso o phahameng ho phethahatsa ts'ebetso ea doping ea bokaholimo ba wafer ea silicon. Ka lebaka la mocheso o phahameng oa ts'ebetso oa lisebelisoa tsa katoloso ea boron, sets'oara sa sekepe sa quartz se na le matla a tlase a mocheso o phahameng le bophelo bo bokhutšoanyane ba ts'ebeletso lisebelisoa tsa katoloso ea boron. E kopantsoengsekepe sa silicon carbideSetshwari se na le matla a phahameng a mocheso o phahameng mme ke sebaka se setle sa setshwari sa sekepe sa quartz ts'ebetsong ya katoloso ya boron.
② Kamano ea ho nkela sebaka lisebelisoa tse ling tsa ts'ebetso
Litšehetso tsa likepe tsa SiC li na le bokhoni bo fokolang ba tlhahiso le ts'ebetso e ntle haholo. Litheko tsa tsona ka kakaretso li phahame ho feta tsa litšehetso tsa likepe tsa quartz. Maemong a kakaretso a ts'ebetso ea lisebelisoa tsa ts'ebetso ea sele, phapang bophelong ba ts'ebeletso lipakeng tsa litšehetso tsa likepe tsa SiC le litšehetso tsa likepe tsa quartz e nyane. Bareki ba tlase ba bapisa le ho khetha pakeng tsa theko le ts'ebetso ho latela lits'ebetso le litlhoko tsa bona. Litšehetso tsa likepe tsa SiC le litšehetso tsa likepe tsa quartz li se li le teng 'me li qothisana lehlokoa. Leha ho le joalo, phaello e kholo ea litšehetso tsa likepe tsa SiC e phahame haholo hajoale. Ka ho theoha ha litšenyehelo tsa tlhahiso ea litšehetso tsa likepe tsa SiC, haeba theko ea thekiso ea litšehetso tsa sekepe sa SiC e fokotseha ka mafolofolo, e tla boela e hlahise tlholisano e kholo ho litšehetso tsa likepe tsa quartz.
Karolelano ea tšebeliso
Tsela ea theknoloji ea sele ke haholo-holo theknoloji ea PERC le theknoloji ea TOPCon. Karolo ea 'maraka ea theknoloji ea PERC ke 88%, 'me karolo ea' maraka ea theknoloji ea TOPCon ke 8.3%. Karolo e kopaneng ea 'maraka ea tse peli ke 96.30%.
Jwalo ka ha ho bontshitswe setshwantshong se ka tlase:
Theknolojing ea PERC, litšehetso tsa likepe lia hlokahala bakeng sa lits'ebetso tsa ho hasana ha phosphorus ka pele le ho hokela. Theknolojing ea TOPCon, litšehetso tsa likepe lia hlokahala bakeng sa ts'ebetso ea ho hasana ha boron ka pele, LPCVD, ho hasana ha phosphorus ka morao le ho hokela. Hona joale, litšehetso tsa likepe tsa silicon carbide li sebelisoa haholo ts'ebetsong ea LPCVD ea theknoloji ea TOPCon, 'me ts'ebeliso ea tsona ts'ebetsong ea ho hasana ha boron e netefalitsoe haholo.
Setšoantšo Tšebeliso ea litšehetso tsa sekepe ts'ebetsong ea ts'ebetso ea sele
Hlokomela: Kamora ho penta ka pele le ka morao ha theknoloji ea PERC le TOPCon, ho ntse ho e-na le lihokelo tse kang ho hatisa skrineng, ho sinter le ho leka le ho hlopha, tse sa kenyelletseng tšebeliso ea litšehetso tsa likepe 'me ha lia thathamisoa setšoantšong se ka holimo.
Nako ea poso: Mphalane-15-2024