Асноўныя функцыілодка з карбіду крэмніюпадтрымка і падтрымка кварцавай лодкі аднолькавыя.Лодка з карбіду крэмніюАпора мае выдатныя характарыстыкі, але высокую цану. Яна ўяўляе сабой альтэрнатыву апоры для кварцавых лодкаў у абсталяванні для апрацоўкі акумулятараў з жорсткімі ўмовамі працы (напрыклад, абсталяванне для LPCVD і абсталяванне для дыфузіі бору). У абсталяванні для апрацоўкі акумулятараў са звычайнымі ўмовамі працы, з-за цэнавых суадносін, карбід крэмнію і апора для кварцавых лодкаў становяцца суіснуючымі і канкуруючымі катэгорыямі.
① Суадносіны замяшчэння ў абсталяванні LPCVD і дыфузіі бору
Абсталяванне LPCVD выкарыстоўваецца для тунэльнага акіслення акумулятарных элементаў і падрыхтоўкі пласта легаванага полікрэмнію. Прынцып працы:
У атмасферы нізкага ціску ў спалучэнні з адпаведнай тэмпературай дасягаецца хімічная рэакцыя і ўтварэнне плёнкі адкладання, што дазваляе атрымаць ультратонкі тунэльны аксідны пласт і плёнку полікрэмнію. У працэсе тунэльнага акіслення і падрыхтоўкі пласта легаванага полікрэмнію апора для лодкі мае высокую рабочую тэмпературу, і на паверхні адкладаецца крэмніевая плёнка. Каэфіцыент цеплавога пашырэння кварца значна адрозніваецца ад каэфіцыента цеплавога пашырэння крэмнію. Пры выкарыстанні ў вышэйзгаданым працэсе неабходна рэгулярна пратраўліваць і выдаляць крэмній, адкладзены на паверхню, каб прадухіліць разбурэнне апоры кварцавай лодкі з-за цеплавога пашырэння і сціскання, якія адрозніваюцца ад каэфіцыента цеплавога пашырэння ў параўнанні з крэмніем. З-за частага пратраўлення і нізкай трываласці пры высокіх тэмпературах, трымальнік кварцавай лодкі мае кароткі тэрмін службы і часта замяняецца ў працэсе тунэльнага акіслення і падрыхтоўкі пласта легаванага полікрэмнію, што значна павялічвае вытворчы кошт акумулятарных элементаў. Каэфіцыент пашырэннякарбід крэмніюблізкі да крэмнію. Інтэграванылодка з карбіду крэмніюТрымальнік не патрабуе травлення ў тунэльным акісленні і працэсе падрыхтоўкі легаванага полікрэмніевага пласта. Ён мае высокую трываласць пры высокіх тэмпературах і працяглы тэрмін службы. Гэта добрая альтэрнатыва кварцаваму трымальніку ў форме лодкі.
Абсталяванне для пашырэння бору ў асноўным выкарыстоўваецца для працэсу легіравання борнымі элементамі падкладкі з крэмніевых пласцін N-тыпу акумулятарных элементаў для падрыхтоўкі эмітара P-тыпу да фарміравання PN-пераходу. Прынцып працы заключаецца ў рэалізацыі хімічнай рэакцыі і фарміраванні малекулярнай плёнкі ў атмасферы высокай тэмпературы. Пасля фарміравання плёнкі яна можа быць дыфузіравана пры высокай тэмпературы для рэалізацыі функцыі легіравання паверхні крэмніевых пласцін. З-за высокай працоўнай тэмпературы абсталявання для пашырэння бору, трымальнік кварцавай лодкі мае нізкую трываласць пры высокіх тэмпературах і кароткі тэрмін службы ў абсталяванні для пашырэння бору. Інтэграванылодка з карбіду крэмніюТрымальнік мае высокую трываласць пры высокіх тэмпературах і з'яўляецца добрай альтэрнатывай кварцаваму трымальніку ў форме лодкі ў працэсе пашырэння бору.
② Суадносіны замяшчэння ў іншым тэхналагічным абсталяванні
Апоры для лодак з карбіду крэмнію маюць невялікія вытворчыя магутнасці і выдатную прадукцыйнасць. Іх кошт, як правіла, вышэйшы, чым у кварцавых апор. У агульных умовах працы абсталявання для апрацоўкі клетак розніца ў тэрміне службы паміж апорамі для лодак з карбіду крэмнію і кварцавымі апорамі невялікая. Спажыўцы ў асноўным параўноўваюць і выбіраюць паміж цаной і прадукцыйнасцю, зыходзячы з уласных працэсаў і патрэб. Апоры для лодак з карбіду крэмнію і кварцавыя апоры для лодак сталі суіснаваць і канкурыраваць. Аднак валавая рэнтабельнасць апор для лодак з карбіду крэмнію ў цяперашні час адносна высокая. Са зніжэннем сабекошту вытворчасці апор для лодак з карбіду крэмнію, калі продажная цана апор для лодак з карбіду крэмнію будзе актыўна зніжацца, гэта таксама павысіць канкурэнтаздольнасць кварцавых апор.
Каэфіцыент выкарыстання
Тэхналогія сотавай сувязі ў асноўным выкарыстоўвае тэхналогіі PERC і TOPCon. Доля рынку тэхналогіі PERC складае 88%, а доля рынку тэхналогіі TOPCon — 8,3%. Сумарная доля рынку гэтых двух тэхналогій складае 96,30%.
Як паказана на малюнку ніжэй:
У тэхналогіі PERC апоры для лодак патрабуюцца для працэсаў пярэдняй дыфузіі фосфару і адпалу. У тэхналогіі TOPCon апоры для лодак патрабуюцца для працэсаў пярэдняй дыфузіі бору, LPCVD, зваротнай дыфузіі фосфару і адпалу. У цяперашні час апоры для лодак з карбіду крэмнію ў асноўным выкарыстоўваюцца ў працэсе LPCVD тэхналогіі TOPCon, і іх прымяненне ў працэсе дыфузіі бору ў асноўным праверана.
Малюнак Ужыванне апор для лодак у працэсе апрацоўкі клетак
Заўвага: Пасля пярэдняга і задняга пакрыцця па тэхналогіях PERC і TOPCon усё яшчэ застаюцца такія звяны, як трафарэтны друк, спяканне, выпрабаванні і сартаванне, якія не прадугледжваюць выкарыстання апор для лодак і не пералічаны на малюнку вышэй.
Час публікацыі: 15 кастрычніка 2024 г.