De viktigaste funktionerna hoskiselkarbidbåtstöd och kvartsbåtstöd är desamma.KiselkarbidbåtStödet har utmärkt prestanda men ett högt pris. Det utgör ett alternativt förhållande till kvartsbåtsstödet i batteribearbetningsutrustning med tuffa arbetsförhållanden (såsom LPCVD-utrustning och utrustning för bor-diffusion). I batteribearbetningsutrustning med vanliga arbetsförhållanden blir kiselkarbid och kvartsbåtsstöd, på grund av prisförhållanden, samexisterande och konkurrerande kategorier.
① Substitutionsförhållande i LPCVD och bor-diffusionsutrustning
LPCVD-utrustning används för oxidation av battericellers tunneling och för framställning av dopade polykiselskikt. Arbetsprincip:
Under lågtrycksatmosfär, i kombination med lämplig temperatur, uppnås kemisk reaktion och bildning av avsättningsfilm för att framställa ett ultratunt tunneloxidlager och en polykiselfilm. Vid tunneloxidation och framställning av dopat polykisellager har båtstödet en hög arbetstemperatur och en kiselfilm kommer att avsättas på ytan. Kvarts värmeutvidgningskoefficient skiljer sig avsevärt från kisels. Vid användning i ovanstående process är det nödvändigt att regelbundet beta och avlägsna kisel som avsatts på ytan för att förhindra att kvartsbåtstödet går sönder på grund av värmeutvidgning och kontraktion på grund av den olika värmeutvidgningskoefficienten jämfört med kisel. På grund av frekvent betning och låg högtemperaturhållfasthet har kvartsbåthållaren en kort livslängd och byts ofta ut vid tunneloxidation och framställning av dopat polykisellager, vilket avsevärt ökar produktionskostnaden för battericellen. Expansionskoefficienten förkiselkarbidär nära kiselns. Den integreradekiselkarbidbåtHållaren kräver inte betning i tunneloxidationen och beredningsprocessen för dopade polykiselskikt. Den har hög högtemperaturhållfasthet och lång livslängd. Det är ett bra alternativ till kvartsbåthållaren.
Borexpansionsutrustning används huvudsakligen för processen att dopa borelement på N-typ kiselskivssubstrat i battericellen för att förbereda P-typ-emittern för att bilda en PN-övergång. Arbetsprincipen är att genomföra kemisk reaktion och molekylär avsättningsfilmbildning i en högtemperaturatmosfär. Efter att filmen har bildats kan den diffunderas genom högtemperaturuppvärmning för att uppnå dopningsfunktionen hos kiselskivans yta. På grund av den höga arbetstemperaturen hos borexpansionsutrustningen har kvartsbåthållaren låg högtemperaturhållfasthet och en kort livslängd i borexpansionsutrustningen. Den integreradekiselkarbidbåtHållaren har hög högtemperaturhållfasthet och är ett bra alternativ till kvartsbåthållaren i bor-expansionsprocessen.
② Substitutionsförhållande i annan processutrustning
SiC-båtstöd har en begränsad produktionskapacitet och utmärkt prestanda. Deras prissättning är generellt högre än för kvartsbåtstöd. Under allmänna arbetsförhållanden för cellbearbetningsutrustning är skillnaden i livslängd mellan SiC-båtstöd och kvartsbåtstöd liten. Nedströmskunder jämför och väljer huvudsakligen mellan pris och prestanda baserat på sina egna processer och behov. SiC-båtstöd och kvartsbåtstöd har blivit samexisterande och konkurrenskraftiga. Bruttovinstmarginalen för SiC-båtstöd är dock relativt hög för närvarande. Med minskningen av produktionskostnaden för SiC-båtstöd, om försäljningspriset för SiC-båtstöd aktivt sjunker, kommer det också att innebära större konkurrenskraft för kvartsbåtstöd.
Användningsförhållande
Cellteknologin är huvudsakligen PERC-teknik och TOPCon-teknik. Marknadsandelen för PERC-teknik är 88 % och marknadsandelen för TOPCon-teknik är 8,3 %. Den sammanlagda marknadsandelen för de två är 96,30 %.
Som visas i figuren nedan:
I PERC-tekniken krävs båtstöd för frontdiffusion och glödgningsprocesser. I TOPCon-tekniken krävs båtstöd för frontdiffusion, LPCVD, bakåtfosfordiffusion och glödgningsprocesser. För närvarande används båtstöd av kiselkarbid huvudsakligen i LPCVD-processen i TOPCon-tekniken, och deras tillämpning i borniffusionsprocessen har i huvudsak verifierats.
Figur Användning av båtstöd i cellbearbetningsprocessen
Obs: Efter fram- och bakbeläggningen med PERC- och TOPCon-teknikerna finns det fortfarande länkar som screentryck, sintring samt testning och sortering, vilka inte involverar användning av båtstöd och inte listas i figuren ovan.
Publiceringstid: 15 oktober 2024