Le funzioni principali dibarca in carburo di silicioIl supporto e il supporto per la barca in quarzo sono gli stessi.barca in carburo di silicioIl supporto in carburo di silicio offre prestazioni eccellenti ma ha un prezzo elevato. Rappresenta un'alternativa al supporto a barchetta in quarzo nelle apparecchiature per la lavorazione delle batterie con condizioni operative gravose (come le apparecchiature LPCVD e quelle per la diffusione del boro). Nelle apparecchiature per la lavorazione delle batterie con condizioni operative ordinarie, a causa del rapporto prezzo-prestazioni, il supporto a barchetta in carburo di silicio e quello in quarzo diventano categorie coesistenti e in competizione.
① Relazione di sostituzione nelle apparecchiature LPCVD e di diffusione del boro
L'apparecchiatura LPCVD viene utilizzata per il processo di ossidazione a effetto tunnel delle celle delle batterie e per la preparazione di strati di polisilicio drogato. Principio di funzionamento:
In atmosfera a bassa pressione, combinata con temperatura appropriata, si ottengono reazione chimica e formazione di film di deposizione per preparare uno strato di ossido di tunnel ultrasottile e un film di polisilicio. Nel processo di ossidazione a tunnel e preparazione dello strato di polisilicio drogato, il supporto a forma di barca ha un'elevata temperatura di lavoro e un film di silicio verrà depositato sulla superficie. Il coefficiente di dilatazione termica del quarzo è piuttosto diverso da quello del silicio. Quando utilizzato nel processo sopra descritto, è necessario decapare e rimuovere regolarmente il silicio depositato sulla superficie per evitare che il supporto a forma di barca in quarzo si rompa a causa della dilatazione e contrazione termica dovute al diverso coefficiente di dilatazione termica del silicio. A causa della frequente decapazione e della bassa resistenza alle alte temperature, il supporto a forma di barca in quarzo ha una breve durata e viene frequentemente sostituito nel processo di ossidazione a tunnel e preparazione dello strato di polisilicio drogato, il che aumenta significativamente il costo di produzione della cella della batteria. Il coefficiente di dilatazione dicarburo di silicioè vicino a quello del silicio. L'integratobarca in carburo di silicioIl supporto non richiede decapaggio nel processo di ossidazione a tunnel e di preparazione dello strato di polisilicio drogato. Presenta un'elevata resistenza alle alte temperature e una lunga durata. Rappresenta una valida alternativa al supporto in quarzo.
L'apparecchiatura di espansione del boro viene utilizzata principalmente per il processo di drogaggio con boro sul substrato di wafer di silicio di tipo N della cella della batteria per preparare l'emettitore di tipo P e formare una giunzione PN. Il principio di funzionamento consiste nel realizzare una reazione chimica e la formazione di un film di deposizione molecolare in un'atmosfera ad alta temperatura. Dopo la formazione del film, questo può essere diffuso mediante riscaldamento ad alta temperatura per realizzare la funzione di drogaggio della superficie del wafer di silicio. A causa dell'elevata temperatura di esercizio dell'apparecchiatura di espansione del boro, il porta-barchette di quarzo ha una bassa resistenza alle alte temperature e una breve durata di servizio nell'apparecchiatura di espansione del boro.barca in carburo di silicioIl supporto ha un'elevata resistenza alle alte temperature ed è una valida alternativa al supporto in quarzo per barchette nel processo di espansione del boro.
② Relazione di sostituzione in altre apparecchiature di processo
I supporti per celle solari in SiC hanno una capacità produttiva limitata e prestazioni eccellenti. Il loro prezzo è generalmente superiore a quello dei supporti in quarzo. Nelle normali condizioni operative delle apparecchiature per la lavorazione delle celle, la differenza di durata tra i supporti in SiC e quelli in quarzo è minima. I clienti a valle confrontano e scelgono principalmente in base al rapporto prezzo-prestazioni, tenendo conto dei propri processi e delle proprie esigenze. I supporti in SiC e quelli in quarzo sono diventati coesistenti e competitivi. Tuttavia, il margine di profitto lordo dei supporti in SiC è attualmente relativamente elevato. Con la diminuzione dei costi di produzione dei supporti in SiC, un'eventuale riduzione del prezzo di vendita aumenterebbe la competitività rispetto ai supporti in quarzo.
rapporto di utilizzo
La tecnologia delle celle si basa principalmente sulle tecnologie PERC e TOPCon. La quota di mercato della tecnologia PERC è dell'88%, mentre quella della tecnologia TOPCon è dell'8,3%. La quota di mercato combinata delle due tecnologie è del 96,30%.
Come illustrato nella figura seguente:
Nella tecnologia PERC, i supporti per la struttura a scafo sono necessari per i processi di diffusione del fosforo frontale e di ricottura. Nella tecnologia TOPCon, i supporti per la struttura a scafo sono necessari per i processi di diffusione del boro frontale, LPCVD, diffusione del fosforo posteriore e ricottura. Attualmente, i supporti per la struttura a scafo in carburo di silicio sono utilizzati principalmente nel processo LPCVD della tecnologia TOPCon, mentre la loro applicazione nel processo di diffusione del boro è stata ampiamente verificata.
Figura Applicazione dei supporti a forma di barca nel processo di lavorazione cellulare
Nota: dopo il rivestimento anteriore e posteriore con le tecnologie PERC e TOPCon, ci sono ancora fasi come la serigrafia, la sinterizzazione, il collaudo e la selezione, che non prevedono l'uso di supporti per imbarcazioni e non sono elencate nella figura precedente.
Data di pubblicazione: 15 ottobre 2024