د اصلي دندوسیلیکون کاربایډ کښتۍملاتړ او د کوارټز کښتۍ ملاتړ یو شان دي.د سیلیکون کاربایډ کښتۍملاتړ غوره فعالیت لري مګر لوړ قیمت لري. دا د سختو کاري شرایطو سره د بیټرۍ پروسس کولو تجهیزاتو کې د کوارټز کښتۍ ملاتړ سره یو بدیل اړیکه جوړوي (لکه د LPCVD تجهیزات او د بوران خپریدو تجهیزات). د عادي کاري شرایطو سره د بیټرۍ پروسس کولو تجهیزاتو کې، د نرخ اړیکو له امله، د سیلیکون کاربایډ او کوارټز کښتۍ ملاتړ ګډ او سیالي کونکي کټګورۍ کیږي.
① په LPCVD او بوران خپریدو تجهیزاتو کې د بدیل اړیکه
د LPCVD تجهیزات د بیټرۍ حجرو تونل کولو اکسیډیشن او ډوپ شوي پولیسیلیکون پرت چمتو کولو پروسې لپاره کارول کیږي. د کار اصل:
د ټیټ فشار فضا لاندې، د مناسب تودوخې سره یوځای، کیمیاوي تعامل او د زیرمو فلم جوړښت د الټرا پتلي تونل اکسایډ پرت او پولیسیلیکون فلم چمتو کولو لپاره ترلاسه کیږي. د تونل اکسیډیشن او ډوپډ پولیسیلیکون پرت چمتو کولو پروسې کې، د کښتۍ ملاتړ لوړ کاري تودوخه لري او د سیلیکون فلم به په سطحه زیرمه شي. د کوارټز د تودوخې توسعې ضخامت د سیلیکون څخه خورا توپیر لري. کله چې په پورته پروسه کې کارول کیږي، نو اړینه ده چې په منظم ډول په سطحه زیرمه شوي سیلیکون اچار کړئ او لرې کړئ ترڅو د کوارټز کښتۍ ملاتړ د تودوخې توسعې او انقباض له امله د سیلیکون څخه د مختلف حرارتي توسعې ضخامت له امله د ماتیدو مخه ونیسئ. د مکرر اچار کولو او ټیټ لوړ تودوخې ځواک له امله، د کوارټز کښتۍ لرونکی لنډ ژوند لري او په مکرر ډول د تونل اکسیډیشن او ډوپډ پولیسیلیکون پرت چمتو کولو پروسې کې ځای په ځای کیږي، کوم چې د بیټرۍ حجرو تولید لګښت د پام وړ زیاتوي. د پراختیا ضخامتسیلیکون کاربایډد سیلیکون سره نږدې دی. مدغم شویسیلیکون کاربایډ کښتۍهولډر د تونل اکسیډیشن او ډوپډ پولیسیلیکون پرت چمتو کولو پروسې کې اچار ته اړتیا نلري. دا د لوړ تودوخې لوړ ځواک او اوږد خدمت ژوند لري. دا د کوارټز کښتۍ هولډر لپاره یو ښه بدیل دی.
د بوران توسعې تجهیزات په عمده توګه د بیټرۍ حجرو د N-ډول سیلیکون ویفر سبسټریټ کې د بوران عناصرو د ډوپینګ پروسې لپاره کارول کیږي ترڅو د P-ډول ایمیټر د PN جنکشن جوړولو لپاره چمتو کړي. د کار اصل دا دی چې د لوړ تودوخې فضا کې کیمیاوي تعامل او مالیکولر زیرمه فلم جوړونه احساس کړي. وروسته له دې چې فلم جوړ شي، دا د لوړ تودوخې تودوخې لخوا خپریدلی شي ترڅو د سیلیکون ویفر سطحې د ډوپینګ فعالیت احساس کړي. د بوران توسعې تجهیزاتو د لوړ کاري تودوخې له امله، د کوارټز کښتۍ لرونکی د لوړ تودوخې ټیټ ځواک او د بوران توسعې تجهیزاتو کې لنډ خدمت ژوند لري. مدغم شویسیلیکون کاربایډ کښتۍهولډر د لوړې تودوخې لوړ ځواک لري او د بوران د توسعې په پروسه کې د کوارټز کښتۍ هولډر لپاره یو ښه بدیل دی.
② د نورو پروسس تجهیزاتو کې د بدیل اړیکه
د SiC کښتۍ ملاتړ کونکي د تولید سخت ظرفیت او غوره فعالیت لري. د دوی قیمت عموما د کوارټز کښتۍ ملاتړ کونکو په پرتله لوړ دی. د حجرو پروسس کولو تجهیزاتو په عمومي کاري شرایطو کې، د SiC کښتۍ ملاتړ کونکو او کوارټز کښتۍ ملاتړ کونکو ترمنځ د خدماتو ژوند کې توپیر لږ دی. د ښکته جریان پیرودونکي په عمده توګه د خپلو پروسو او اړتیاو پراساس د قیمت او فعالیت ترمنځ پرتله کوي او غوره کوي. د SiC کښتۍ ملاتړ کونکي او کوارټز کښتۍ ملاتړ کونکي همغږي او سیالي کونکي شوي دي. په هرصورت، د SiC کښتۍ ملاتړ کونکو ناخالص ګټې حاشیه اوس مهال نسبتا لوړه ده. د SiC کښتۍ ملاتړ کونکو د تولید لګښت کمیدو سره، که چیرې د SiC کښتۍ ملاتړ کونکو پلور نرخ په فعاله توګه کم شي، نو دا به د کوارټز کښتۍ ملاتړ کونکو ته لوی سیالي هم رامینځته کړي.
د کارولو تناسب
د سیل ټیکنالوژۍ لاره په عمده توګه د PERC ټیکنالوژۍ او TOPCon ټیکنالوژۍ څخه جوړه شوې ده. د PERC ټیکنالوژۍ د بازار ونډه 88٪ ده، او د TOPCon ټیکنالوژۍ د بازار ونډه 8.3٪ ده. د دواړو ګډ بازار ونډه 96.30٪ ده.
لکه څنګه چې په لاندې انځور کې ښودل شوي:
په PERC ټیکنالوژۍ کې، د کښتۍ ملاتړ د مخکینۍ فاسفورس خپریدو او انیل کولو پروسو لپاره اړین دی. په TOPCon ټیکنالوژۍ کې، د کښتۍ ملاتړ د مخکینۍ بوران خپریدو، LPCVD، شاته فاسفورس خپریدو او انیل کولو پروسو لپاره اړین دی. اوس مهال، د سیلیکون کاربایډ کښتۍ ملاتړ په عمده توګه د TOPCon ټیکنالوژۍ LPCVD پروسې کې کارول کیږي، او د بوران خپریدو پروسې کې د دوی غوښتنلیک په عمده توګه تایید شوی.
شکل د حجرو د پروسس په پروسه کې د کښتۍ ملاتړونو کارول
یادونه: د PERC او TOPCon ټیکنالوژیو د مخکینۍ او شا کوټینګ وروسته، لاهم د سکرین پرنټینګ، سینټرینګ او ازموینې او ترتیب کولو په څیر لینکونه شتون لري، کوم چې د کښتۍ ملاتړونو کارول شامل ندي او په پورته شکل کې لیست شوي ندي.
د پوسټ وخت: د اکتوبر-۱۵-۲۰۲۴