Główne funkcjełódka z węglika krzemupodpora i podpora łodzi kwarcowej są takie same.Łódź z węglika krzemuPodłoże charakteryzuje się doskonałą wydajnością, ale wysoką ceną. Stanowi alternatywę dla podłoży kwarcowych w urządzeniach do przetwarzania baterii o trudnych warunkach pracy (takich jak urządzenia LPCVD i urządzenia do dyfuzji boru). W urządzeniach do przetwarzania baterii o standardowych warunkach pracy, ze względu na relacje cenowe, węglik krzemu i podłoże kwarcowe stają się kategoriami współistniejącymi i konkurującymi.
① Relacja substytucji w LPCVD i sprzęcie do dyfuzji boru
Urządzenie LPCVD służy do tunelowego utleniania ogniw akumulatorowych i przygotowania warstwy polikrzemu domieszkowanego. Zasada działania:
W atmosferze niskiego ciśnienia, w połączeniu z odpowiednią temperaturą, reakcja chemiczna i formowanie filmu osadowego umożliwiają przygotowanie ultracienkiej tunelowej warstwy tlenku i filmu polikrzemowego. W procesie utleniania tunelowego i domieszkowanej warstwy polikrzemowej, podpora łódki ma wysoką temperaturę roboczą, a na jej powierzchni osadza się film krzemowy. Współczynnik rozszerzalności cieplnej kwarcu znacznie różni się od współczynnika rozszerzalności cieplnej krzemu. W przypadku zastosowania w powyższym procesie, konieczne jest regularne trawienie i usuwanie krzemu osadzonego na powierzchni, aby zapobiec pękaniu kwarcowej podpory łódki z powodu rozszerzalności cieplnej i kurczenia się, wynikającego z odmiennego współczynnika rozszerzalności cieplnej krzemu. Ze względu na częste trawienie i niską wytrzymałość w wysokiej temperaturze, kwarcowy uchwyt łódki ma krótką żywotność i jest często wymieniany w procesie utleniania tunelowego i domieszkowanej warstwy polikrzemowej, co znacznie zwiększa koszty produkcji ogniwa akumulatora. Współczynnik rozszerzalnościwęglik krzemujest zbliżony do krzemu. Zintegrowanyłódka z węglika krzemuUchwyt nie wymaga trawienia w procesie utleniania tunelowego i przygotowania warstwy polikrzemu domieszkowanego. Charakteryzuje się wysoką wytrzymałością na wysokie temperatury i długą żywotnością. Stanowi dobrą alternatywę dla uchwytu kwarcowego.
Urządzenia do ekspandowania boru są wykorzystywane głównie w procesie domieszkowania pierwiastkami boru na podłożu płytki krzemowej typu N ogniwa baterii, w celu przygotowania emitera typu P do utworzenia złącza PN. Zasada działania polega na przeprowadzeniu reakcji chemicznej i utworzeniu warstwy osadu molekularnego w atmosferze wysokotemperaturowej. Po uformowaniu warstwy, może ona zostać rozproszona poprzez ogrzewanie w wysokiej temperaturze, co pozwala na domieszkowanie powierzchni płytki krzemowej. Ze względu na wysoką temperaturę pracy urządzenia do ekspandowania boru, kwarcowy uchwyt na łódkę charakteryzuje się niską wytrzymałością w wysokich temperaturach i krótką żywotnością w urządzeniu do ekspandowania boru. Zintegrowanyłódka z węglika krzemuUchwyt charakteryzuje się wysoką wytrzymałością na wysokie temperatury i stanowi dobrą alternatywę dla uchwytu kwarcowego w procesie ekspansji boru.
② Relacja substytucyjna w innym sprzęcie procesowym
Podpory do łodzi z węglika krzemu (SiC) charakteryzują się ograniczoną wydajnością i doskonałą wydajnością. Ich cena jest zazwyczaj wyższa niż podpór kwarcowych. W warunkach pracy urządzeń do przetwarzania w komórkach różnica w żywotności między podporami do łodzi z węglika krzemu (SiC) a podporami kwarcowymi jest niewielka. Klienci porównują i dokonują wyboru między ceną a wydajnością głównie w oparciu o własne procesy i potrzeby. Podpory do łodzi z węglika krzemu (SiC) i podpory kwarcowe stały się konkurencyjne i współistnieją. Jednak marża zysku brutto na podporach do łodzi z węglika krzemu (SiC) jest obecnie stosunkowo wysoka. Wraz ze spadkiem kosztów produkcji podpór do łodzi z węglika krzemu (SiC), jeśli cena sprzedaży podpór do łodzi z węglika krzemu (SiC) będzie aktywnie spadać, będzie to również oznaczać większą konkurencyjność w porównaniu z podporami kwarcowymi.
Współczynnik wykorzystania
Technologia ogniw obejmuje głównie technologie PERC i TOPCon. Udział technologii PERC w rynku wynosi 88%, a technologii TOPCon 8,3%. Łączny udział obu technologii w rynku wynosi 96,30%.
Jak pokazano na poniższym rysunku:
W technologii PERC, podpory typu „łódka” są wymagane do procesów dyfuzji i wyżarzania fosforu z przodu. W technologii TOPCon, podpory typu „łódka” są wymagane do procesów dyfuzji boru z przodu, LPCVD, dyfuzji i wyżarzania fosforu z tyłu. Obecnie w procesie LPCVD w technologii TOPCon, podpory typu „łódka” z węglika krzemu są stosowane głównie w procesie LPCVD, a ich zastosowanie w procesie dyfuzji boru zostało w dużej mierze zweryfikowane.
Rysunek Zastosowanie podpór łodzi w procesie obróbki komórkowej
Uwaga: Po nałożeniu powłoki przedniej i tylnej w technologiach PERC i TOPCon nadal występują procesy takie jak sitodruk, spiekanie, testowanie i sortowanie, które nie wymagają stosowania podpór łodziowych i nie zostały uwzględnione na powyższym rysunku.
Czas publikacji: 15.10.2024