Principalele funcții alebarcă cu carbură de siliciuSuportul și suportul pentru barcă din cuarț sunt aceleași.Barcă cu carbură de siliciuSuportul are performanțe excelente, dar preț ridicat. Constituie o alternativă la suportul pentru barcă de cuarț în echipamentele de procesare a bateriilor cu condiții dure de lucru (cum ar fi echipamentele LPCVD și echipamentele de difuzie a borului). În echipamentele de procesare a bateriilor cu condiții obișnuite de lucru, din cauza relațiilor de preț, carbura de siliciu și suportul pentru barcă de cuarț devin categorii coexistente și concurente.
① Relația de substituție în LPCVD și echipamentele de difuzie a borului
Echipamentul LPCVD este utilizat pentru oxidarea prin tunelare a celulelor de baterii și procesul de preparare a stratului de polisiliciu dopat. Principiu de funcționare:
În condiții de joasă presiune, combinate cu o temperatură adecvată, se realizează o reacție chimică și formarea unei pelicule de depunere pentru a prepara un strat de oxid de tunelare ultra-subțire și o peliculă de polisilicon. În procesul de oxidare prin tunelare și de preparare a stratului de polisilicon dopat, suportul pentru barcă are o temperatură de lucru ridicată, iar pe suprafață se va depune o peliculă de siliciu. Coeficientul de dilatare termică al cuarțului este destul de diferit de cel al siliciului. Atunci când este utilizat în procesul de mai sus, este necesar să se decapare și să se îndepărteze în mod regulat siliciul depus la suprafață pentru a preveni ruperea suportului pentru barcă de cuarț din cauza dilatării și contracției termice, datorită coeficientului de dilatare termică diferit de cel al siliciului. Datorită decapării frecvente și a rezistenței scăzute la temperaturi ridicate, suportul pentru barcă de cuarț are o durată de viață scurtă și este frecvent înlocuit în procesul de oxidare prin tunelare și de preparare a stratului de polisilicon dopat, ceea ce crește semnificativ costul de producție al celulei bateriei. Coeficientul de dilatare al...carbură de siliciueste apropiată de cea a siliciului. Integrareabarcă cu carbură de siliciuSuportul nu necesită decapare în procesul de oxidare în tunel și de preparare a stratului de polisilicon dopat. Are o rezistență ridicată la temperaturi ridicate și o durată lungă de viață. Este o alternativă bună la suportul tip barcă de cuarț.
Echipamentul de expansiune a borului este utilizat în principal pentru procesul de dopare a elementelor de bor pe substratul plachetei de siliciu de tip N al celulei bateriei pentru a pregăti emițătorul de tip P pentru a forma o joncțiune PN. Principiul de funcționare este de a realiza o reacție chimică și formarea unei pelicule de depunere moleculară într-o atmosferă la temperatură ridicată. După formarea peliculei, aceasta poate fi difuzată prin încălzire la temperatură înaltă pentru a realiza funcția de dopare a suprafeței plachetei de siliciu. Datorită temperaturii ridicate de lucru a echipamentului de expansiune a borului, suportul pentru barcă de cuarț are o rezistență scăzută la temperaturi ridicate și o durată de viață scurtă în echipamentul de expansiune a borului. Integrarea...barcă cu carbură de siliciuSuportul are o rezistență ridicată la temperaturi ridicate și este o alternativă bună la suportul tip barcă de cuarț în procesul de expansiune a borului.
② Relație de substituție în alte echipamente de proces
Suporturile pentru bărci din SiC au o capacitate de producție redusă și performanțe excelente. Prețul lor este în general mai mare decât cel al suporturilor pentru bărci din cuarț. În condițiile generale de lucru ale echipamentelor de procesare celulară, diferența de durată de viață dintre suporturile pentru bărci din SiC și cele din cuarț este mică. Clienții din aval compară și aleg în principal între preț și performanță, pe baza propriilor procese și nevoi. Suporturile pentru bărci din SiC și cele din cuarț au devenit coexistente și competitive. Cu toate acestea, marja de profit brut a suporturilor pentru bărci din SiC este relativ mare în prezent. Odată cu scăderea costului de producție al suporturilor pentru bărci din SiC, dacă prețul de vânzare al suporturilor pentru bărci din SiC scade activ, acest lucru va reprezenta, de asemenea, o competitivitate mai mare față de suporturile pentru bărci din cuarț.
Raportul de utilizare
Ruta tehnologiei celulare este în principal tehnologia PERC și tehnologia TOPCon. Cota de piață a tehnologiei PERC este de 88%, iar cota de piață a tehnologiei TOPCon este de 8,3%. Cota de piață combinată a celor două este de 96,30%.
După cum se arată în figura de mai jos:
În tehnologia PERC, suporturile pentru ambarcațiuni sunt necesare pentru procesele de difuzie frontală a fosforului și recoacere. În tehnologia TOPCon, suporturile pentru ambarcațiuni sunt necesare pentru procesele de difuzie frontală a borului, LPCVD, difuzie posterioară a fosforului și recoacere. În prezent, suporturile pentru ambarcațiuni din carbură de siliciu sunt utilizate în principal în procesul LPCVD al tehnologiei TOPCon, iar aplicarea lor în procesul de difuzie a borului a fost verificată în principal.
Figura Aplicarea suporturilor pentru bărci în procesul de procesare a celulelor
Notă: După acoperirea frontală și posterioară a tehnologiilor PERC și TOPCon, există încă legături precum serigrafia, sinterizarea și testarea și sortarea, care nu implică utilizarea suporturilor pentru ambarcațiuni și nu sunt enumerate în figura de mai sus.
Data publicării: 15 oct. 2024