Nā pono o ke kākoʻo waʻa silicon carbide i hoʻohālikelike ʻia me ke kākoʻo waʻa quartz

Nā hana nui owaʻa silicon carbideua like ke kākoʻo a me ke kākoʻo waʻa quartz.Waʻa kalapona silikonaHe hana maikaʻi loa ke kākoʻo akā he kumukūʻai kiʻekiʻe. He pilina ʻē aʻe ia me ke kākoʻo waʻa quartz i nā lako hana pila me nā kūlana hana koʻikoʻi (e like me nā lako LPCVD a me nā lako hoʻolaha boron). I nā lako hana pila me nā kūlana hana maʻamau, ma muli o nā pilina kumukūʻai, lilo ka silicon carbide a me ke kākoʻo waʻa quartz i mau ʻano like ʻole a hoʻokūkū.

① Pilina hoʻololi ma LPCVD a me nā lako hoʻolaha boron

Hoʻohana ʻia nā lako LPCVD no ka oxidation tunneling cell pila a me ke kaʻina hana hoʻomākaukau polysilicon layer doped. Kumu hana:

Ma lalo o ke kaomi haʻahaʻa, i hui pū ʻia me ka mahana kūpono, ua hoʻokō ʻia ka hopena kemika a me ka hoʻokumu ʻana o ka ʻili kiʻi waiho e hoʻomākaukau i ka papa oxide tunneling ultra-thin a me ka ʻili polysilicon. I ke kaʻina hana hoʻomākaukau ʻana o ka tunneling oxidation a me ka papa polysilicon doped, he mahana hana kiʻekiʻe ko ke kākoʻo waʻa a e waiho ʻia kahi ʻili silicon ma luna o ka ʻili. He ʻokoʻa loa ke koina hoʻonui wela o ka quartz mai ko silicon. Ke hoʻohana ʻia i ke kaʻina hana ma luna, pono e pickle pinepine a wehe i ka silicon i waiho ʻia ma luna o ka ʻili e pale aku i ke kākoʻo waʻa quartz mai ka haki ʻana ma muli o ka hoʻonui wela a me ka ʻaelike ma muli o ke koina hoʻonui wela ʻokoʻa mai ka silicon. Ma muli o ka pickling pinepine a me ka ikaika haʻahaʻa kiʻekiʻe, he pōkole ke ola o ka mea paʻa waʻa quartz a ua hoʻololi pinepine ʻia i ke kaʻina hana hoʻomākaukau ʻana o ka tunnel oxidation a me ka papa polysilicon doped, kahi e hoʻonui nui ai i ke kumukūʻai hana o ka cell pila. ʻO ke koina hoʻonui okalaka siliconua kokoke i ko silicon. ʻO ka mea i hoʻohui ʻiawaʻa silicon carbideʻAʻole pono ka mea paʻa i ka pickling i loko o ke kaʻina hana hoʻomākaukau o ka tunnel oxidation a me ka papa polysilicon doped. Loaʻa iā ia ka ikaika wela kiʻekiʻe a me ke ola lawelawe lōʻihi. He koho maikaʻi ia no ka mea paʻa waʻa quartz.

Hoʻohana nui ʻia nā lako hoʻonui Boron no ke kaʻina hana o ka doping i nā mea boron ma ka substrate wafer silicon N-type o ke kelepona pila e hoʻomākaukau i ka emitter ʻano P e hana i kahi PN junction. ʻO ke kumu hana, ʻo ia ka hoʻomaopopo ʻana i ka hopena kemika a me ka hoʻokumu ʻana o ka ʻili molekala i kahi lewa wela kiʻekiʻe. Ma hope o ka hoʻokumu ʻia ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni, hiki ke hoʻolaha ʻia e ka hoʻomehana wela kiʻekiʻe e hoʻomaopopo i ka hana doping o ka ʻili wafer silicon. Ma muli o ke kiʻekiʻe o ka mahana hana o nā lako hoʻonui boron, he haʻahaʻa ka ikaika wela kiʻekiʻe o ka mea paʻa waʻa quartz a he ola lawelawe pōkole i nā lako hoʻonui boron. ʻO ka mea i hoʻohui ʻiawaʻa silicon carbideLoaʻa i ka mea paʻa ka ikaika kiʻekiʻe o ka mahana a he koho maikaʻi ia no ka mea paʻa waʻa quartz i ke kaʻina hana hoʻonui boron.

② Pilina hoʻololi i nā lako hana ʻē aʻe

Loaʻa i nā kākoʻo waʻa SiC ka hiki ke hana paʻa a me ka hana maikaʻi loa. ʻOi aku ke kiʻekiʻe o kā lākou kumukūʻai ma mua o nā kākoʻo waʻa quartz. Ma nā kūlana hana maʻamau o nā lako hana cell, ʻo ka ʻokoʻa o ke ola lawelawe ma waena o nā kākoʻo waʻa SiC a me nā kākoʻo waʻa quartz he liʻiliʻi. Hoʻohālikelike nui nā mea kūʻai aku ma lalo a koho ma waena o ke kumukūʻai a me ka hana ma muli o kā lākou mau kaʻina hana a me nā pono. Ua lilo nā kākoʻo waʻa SiC a me nā kākoʻo waʻa quartz i mea like a hoʻokūkū. Eia nō naʻe, ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka loaʻa kālā o nā kākoʻo waʻa SiC i kēia manawa. Me ka emi ʻana o ke kumukūʻai hana o nā kākoʻo waʻa SiC, inā e emi koke ke kumukūʻai kūʻai aku o nā kākoʻo waʻa SiC, e hoʻokūkū nui ʻia hoʻi i nā kākoʻo waʻa quartz.

Laki hoʻohana

ʻO ke ala ʻenehana kelepona ka ʻenehana PERC a me ka ʻenehana TOPCon. ʻO 88% ka māhele mākeke o ka ʻenehana PERC, a ʻo 8.3% ka māhele mākeke o ka ʻenehana TOPCon. ʻO 96.30% ka māhele mākeke i hui pū ʻia o nā mea ʻelua.

E like me ka mea i hōʻike ʻia ma ke kiʻi ma lalo nei:

I loko o ka ʻenehana PERC, pono nā kākoʻo waʻa no ka hoʻolaha ʻana o ka phosphorus mua a me nā kaʻina hana annealing. I loko o ka ʻenehana TOPCon, pono nā kākoʻo waʻa no ka hoʻolaha ʻana o ka boron mua, LPCVD, ka hoʻolaha ʻana o ka phosphorus hope a me nā kaʻina hana annealing. I kēia manawa, hoʻohana nui ʻia nā kākoʻo waʻa silicon carbide i ke kaʻina hana LPCVD o ka ʻenehana TOPCon, a ua hōʻoia nui ʻia kā lākou noi i ke kaʻina hana hoʻolaha boron.

Kiʻi Hoʻopili ʻia o nā kākoʻo waʻa i ke kaʻina hana hana cell

Nānā: Ma hope o ka uhi ʻana i mua a me hope o nā ʻenehana PERC a me TOPCon, aia nō nā loulou e like me ka paʻi pale, sintering a me ka hoʻāʻo ʻana a me ka hoʻokaʻawale ʻana, ʻaʻole ia e pili i ka hoʻohana ʻana i nā kākoʻo waʻa a ʻaʻole i helu ʻia ma ke kiʻi ma luna.