Οι κύριες λειτουργίες τουβάρκα από καρβίδιο του πυριτίουη στήριξη και η στήριξη σκάφους από χαλαζία είναι οι ίδιες.Σκάφος από καρβίδιο του πυριτίουΗ υποστήριξη έχει εξαιρετική απόδοση αλλά υψηλή τιμή. Αποτελεί μια εναλλακτική σχέση με την υποστήριξη σκαφών από χαλαζία σε εξοπλισμό επεξεργασίας μπαταριών με σκληρές συνθήκες λειτουργίας (όπως εξοπλισμός LPCVD και εξοπλισμός διάχυσης βορίου). Σε εξοπλισμό επεξεργασίας μπαταριών με συνήθεις συνθήκες λειτουργίας, λόγω των σχέσεων τιμών, η υποστήριξη σκαφών από καρβίδιο του πυριτίου και χαλαζία καθίστανται συνυπάρχουσες και ανταγωνιστικές κατηγορίες.
① Σχέση υποκατάστασης σε εξοπλισμό διάχυσης LPCVD και βορίου
Ο εξοπλισμός LPCVD χρησιμοποιείται για την οξείδωση σήραγγας στοιχείων μπαταριών και την προετοιμασία στρώματος πολυπυριτίου με πρόσμιξη. Αρχή λειτουργίας:
Υπό ατμόσφαιρα χαμηλής πίεσης, σε συνδυασμό με κατάλληλη θερμοκρασία, επιτυγχάνεται χημική αντίδραση και σχηματισμός μεμβράνης εναπόθεσης για την παρασκευή εξαιρετικά λεπτού στρώματος οξειδίου σήραγγας και μεμβράνης πολυπυριτίου. Στη διαδικασία οξείδωσης σήραγγας και προετοιμασίας στρώματος πολυπυριτίου με πρόσμιξη, η βάση του σκάφους έχει υψηλή θερμοκρασία λειτουργίας και μια μεμβράνη πυριτίου θα εναποτεθεί στην επιφάνεια. Ο συντελεστής θερμικής διαστολής του χαλαζία είναι αρκετά διαφορετικός από αυτόν του πυριτίου. Όταν χρησιμοποιείται στην παραπάνω διαδικασία, είναι απαραίτητο να γίνεται τακτική αποξείδωση και αφαίρεση του πυριτίου που εναποτίθεται στην επιφάνεια για να αποτραπεί το σπάσιμο της βάσης σκάφους χαλαζία λόγω θερμικής διαστολής και συστολής λόγω του διαφορετικού συντελεστή θερμικής διαστολής από το πυρίτιο. Λόγω του συχνού αποξείδωσης και της χαμηλής αντοχής σε υψηλές θερμοκρασίες, η βάση σκάφους χαλαζία έχει μικρή διάρκεια ζωής και αντικαθίσταται συχνά στη διαδικασία οξείδωσης σήραγγας και προετοιμασίας στρώματος πολυπυριτίου με πρόσμιξη, γεγονός που αυξάνει σημαντικά το κόστος παραγωγής του στοιχείου της μπαταρίας. Ο συντελεστής διαστολής τουκαρβίδιο του πυριτίουείναι κοντά σε αυτό του πυριτίου. Το ενσωματωμένοβάρκα από καρβίδιο του πυριτίουΗ βάση δεν απαιτεί αποξείδωση στη σήραγγα για οξείδωση και προετοιμασία στρώματος πολυπυριτίου με πρόσμιξη. Έχει υψηλή αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και μεγάλη διάρκεια ζωής. Αποτελεί μια καλή εναλλακτική λύση για τη βάση σκαφών από χαλαζία.
Ο εξοπλισμός διαστολής βορίου χρησιμοποιείται κυρίως για τη διαδικασία προσθήκης στοιχείων βορίου στο υπόστρωμα πλακιδίων πυριτίου τύπου Ν του στοιχείου της μπαταρίας για την προετοιμασία του εκπομπού τύπου Ρ για τον σχηματισμό μιας σύνδεσης PN. Η αρχή λειτουργίας είναι η πραγματοποίηση χημικής αντίδρασης και σχηματισμού μεμβράνης μοριακής εναπόθεσης σε ατμόσφαιρα υψηλής θερμοκρασίας. Μετά τον σχηματισμό της μεμβράνης, μπορεί να διαχυθεί με θέρμανση σε υψηλή θερμοκρασία για να επιτευχθεί η λειτουργία προσθήκης της επιφάνειας της πλακέτας πυριτίου. Λόγω της υψηλής θερμοκρασίας λειτουργίας του εξοπλισμού διαστολής βορίου, η βάση σκαφών χαλαζία έχει χαμηλή αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και σύντομη διάρκεια ζωής στον εξοπλισμό διαστολής βορίου. Το ενσωματωμένο...βάρκα από καρβίδιο του πυριτίουΗ βάση έχει υψηλή αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και αποτελεί καλή εναλλακτική λύση στη βάση σκαφών χαλαζία στη διαδικασία διαστολής βορίου.
② Σχέση υποκατάστασης σε άλλο εξοπλισμό διεργασίας
Τα στηρίγματα σκαφών SiC έχουν περιορισμένη παραγωγική ικανότητα και εξαιρετική απόδοση. Η τιμολόγησή τους είναι γενικά υψηλότερη από αυτή των στηριγμάτων σκαφών από χαλαζία. Υπό γενικές συνθήκες λειτουργίας του εξοπλισμού επεξεργασίας κυψελών, η διαφορά στη διάρκεια ζωής μεταξύ των στηριγμάτων σκαφών SiC και των στηριγμάτων σκαφών από χαλαζία είναι μικρή. Οι μεταγενέστεροι πελάτες συγκρίνουν και επιλέγουν κυρίως μεταξύ τιμής και απόδοσης με βάση τις δικές τους διαδικασίες και ανάγκες. Τα στηρίγματα σκαφών SiC και τα στηρίγματα σκαφών από χαλαζία έχουν γίνει συνυπάρχοντα και ανταγωνιστικά. Ωστόσο, το περιθώριο μικτού κέρδους των στηριγμάτων σκαφών SiC είναι σχετικά υψηλό προς το παρόν. Με τη μείωση του κόστους παραγωγής των στηριγμάτων σκαφών SiC, εάν η τιμή πώλησης των στηριγμάτων σκαφών SiC μειωθεί δραστικά, θα θέσει επίσης σε μεγαλύτερη ανταγωνιστικότητα τα στηρίγματα σκαφών από χαλαζία.
Αναλογία χρήσης
Η τεχνολογία κυψελών είναι κυρίως η τεχνολογία PERC και η τεχνολογία TOPCon. Το μερίδιο αγοράς της τεχνολογίας PERC είναι 88% και το μερίδιο αγοράς της τεχνολογίας TOPCon είναι 8,3%. Το συνδυασμένο μερίδιο αγοράς των δύο είναι 96,30%.
Όπως φαίνεται στο παρακάτω σχήμα:
Στην τεχνολογία PERC, απαιτούνται στηρίγματα σκαφών για τις διαδικασίες εμπρόσθιας διάχυσης φωσφόρου και ανόπτησης. Στην τεχνολογία TOPCon, απαιτούνται στηρίγματα σκαφών για τις διαδικασίες εμπρόσθιας διάχυσης βορίου, LPCVD, οπίσθιας διάχυσης φωσφόρου και ανόπτησης. Προς το παρόν, τα στηρίγματα σκαφών από καρβίδιο του πυριτίου χρησιμοποιούνται κυρίως στη διαδικασία LPCVD της τεχνολογίας TOPCon και η εφαρμογή τους στη διαδικασία διάχυσης βορίου έχει επαληθευτεί σε μεγάλο βαθμό.
Σχήμα Εφαρμογή στηριγμάτων σκαφών στη διαδικασία επεξεργασίας κυψελών
Σημείωση: Μετά την μπροστινή και πίσω επίστρωση των τεχνολογιών PERC και TOPCon, εξακολουθούν να υπάρχουν σύνδεσμοι όπως η εκτύπωση με μεταξοτυπία, η πυροσυσσωμάτωση και η δοκιμή και η διαλογή, οι οποίοι δεν περιλαμβάνουν τη χρήση στηριγμάτων σκαφών και δεν παρατίθενται στο παραπάνω σχήμα.
Ώρα δημοσίευσης: 15 Οκτωβρίου 2024