គុណសម្បត្តិនៃការគាំទ្រទូកស៊ីលីកុនកាប៊ីតបើប្រៀបធៀបទៅនឹងការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវ

មុខងារសំខាន់ៗរបស់ទូកស៊ីលីកុនកាប៊ីតការគាំទ្រ និងការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវគឺដូចគ្នា។ទូកស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដការទ្រទ្រង់មានដំណើរការល្អឥតខ្ចោះ ប៉ុន្តែតម្លៃខ្ពស់។ វាបង្កើតបានជាទំនាក់ទំនងជំនួសជាមួយនឹងការទ្រទ្រង់ទូករ៉ែថ្មខៀវនៅក្នុងឧបករណ៍ដំណើរការថ្មដែលមានលក្ខខណ្ឌការងារដ៏លំបាក (ដូចជាឧបករណ៍ LPCVD និងឧបករណ៍សាយភាយបូរ៉ុន)។ នៅក្នុងឧបករណ៍ដំណើរការថ្មដែលមានលក្ខខណ្ឌការងារធម្មតា ដោយសារតែទំនាក់ទំនងតម្លៃ ការទ្រទ្រង់ទូករ៉ែថ្មខៀវ និងរ៉ែថ្មខៀវក្លាយជាប្រភេទដែលនៅជាមួយគ្នា និងប្រកួតប្រជែង។

① ទំនាក់ទំនងជំនួសនៅក្នុង LPCVD និងឧបករណ៍សាយភាយបូរ៉ុន

ឧបករណ៍ LPCVD ត្រូវបានប្រើសម្រាប់ដំណើរការអុកស៊ីតកម្មរូងក្រោមដីកោសិកាថ្ម និងដំណើរការរៀបចំស្រទាប់ប៉ូលីស៊ីលីកុនដែលមានសារធាតុដូប។ គោលការណ៍ធ្វើការ៖

ក្រោមបរិយាកាសសម្ពាធទាប រួមផ្សំជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាពសមស្រប ប្រតិកម្មគីមី និងការបង្កើតខ្សែភាពយន្តដាក់ប្រាក់ត្រូវបានសម្រេចដើម្បីរៀបចំស្រទាប់អុកស៊ីដផ្លូវរូងក្រោមដីស្តើងបំផុត និងខ្សែភាពយន្តប៉ូលីស៊ីលីកុន។ នៅក្នុងដំណើរការកត់សុីផ្លូវរូងក្រោមដី និងការរៀបចំស្រទាប់ប៉ូលីស៊ីលីកុនដែលមានសារធាតុដូប ការគាំទ្រទូកមានសីតុណ្ហភាពការងារខ្ពស់ ហើយខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុននឹងត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃ។ មេគុណពង្រីកកម្ដៅនៃរ៉ែថ្មខៀវគឺខុសគ្នាទាំងស្រុងពីស៊ីលីកុន។ នៅពេលប្រើក្នុងដំណើរការខាងលើ ចាំបាច់ត្រូវត្រាំ និងយកស៊ីលីកុនដែលដាក់នៅលើផ្ទៃចេញជាប្រចាំ ដើម្បីការពារការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវពីការបាក់ដោយសារតែការពង្រីក និងកន្ត្រាក់កម្ដៅដោយសារតែមេគុណពង្រីកកម្ដៅខុសគ្នាពីស៊ីលីកុន។ ដោយសារតែការត្រាំញឹកញាប់ និងកម្លាំងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ទាប ឧបករណ៍កាន់ទូករ៉ែថ្មខៀវមានអាយុកាលខ្លី ហើយត្រូវបានជំនួសជាញឹកញាប់នៅក្នុងដំណើរការកត់សុីផ្លូវរូងក្រោមដី និងការរៀបចំស្រទាប់ប៉ូលីស៊ីលីកុនដែលមានសារធាតុដូប ដែលបង្កើនថ្លៃដើមផលិតកម្មនៃក្រឡាថ្មយ៉ាងខ្លាំង។ មេគុណពង្រីកនៃស៊ីលីកុនកាប៊ីតគឺជិតនឹងស៊ីលីកុន។ ការរួមបញ្ចូលគ្នាទូកស៊ីលីកុនកាប៊ីតឧបករណ៍​កាន់​មិន​តម្រូវ​ឱ្យ​មាន​ការ​ជ្រលក់​ក្នុង​ដំណើរការ​អុកស៊ីតកម្ម​ផ្លូវរូងក្រោមដី និង​ដំណើរការ​រៀបចំ​ស្រទាប់​ប៉ូលីស៊ីលីកុន​ដែល​មាន​សារធាតុ​បន្ថែម​ទេ។ វា​មាន​កម្លាំង​ខ្ពស់​នៅ​សីតុណ្ហភាព​ខ្ពស់ និង​អាយុកាល​ប្រើប្រាស់​យូរ។ វា​ជា​ជម្រើស​ដ៏​ល្អ​ជំនួស​ឧបករណ៍​កាន់​ទូក​រ៉ែថ្មខៀវ។

ឧបករណ៍ពង្រីកបូរ៉ុនត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ដំណើរការនៃការបញ្ចូលធាតុបូរ៉ុននៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមបន្ទះស៊ីលីកុនប្រភេទ N នៃក្រឡាថ្មដើម្បីរៀបចំឧបករណ៍បញ្ចេញប្រភេទ P ដើម្បីបង្កើតជាចំណុចប្រសព្វ PN ។ គោលការណ៍ការងារគឺដើម្បីសម្រេចបាននូវប្រតិកម្មគីមី និងការបង្កើតខ្សែភាពយន្តដាក់ម៉ូលេគុលនៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ បន្ទាប់ពីខ្សែភាពយន្តត្រូវបានបង្កើតឡើង វាអាចត្រូវបានសាយភាយដោយកំដៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដើម្បីសម្រេចបាននូវមុខងារបញ្ចូលនៃផ្ទៃបន្ទះស៊ីលីកុន។ ដោយសារតែសីតុណ្ហភាពការងារខ្ពស់នៃឧបករណ៍ពង្រីកបូរ៉ុន ឧបករណ៍កាន់ទូករ៉ែថ្មខៀវមានកម្លាំងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ទាប និងអាយុកាលសេវាកម្មខ្លីនៅក្នុងឧបករណ៍ពង្រីកបូរ៉ុន។ រួមបញ្ចូលគ្នាទូកស៊ីលីកុនកាប៊ីតអ្នកកាន់មានកម្លាំងខ្ពស់នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយវាជាជម្រើសដ៏ល្អមួយជំនួសអ្នកកាន់ទូករ៉ែថ្មខៀវក្នុងដំណើរការពង្រីកបូរ៉ុន។

② ទំនាក់ទំនងជំនួសនៅក្នុងឧបករណ៍ដំណើរការផ្សេងទៀត

ជើងទ្រទូក SiC មានសមត្ថភាពផលិតតឹងតែង និងមានដំណើរការល្អឥតខ្ចោះ។ តម្លៃរបស់វាជាទូទៅខ្ពស់ជាងជើងទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវ។ នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌការងារទូទៅនៃឧបករណ៍កែច្នៃកោសិកា ភាពខុសគ្នានៃអាយុកាលសេវាកម្មរវាងជើងទ្រទូក SiC និងជើងទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវគឺតូច។ អតិថិជននៅខាងក្រោមភាគច្រើនប្រៀបធៀប និងជ្រើសរើសរវាងតម្លៃ និងដំណើរការដោយផ្អែកលើដំណើរការ និងតម្រូវការផ្ទាល់ខ្លួនរបស់ពួកគេ។ ជើងទ្រទូក SiC និងជើងទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវបានក្លាយជាមានរួមគ្នា និងមានការប្រកួតប្រជែង។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ រឹមប្រាក់ចំណេញសរុបនៃជើងទ្រទូក SiC គឺខ្ពស់គួរសមនៅពេលបច្ចុប្បន្ន។ ជាមួយនឹងការធ្លាក់ចុះនៃថ្លៃដើមផលិតកម្មនៃជើងទ្រទូក SiC ប្រសិនបើតម្លៃលក់នៃជើងទ្រទូក SiC ធ្លាក់ចុះយ៉ាងសកម្ម វាក៏នឹងបង្កើតភាពប្រកួតប្រជែងកាន់តែខ្លាំងចំពោះជើងទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវផងដែរ។

សមាមាត្រប្រើប្រាស់

ផ្លូវបច្ចេកវិទ្យាកោសិកាភាគច្រើនគឺបច្ចេកវិទ្យា PERC និងបច្ចេកវិទ្យា TOPCon។ ចំណែកទីផ្សារនៃបច្ចេកវិទ្យា PERC គឺ 88% និងចំណែកទីផ្សារនៃបច្ចេកវិទ្យា TOPCon គឺ 8.3%។ ចំណែកទីផ្សាររួមបញ្ចូលគ្នានៃទាំងពីរគឺ 96.30%។

ដូចបង្ហាញក្នុងរូបភាពខាងក្រោម៖

នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា PERC ជើងទ្រទូកត្រូវបានទាមទារសម្រាប់ដំណើរការសាយភាយផូស្វ័រខាងមុខ និងដំណើរការដុត។ នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា TOPCon ជើងទ្រទូកត្រូវបានទាមទារសម្រាប់ដំណើរការសាយភាយបូរ៉ុនខាងមុខ LPCVD ការសាយភាយផូស្វ័រខាងក្រោយ និងដំណើរការដុត។ បច្ចុប្បន្ននេះ ជើងទ្រទូកស៊ីលីកុនកាប៊ីតត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាចម្បងនៅក្នុងដំណើរការ LPCVD នៃបច្ចេកវិទ្យា TOPCon ហើយការអនុវត្តរបស់វានៅក្នុងដំណើរការសាយភាយបូរ៉ុនត្រូវបានផ្ទៀងផ្ទាត់ជាចម្បង។

រូបភាពទី 1 ការអនុវត្តការគាំទ្រទូកនៅក្នុងដំណើរការកែច្នៃកោសិកា

ចំណាំ៖ បន្ទាប់ពីការស្រោបផ្នែកខាងមុខ និងខាងក្រោយនៃបច្ចេកវិទ្យា PERC និង TOPCon នៅតែមានតំណភ្ជាប់ដូចជាការបោះពុម្ពលើអេក្រង់ ការធ្វើស៊ីម៉ង់ត៍ និងការធ្វើតេស្ត និងការតម្រៀប ដែលមិនពាក់ព័ន្ធនឹងការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ទ្រទ្រង់ទូក និងមិនត្រូវបានរាយក្នុងរូបភាពខាងលើទេ។