Las funciones principales debarco de carburo de silicioEl soporte y el soporte para barcos de cuarzo son lo mismo.Barco de carburo de silicioEl soporte ofrece un rendimiento excelente, pero su precio es elevado. Constituye una alternativa al soporte de cuarzo en equipos de procesamiento de baterías con condiciones de trabajo exigentes (como los equipos LPCVD y de difusión de boro). En equipos de procesamiento de baterías con condiciones de trabajo habituales, debido a la relación precio-calidad, el soporte de carburo de silicio y el de cuarzo coexisten y compiten entre sí.
① Relación de sustitución en equipos de LPCVD y difusión de boro
El equipo LPCVD se utiliza para la oxidación por túnel de celdas de batería y el proceso de preparación de capas de polisilicio dopado. Principio de funcionamiento:
Bajo una atmósfera de baja presión, combinada con la temperatura adecuada, se logra la reacción química y la formación de la película de deposición para preparar una capa de óxido de túnel ultradelgada y una película de polisilicio. En el proceso de oxidación por túnel y preparación de la capa de polisilicio dopado, el soporte de la barca tiene una temperatura de trabajo alta y se depositará una película de silicio en la superficie. El coeficiente de expansión térmica del cuarzo es bastante diferente al del silicio. Cuando se utiliza en el proceso anterior, es necesario decapar y eliminar regularmente el silicio depositado en la superficie para evitar que el soporte de la barca de cuarzo se rompa debido a la expansión y contracción térmica debida a la diferencia en el coeficiente de expansión térmica con respecto al silicio. Debido al decapado frecuente y a la baja resistencia a altas temperaturas, el soporte de la barca de cuarzo tiene una vida útil corta y se reemplaza con frecuencia en el proceso de oxidación por túnel y preparación de la capa de polisilicio dopado, lo que aumenta significativamente el costo de producción de la celda de la batería. El coeficiente de expansión decarburo de silicioes similar al del silicio. El integradobarco de carburo de silicioEl soporte no requiere decapado en el proceso de oxidación del túnel ni en la preparación de la capa de polisilicio dopado. Posee una alta resistencia a altas temperaturas y una larga vida útil. Es una buena alternativa al soporte de cuarzo.
El equipo de expansión de boro se utiliza principalmente para el proceso de dopaje con boro en el sustrato de oblea de silicio tipo N de la celda de batería, con el fin de preparar el emisor tipo P y formar una unión PN. Su principio de funcionamiento consiste en realizar una reacción química y la formación de una película de deposición molecular en una atmósfera de alta temperatura. Una vez formada la película, se puede difundir mediante calentamiento a alta temperatura para lograr la función de dopaje de la superficie de la oblea de silicio. Debido a la alta temperatura de funcionamiento del equipo de expansión de boro, el soporte de la barquilla de cuarzo presenta baja resistencia a altas temperaturas y una corta vida útil.barco de carburo de silicioEl soporte tiene una alta resistencia a altas temperaturas y es una buena alternativa al soporte de barquilla de cuarzo en el proceso de expansión del boro.
② Relación de sustitución en otros equipos de proceso
Los soportes de SiC para embarcaciones tienen una capacidad de producción limitada y un rendimiento excelente. Su precio suele ser más elevado que el de los soportes de cuarzo. En condiciones normales de funcionamiento de los equipos de procesamiento celular, la diferencia en la vida útil entre los soportes de SiC y los de cuarzo es mínima. Los clientes finales comparan y eligen principalmente entre precio y rendimiento en función de sus propios procesos y necesidades. Los soportes de SiC y los de cuarzo se han vuelto coexistentes y competitivos. Sin embargo, el margen de beneficio bruto de los soportes de SiC es relativamente alto en la actualidad. Con la disminución del coste de producción de los soportes de SiC, si su precio de venta baja activamente, esto supondrá una mayor competitividad para los soportes de cuarzo.
Índice de uso
Las principales tecnologías de celdas son la tecnología PERC y la tecnología TOPCon. La cuota de mercado de la tecnología PERC es del 88%, mientras que la de la tecnología TOPCon es del 8,3%. La cuota de mercado combinada de ambas es del 96,30%.
Como se muestra en la siguiente figura:
En la tecnología PERC, se requieren soportes de barquilla para los procesos de difusión de fósforo y recocido. En la tecnología TOPCon, se requieren soportes de barquilla para los procesos de difusión de boro, LPCVD, difusión de fósforo y recocido. Actualmente, los soportes de barquilla de carburo de silicio se utilizan principalmente en el proceso LPCVD de la tecnología TOPCon, y su aplicación en el proceso de difusión de boro ha sido ampliamente verificada.
Figura Aplicación de soportes de barco en el proceso de procesamiento celular
Nota: Después del recubrimiento frontal y posterior de las tecnologías PERC y TOPCon, aún quedan etapas como la serigrafía, la sinterización, las pruebas y la clasificación, que no implican el uso de soportes para embarcaciones y no se muestran en la figura anterior.
Fecha de publicación: 15 de octubre de 2024