Hlavné funkcieloď z karbidu kremíkapodpora a podpora kremennej lode sú rovnaké.Loď z karbidu kremíkaPodpora má vynikajúci výkon, ale vysokú cenu. Predstavuje alternatívny vzťah k podpore kremenných lodičiek v zariadeniach na spracovanie batérií s náročnými pracovnými podmienkami (ako sú zariadenia LPCVD a zariadenia na difúziu bóru). V zariadeniach na spracovanie batérií s bežnými pracovnými podmienkami sa v dôsledku cenových vzťahov podpora karbidu kremíka a kremenných lodičiek stáva koexistujúcimi a zároveň konkurenčnými kategóriami.
① Substitučný vzťah v LPCVD a zariadení na difúziu bóru
Zariadenie LPCVD sa používa na tunelovú oxidáciu batériových článkov a na prípravu dopovanej polysilikónovej vrstvy. Princíp činnosti:
V nízkotlakovej atmosfére v kombinácii s vhodnou teplotou sa dosiahne chemická reakcia a tvorba depozičného filmu, čím sa pripraví ultratenká tunelová oxidová vrstva a polysilikónový film. V procese tunelovej oxidácie a prípravy dopovanej polysilikónovej vrstvy má držiak lodičky vysokú pracovnú teplotu a na povrchu sa usadí kremíkový film. Koeficient tepelnej rozťažnosti kremeňa sa značne líši od koeficientu tepelnej rozťažnosti kremíka. Pri použití vo vyššie uvedenom procese je potrebné pravidelne moreť a odstraňovať kremík usadený na povrchu, aby sa zabránilo zlomeniu držiaka kremíkových lodičiek v dôsledku tepelnej rozťažnosti a sťahovania, ktoré sú spôsobené odlišným koeficientom tepelnej rozťažnosti od kremíka. V dôsledku častého morenia a nízkej pevnosti pri vysokých teplotách má držiak kremíkových lodičiek krátku životnosť a v procese tunelovej oxidácie a prípravy dopovanej polysilikónovej vrstvy sa často vymieňa, čo výrazne zvyšuje výrobné náklady na batériový článok. Koeficient rozťažnostikarbid kremíkaje blízky kremíku. Integrovanýloď z karbidu kremíkaDržiak nevyžaduje morenie v tunelovej oxidácii a proces prípravy dopovanej polysilikónovej vrstvy. Má vysokú pevnosť pri vysokých teplotách a dlhú životnosť. Je dobrou alternatívou k držiaku z kremennej lode.
Zariadenie na expanziu bóru sa používa hlavne na proces dopovania bórových prvkov na kremíkový substrát typu N batériového článku, aby sa pripravil emitor typu P na vytvorenie PN prechodu. Princípom činnosti je realizácia chemickej reakcie a tvorby molekulárneho depozičného filmu vo vysokoteplotnej atmosfére. Po vytvorení filmu sa môže difúzovať zahrievaním pri vysokej teplote, aby sa dosiahla dopingová funkcia povrchu kremíkového plátku. Vzhľadom na vysokú pracovnú teplotu zariadenia na expanziu bóru má držiak kremennej lodičky nízku pevnosť pri vysokých teplotách a krátku životnosť zariadenia na expanziu bóru. Integrovaný...loď z karbidu kremíkaDržiak má vysokú pevnosť pri vysokých teplotách a je dobrou alternatívou k držiaku kremennej lodičky v procese expanzie bóru.
② Substitučný vzťah v iných procesných zariadeniach
Podpery lodí z SiC majú malú výrobnú kapacitu a vynikajúci výkon. Ich cena je vo všeobecnosti vyššia ako cena kremenných podpier lodí. Za všeobecných prevádzkových podmienok zariadení na bunkové spracovanie je rozdiel v životnosti medzi podperami lodí z SiC a kremennými podperami lodí malý. Následní zákazníci porovnávajú a vyberajú si medzi cenou a výkonom najmä na základe vlastných procesov a potrieb. Podpery lodí z SiC a kremenné podpery lodí sa stali koexistujúcimi a konkurenčnými. Hrubá zisková marža podpier lodí z SiC je však v súčasnosti relatívne vysoká. S poklesom výrobných nákladov na podpery lodí z SiC, ak sa predajná cena podpier lodí z SiC aktívne zníži, bude to predstavovať aj väčšiu konkurencieschopnosť kremenných podpier lodí.
Pomer využitia
Technológia buniek je zameraná najmä na technológie PERC a TOPCon. Trhový podiel technológie PERC je 88 % a trhový podiel technológie TOPCon je 8,3 %. Kombinovaný trhový podiel oboch technológií je 96,30 %.
Ako je znázornené na obrázku nižšie:
V technológii PERC sú pre procesy prednej difúzie fosforu a žíhania potrebné lodičkové podpery. V technológii TOPCon sú pre procesy prednej difúzie bóru, LPCVD, spätnej difúzie fosforu a žíhania potrebné lodičkové podpery. V súčasnosti sa lodičkové podpery z karbidu kremíka používajú hlavne v procese LPCVD technológie TOPCon a ich použitie v procese difúzie bóru bolo prevažne overené.
Obrázok Aplikácia podpier lodí v procese spracovania buniek
Poznámka: Po nanesení predného a zadného náteru technológiami PERC a TOPCon stále existujú prepojenia, ako je sieťotlač, spekanie a testovanie a triedenie, ktoré nezahŕňajú použitie podpier lodí a nie sú uvedené na obrázku vyššie.
Čas uverejnenia: 15. októbra 2024