Prednosti silicijevega karbidnega nosilca čolnov v primerjavi s kremenčevim nosilcem čolnov

Glavne funkciječoln iz silicijevega karbidapodpora in podpora za kremenčev čoln sta enaka.Čoln iz silicijevega karbidaPodpora ima odlično zmogljivost, vendar visoko ceno. Predstavlja alternativo nosilcu kremenčevega čolna v opremi za predelavo baterij z zahtevnimi delovnimi pogoji (kot sta oprema LPCVD in oprema za difuzijo bora). V opremi za predelavo baterij z običajnimi delovnimi pogoji zaradi cenovnih razmerij silicijev karbid in nosilec kremenčevega čolna postaneta sobivajoča in konkurenčna kategoriji.

① Nadomestno razmerje v opremi za LPCVD in difuzijo bora

Oprema LPCVD se uporablja za tunelsko oksidacijo baterijskih celic in pripravo plasti dopiranega polisilicija. Načelo delovanja:

V nizkotlačni atmosferi v kombinaciji z ustrezno temperaturo se doseže kemična reakcija in nastanek odlagalnega filma, s čimer se pripravi ultra tanka tunelska oksidna plast in polisilicijeva plast. Pri postopku tunelske oksidacije in priprave dopirane polisilicijeve plasti ima nosilec čolna visoko delovno temperaturo, na površino pa se nanese silicijeva plast. Koeficient toplotnega raztezanja kremena se precej razlikuje od koeficienta toplotnega raztezanja silicija. Pri uporabi v zgornjem postopku je treba redno lužiti in odstranjevati silicij, nanesen na površino, da se prepreči zlom nosilca kremenčevega čolna zaradi toplotnega raztezanja in krčenja, ki sta posledica drugačnega koeficienta toplotnega raztezanja od silicija. Zaradi pogostega luženja in nizke trdnosti pri visokih temperaturah ima nosilec kremenčevega čolna kratko življenjsko dobo in ga je treba med tunelsko oksidacijo in pripravo dopirane polisilicijeve plasti pogosto zamenjati, kar znatno poveča proizvodne stroške baterijske celice. Koeficient raztezanjasilicijev karbidje blizu silicijevemu. Integriraničoln iz silicijevega karbidaDržalo ne zahteva dekapiranja v tunelski oksidaciji in postopka priprave dopirane polisilicijeve plasti. Ima visoko temperaturno trdnost in dolgo življenjsko dobo. Je dobra alternativa kremenčevemu držalu za čolne.

Oprema za ekspanzijo bora se uporablja predvsem za postopek dopiranja borovih elementov na substrat silicijeve rezine tipa N v baterijski celici, da se emiter tipa P pripravi za tvorbo PN spoja. Načelo delovanja je izvedba kemične reakcije in tvorba molekularnega nanosa filma v visokotemperaturni atmosferi. Po nastanku filma se lahko ta difuzira z visokotemperaturnim segrevanjem, da se doseže dopiranje površine silicijeve rezine. Zaradi visoke delovne temperature opreme za ekspanzijo bora ima držalo kremenčevega čolna nizko visokotemperaturno trdnost in kratko življenjsko dobo v opremi za ekspanzijo bora. Integriraničoln iz silicijevega karbidaDržalo ima visoko temperaturno trdnost in je dobra alternativa držalu iz kremenčevega čolna v procesu ekspanzije bora.

② Nadomestno razmerje v drugi procesni opremi

Nosilci za čolne iz SiC imajo majhno proizvodno zmogljivost in odlično delovanje. Njihova cena je na splošno višja od cene kremenčevih nosilcev za čolne. V splošnih delovnih pogojih opreme za celično obdelavo je razlika v življenjski dobi med nosilci za čolne iz SiC in kremenčevimi nosilci za čolne majhna. Stranke v nižji ponudbi večinoma primerjajo in izbirajo med ceno in zmogljivostjo na podlagi lastnih procesov in potreb. Nosilci za čolne iz SiC in kremenčevi nosilci za čolne so postali soobstoječi in konkurenčni. Vendar je bruto dobiček nosilcev za čolne iz SiC trenutno relativno visok. Z zniževanjem proizvodnih stroškov nosilcev za čolne iz SiC bo, če se bo prodajna cena nosilcev za čolne iz SiC aktivno znižala, to pomenilo tudi večjo konkurenčnost kremenčevim nosilcem za čolne.

Razmerje uporabe

Pot celične tehnologije je v glavnem PERC in TOPCon. Tržni delež PERC tehnologije je 88 %, TOPCon pa 8,3 %. Skupni tržni delež obeh je 96,30 %.

Kot je prikazano na spodnji sliki:

V tehnologiji PERC so za procese sprednje difuzije fosforja in žarjenja potrebni nosilci čolnov. V tehnologiji TOPCon so za procese sprednje difuzije bora, LPCVD, zadnje difuzije fosforja in žarjenja potrebni nosilci čolnov. Trenutno se nosilci čolnov iz silicijevega karbida uporabljajo predvsem v procesu LPCVD tehnologije TOPCon, njihova uporaba v procesu difuzije bora pa je bila večinoma preverjena.

Slika Uporaba podpor za čolne v procesu celične obdelave

Opomba: Po sprednjem in zadnjem premazu tehnologij PERC in TOPCon so še vedno na voljo povezave, kot so sitotisk, sintranje ter testiranje in sortiranje, ki ne vključujejo uporabe podpor za čolne in niso navedene na zgornji sliki.