Uru nke nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide ma e jiri ya tụnyere nkwado ụgbọ mmiri quartz

Ọrụ ndị bụ isi nkeụgbọ mmiri silicon carbidenkwado na nkwado ụgbọ mmiri quartz bụ otu.Ụgbọ mmiri silicon carbideNkwado ahụ nwere arụmọrụ dị mma mana ọnụ ahịa ya dị elu. Ọ bụ mmekọrịta ọzọ na nkwado ụgbọ mmiri quartz na akụrụngwa nhazi batrị nwere ọnọdụ ọrụ siri ike (dịka akụrụngwa LPCVD na akụrụngwa mgbasa boron). Na akụrụngwa nhazi batrị nwere ọnọdụ ọrụ nkịtị, n'ihi mmekọrịta ọnụahịa, nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide na quartz na-aghọ otu ndị na-akpakọrịta ma na-asọmpi.

① Mmekọrịta nnọchi anya na LPCVD na akụrụngwa mgbasa ozi boron

A na-eji ngwa LPCVD eme ihe maka oxidation nke sel batrị na usoro nkwadebe polysilicon oyi akwa doped.

N'okpuru ikuku dị ala, yana okpomọkụ kwesịrị ekwesị, mmeghachi omume kemịkalụ na nhazi ihe nkiri deposition na-eme ka a kwadebe oyi akwa oxide tunneling ultra-thin na ihe nkiri polysilicon. N'ime usoro nkwadebe nke tunneling oxidation na doped polysilicon layer, nkwado ụgbọ mmiri nwere okpomọkụ ọrụ dị elu na a ga-etinye ihe nkiri silicon n'elu. Oke mmụba okpomọkụ nke quartz dị nnọọ iche na nke silicon. Mgbe ejiri ya na usoro dị n'elu, ọ dị mkpa ka a na-apịpịa ma wepụ silicon edobere n'elu iji gbochie nkwado ụgbọ mmiri quartz ka ọ ghara ịgbaji n'ihi mmụba okpomọkụ na mkpụkọ n'ihi oke mmụba okpomọkụ dị iche iche sitere na silicon. N'ihi oke mmụba okpomọkụ ugboro ugboro na obere ike okpomọkụ dị elu, onye na-ejide ụgbọ mmiri quartz nwere ndụ dị mkpụmkpụ ma a na-anọchi ya ugboro ugboro na usoro nkwadebe polysilicon doped layer, nke na-eme ka ọnụ ahịa mmepụta nke cell batrị dịkwuo elu nke ukwuu. Oke mmụba nkesilicon carbidedị nso na nke silicon.ụgbọ mmiri silicon carbideOnye na-ejide ya anaghị achọ ka a pịchaa ya n'ime ọwara ahụ na usoro nkwadebe nke polysilicon oyi akwa doped. O nwere ike dị elu na okpomọkụ na ndụ ogologo oge. Ọ bụ ezigbo ihe ọzọ maka onye na-ejide ụgbọ mmiri quartz.

A na-ejikarị ngwa mgbasa Boron eme ihe maka usoro doping ihe boron na ihe mkpuchi silicon wafer nke ụdị N nke sel batrị iji kwadebe ihe emitter ụdị P iji mepụta njikọ PN. Ụkpụrụ ọrụ bụ imezu mmeghachi omume kemịkalụ na nhazi ihe nkiri molekul n'ime ikuku okpomọkụ dị elu. Mgbe e guzobere ihe nkiri ahụ, enwere ike ịgbasa ya site na ikpo ọkụ dị elu iji mezuo ọrụ doping nke elu silicon wafer. N'ihi okpomọkụ dị elu nke akụrụngwa mgbasa boron, onye na-ejide ụgbọ mmiri quartz nwere ike dị ala na okpomọkụ dị elu na ndụ ọrụ dị mkpirikpi na akụrụngwa mgbasa boron.ụgbọ mmiri silicon carbideonye njide nwere ike dị elu nke okpomọkụ ma bụrụ ezigbo ihe ọzọ maka onye na-ejide ụgbọ mmiri quartz na usoro mgbasawanye boron.

② Mmekọrịta nnọchi anya na akụrụngwa usoro ndị ọzọ

Nkwado ụgbọ mmiri SiC nwere ikike mmepụta siri ike na arụmọrụ dị mma. Ọnụ ahịa ha na-adịkarị elu karịa nke nkwado ụgbọ mmiri quartz. N'ozuzu, ọnọdụ ọrụ nke ngwa nhazi sel, ọdịiche dị na ndụ ọrụ n'etiti nkwado ụgbọ mmiri SiC na nkwado ụgbọ mmiri quartz dị obere. Ndị ahịa dị n'okpuru ala na-atụnyere ma na-ahọrọ n'etiti ọnụahịa na arụmọrụ dabere na usoro na mkpa nke ha. Nkwado ụgbọ mmiri SiC na nkwado ụgbọ mmiri quartz aghọwo ihe dị adị ma na-asọmpi. Agbanyeghị, oke uru nke nkwado ụgbọ mmiri SiC dị elu ugbu a. Ka ọnụ ahịa mmepụta nke nkwado ụgbọ mmiri SiC na-ebelata, ọ bụrụ na ọnụ ahịa ire ere nke nkwado ụgbọ mmiri SiC na-ebelata nke ọma, ọ ga-ewetakwa asọmpi ka ukwuu na nkwado ụgbọ mmiri quartz.

Oke ojiji

Ụzọ teknụzụ sel bụ teknụzụ PERC na teknụzụ TOPCon. Oke ahịa nke teknụzụ PERC bụ 88%, òkè ahịa nke teknụzụ TOPCon bụkwa 8.3%. Oke ahịa nke ha abụọ bụ 96.30%.

Dịka egosiri na foto dị n'okpuru:

Na teknụzụ PERC, a chọrọ nkwado ụgbọ mmiri maka usoro mgbasa phosphorus n'ihu na ịgbasa ya. Na teknụzụ TOPCon, a chọrọ nkwado ụgbọ mmiri maka mgbasa boron n'ihu, LPCVD, mgbasa phosphorus azụ na ịgbasa ya. Ugbu a, a na-ejikarị nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide eme ihe na usoro LPCVD nke teknụzụ TOPCon, a na-enyochakwa ojiji ha na usoro mgbasa boron.

Foto Ngwa nke nkwado ụgbọ mmiri n'usoro nhazi sel

Rịba ama: Mgbe e mechara mkpuchi ihu na azụ nke teknụzụ PERC na TOPCon, enwere njikọ dịka mbipụta ihuenyo, ịsacha ihe na ịnwale na nhazi, nke anaghị agụnye iji ihe nkwado ụgbọ mmiri ma edepụtaghị na eserese dị n'elu.