Основні функціїчовен з карбіду кремніюопора та опора кварцового човна однакові.Човен з карбіду кремніюОпора має відмінні характеристики, але високу ціну. Вона являє собою альтернативу опорі для кварцових човників в обладнанні для обробки акумуляторів з жорсткими умовами роботи (наприклад, обладнання для LPCVD та обладнання для дифузії бору). В обладнанні для обробки акумуляторів зі звичайними умовами роботи, через цінове співвідношення, карбід кремнію та кварцова опора для човників стають співіснуючими та конкуруючими категоріями.
① Співвідношення заміщення в обладнанні для LPCVD та дифузії бору
Обладнання LPCVD використовується для тунельного окислення акумуляторних елементів та процесу підготовки шару легованого полікремнію. Принцип роботи:
В атмосфері низького тиску в поєднанні з відповідною температурою досягається хімічна реакція та формування плівки осадження для отримання надтонкого тунельного оксидного шару та плівки полікремнію. У процесі тунельного окислення та підготовки шару легованого полікремнію тримач човника має високу робочу температуру, і на поверхні осідає кремнієва плівка. Коефіцієнт теплового розширення кварцу суттєво відрізняється від коефіцієнта теплового розширення кремнію. При використанні у вищезгаданому процесі необхідно регулярно травити та видаляти кремній, осаджений на поверхні, щоб запобігти руйнуванню тримача кварцового човника через теплове розширення та стиснення, що зумовлено відмінним коефіцієнтом теплового розширення від кремнію. Через часте травлення та низьку міцність за високих температур, тримач кварцового човника має короткий термін служби та часто замінюється в процесі тунельного окислення та підготовки шару легованого полікремнію, що значно збільшує виробничу вартість акумуляторного елемента. Коефіцієнт розширеннякарбід кремніюблизький до кремнію. Інтегрованийчовен з карбіду кремніюТримач не потребує травлення в процесі тунельного окислення та підготовки шару легованого полікремнію. Він має високу міцність за високих температур та тривалий термін служби. Це гарна альтернатива кварцовому тримачу для човників.
Обладнання для розширення бору в основному використовується для процесу легування боровими елементами підкладки кремнієвої пластини N-типу акумуляторного елемента для підготовки емітера P-типу до формування PN-переходу. Принцип роботи полягає в реалізації хімічної реакції та утворенні плівки молекулярного осадження у високотемпературній атмосфері. Після формування плівки її можна дифузувати шляхом високотемпературного нагрівання для реалізації функції легування поверхні кремнієвої пластини. Через високу робочу температуру обладнання для розширення бору, тримач кварцового човника має низьку високотемпературну міцність та короткий термін служби в обладнанні для розширення бору. Інтегрованийчовен з карбіду кремніюТримач має високу міцність до високих температур і є гарною альтернативою кварцовому тримачу для човників у процесі розширення бору.
② Співвідношення заміщення в іншому технологічному обладнанні
Опори для човнів з карбіду кремнію (SIC) мають обмежені виробничі потужності та відмінні експлуатаційні характеристики. Їхня ціна, як правило, вища, ніж у кварцових опор для човнів. За загальних умов роботи обладнання для клітинної обробки різниця в терміні служби між опорами для човнів з карбіду кремнію та кварцовими опорами для човнів невелика. Споживачі, що здійснюють продажі, переважно порівнюють та обирають між ціною та продуктивністю на основі власних процесів та потреб. Опори для човнів з карбіду кремнію та кварцові опори для човнів стали співіснуючими та конкурентоспроможними. Однак валова рентабельність опор для човнів з карбіду кремнію наразі є відносно високою. Зі зниженням собівартості виробництва опор для човнів з карбіду кремнію, якщо ціна продажу опор для човнів з карбіду кремнію активно знижуватиметься, це також створить більшу конкурентоспроможність для кварцових опор для човнів.
Коефіцієнт використання
Технологія клітинної електростанції в основному базується на технологіях PERC та TOPCon. Частка ринку технології PERC становить 88%, а частка ринку технології TOPCon — 8,3%. Сукупна частка ринку цих двох технологій становить 96,30%.
Як показано на малюнку нижче:
У технології PERC, опори для човників потрібні для процесів фронтальної дифузії фосфору та відпалу. У технології TOPCon, опори для човників потрібні для процесів фронтальної дифузії бору, LPCVD, зворотної дифузії фосфору та відпалу. Наразі, опори для човників з карбіду кремнію в основному використовуються в процесі LPCVD технології TOPCon, і їх застосування в процесі дифузії бору було в основному перевірено.
Рисунок Застосування опор для човнів у процесі обробки клітин
Примітка: Після нанесення переднього та заднього покриття за технологіями PERC та TOPCon залишаються такі етапи, як трафаретний друк, спікання, випробування та сортування, які не передбачають використання опор для човнів і не перелічені на рисунку вище.
Час публікації: 15 жовтня 2024 р.