Главне функцијечамац од силицијум карбиданосач и носач кварцног чамца су исти.Чамац од силицијум карбидаНосач има одличне перформансе, али високу цену. Представља алтернативни однос са носачем кварцног чамца у опреми за обраду батерија са тешким радним условима (као што су LPCVD опрема и опрема за дифузију бора). У опреми за обраду батерија са уобичајеним радним условима, због односа цена, силицијум-карбидни и кварцни носач чамца постају коегзистирајуће и конкурентне категорије.
① Однос супституције у LPCVD и опреми за дифузију бора
LPCVD опрема се користи за тунелску оксидацију батеријских ћелија и процес припреме слоја допираног полисилицијума. Принцип рада:
У атмосфери ниског притиска, у комбинацији са одговарајућом температуром, постижу се хемијска реакција и формирање филма таложења како би се припремио ултратанки слој тунелског оксида и полисилицијумски филм. У процесу тунелске оксидације и припреме слоја допираног полисилицијума, носач чамца има високу радну температуру и силицијумски филм ће се таложити на површини. Коефицијент термичког ширења кварца је прилично различит од силицијума. Када се користи у горе наведеном процесу, потребно је редовно кисељење и уклањање силицијума таложеног на површини како би се спречило ломљење носача кварцног чамца услед термичког ширења и скупљања због различитог коефицијента термичког ширења од силицијума. Због честог кисељења и ниске чврстоће на високим температурама, држач кварцног чамца има кратак век трајања и често се замењује у процесу тунелске оксидације и припреме слоја допираног полисилицијума, што значајно повећава трошкове производње батеријске ћелије. Коефицијент ширењасилицијум карбидје близак силицијуму. Интегрисаничамац од силицијум карбидаДржач не захтева декапирање у тунелској оксидацији и процесу припреме слоја допираног полисилицијума. Има високу чврстоћу на високим температурама и дуг век трајања. Добра је алтернатива кварцном држачу за чамце.
Опрема за експанзију бора се углавном користи за процес допирања борових елемената на N-тип силицијумску подлогу батеријске ћелије како би се припремио P-тип емитер за формирање PN споја. Принцип рада је остваривање хемијске реакције и формирање филма молекуларног таложења у атмосфери високе температуре. Након што се филм формира, може се дифузовати загревањем на високој температури како би се остварила функција допирања површине силицијумске плочице. Због високе радне температуре опреме за експанзију бора, држач кварцног чамца има ниску чврстоћу на високим температурама и кратак век трајања у опреми за експанзију бора. Интегрисани...чамац од силицијум карбидаДржач има високу чврстоћу на високим температурама и добра је алтернатива држачу кварцног чамца у процесу експанзије бора.
② Однос супституције у другој процесној опреми
СиЦ носачи за чамце имају мали производни капацитет и одличне перформансе. Њихова цена је генерално виша од цене кварцних носача за чамце. У општим условима рада опреме за ћелијску обраду, разлика у веку трајања између СиЦ носача за чамце и кварцних носача за чамце је мала. Купци низводно углавном упоређују и бирају између цене и перформанси на основу сопствених процеса и потреба. СиЦ носачи за чамце и кварцни носачи за чамце постали су коегзистирајући и конкурентни. Међутим, бруто маржа профита СиЦ носача за чамце је тренутно релативно висока. Са падом трошкова производње СиЦ носача за чамце, ако продајна цена СиЦ носача за чамце активно опадне, то ће такође представљати већу конкурентност у односу на кварцне носаче за чамце.
Однос коришћења
Технологија ћелија је углавном PERC технологија и TOPCon технологија. Тржишни удео PERC технологије је 88%, а тржишни удео TOPCon технологије је 8,3%. Комбиновани тржишни удео ове две технологије је 96,30%.
Као што је приказано на слици испод:
У PERC технологији, носачи чамаца су потребни за процесе предње дифузије фосфора и жарења. У TOPCon технологији, носачи чамаца су потребни за процесе предње дифузије бора, LPCVD, задње дифузије фосфора и жарења. Тренутно се носачи чамаца од силицијум карбида углавном користе у LPCVD процесу TOPCon технологије, а њихова примена у процесу дифузије бора је углавном верификована.
Слика Примена носача чамаца у процесу обраде ћелија
Напомена: Након предњег и задњег премаза PERC и TOPCon технологија, још увек постоје везе као што су сито штампа, синтеровање и тестирање и сортирање, које не укључују употребу носача чамаца и нису наведене на горњој слици.
Време објаве: 15. октобар 2024.