PECVD nosač grafitnih pločica

Istaknuta slika nosača PECVD grafitnih pločica

Kratki opis:

Dizajniran za preciznost i performanse, VET Energyjev grafitni nosač pločica idealan je materijal za upotrebu u naprednoj obradi pločica, gdje su visoka toplinska stabilnost i dosljedne performanse ključne. Bez obzira radite li s poluvodičkim pločicama ili drugim osjetljivim podlogama, ovaj visokokvalitetni grafitni nosač poboljšat će pouzdanost vašeg procesa i kvalitetu proizvoda, što ga čini nezamjenjivom komponentom za modernu proizvodnju.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

VET Energy PECVD grafitni nosač za procesnu pločicu je potrošni materijal dizajniran za PECVD (plazma poboljšano kemijsko taloženje iz pare) proces. Ovaj proizvod izrađen je od grafitnog materijala visoke čistoće i gustoće, s izvrsnom otpornošću na visoke temperature, otpornosti na koroziju, dimenzijske stabilnosti i drugim karakteristikama, te može pružiti stabilnu potpornu platformu za PECVD proces, kako bi se osigurala ujednačenost i ravnost taloženja filma.

Dizajn "grafitne podloge" VET Energy grafitnog nosača pločice ne samo da može učinkovito podupirati pločicu, već i osigurati toplinsku stabilnost u PECVD okruženju visoke temperature i visokog tlaka kako bi se osigurala stabilnost procesa.

Nosač grafitne pločice dobiven VET Energy PECVD procesom ima sljedeće karakteristike:

▪Visoka čistoća:izuzetno nizak sadržaj nečistoća, izbjegava kontaminaciju filma, kako bi se osigurala kvaliteta filma.

▪Visoka gustoća:visoke gustoće, visoke mehaničke čvrstoće, može izdržati visoke temperature i visoki tlak PECVD okruženja.

▪Dobra dimenzijska stabilnost:male dimenzijske promjene na visokoj temperaturi kako bi se osigurala stabilnost procesa.

▪Izvrsna toplinska vodljivost:učinkovito prenose toplinu kako bi spriječili pregrijavanje pločice.

▪Jaka otpornost na koroziju:Otporan na eroziju uzrokovanu raznim korozivnim plinovima i plazmom.

▪Prilagođena usluga:Grafitni potporni stolovi različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi potrebama kupaca.

Grafitni materijal od SGL-a:

Tipični parametar: R6510
Indeks	Standard ispitivanja	Vrijednost	Jedinica
Prosječna veličina zrna	ISO 13320	10	μm
Gustoća nasipnog materijala	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otvorena poroznost	DIN66133	10	%
Srednja veličina pora	DIN66133	1,8	μm
Propusnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifični električni otpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fleksibilna čvrstoća	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tlačna čvrstoća	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Toplinsko širenje (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Toplinska vodljivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Posebno je dizajniran za visokoučinkovitu proizvodnju solarnih ćelija, podržavajući obradu velikih G12 pločica. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava protok, omogućujući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.

Artikal	Tip	Nosač pločice s brojem
PEVCD Grephite brod - Serija 156	156-13 gramofnasti brod	144
	156-19 grafitni brod	216
	156-21 gramozna čamac	240
	156-23 grafitni čamac	308
PEVCD Grephite brod - Serija 125	125-15 gramozna čamac	196
	125-19 gramozna čamac	252
	125-21 grafitni brod	280