PECVD grafit ostya tartó

Rövid leírás:

A VET Energy grafit ostyatartóját a precízióra és a teljesítményre terveztük, így ideális anyag a fejlett ostyafeldolgozáshoz, ahol a magas hőstabilitás és az állandó teljesítmény kritikus fontosságú. Akár félvezető ostyákkal, akár más kényes hordozókkal dolgozik, ez a kiváló minőségű grafittartó növeli a folyamat megbízhatóságát és a termékminőséget, így nélkülözhetetlen alkotóelemévé válik a modern gyártásnak.

Küldjön nekünk e-mailt Letöltés PDF-ként

Termék részletei

Termékcímkék

A VET Energy PECVD eljárással készült grafit lapkatartója egy PECVD (plazma-erősítésű kémiai gőzfázisú leválasztás) eljáráshoz tervezett mag. Ez a termék nagy tisztaságú, nagy sűrűségű grafit anyagból készül, kiváló hőállósággal, korrózióállósággal, méretstabilitással és egyéb jellemzőkkel rendelkezik, stabil tartóplatformot biztosít a PECVD eljáráshoz, biztosítva a filmleválasztás egyenletességét és síkfelületét.

A VET Energy grafit ostyatartójának „grafit tartó” kialakítása nemcsak hatékonyan tartja meg az ostyát, hanem hőstabilitást is biztosít a magas hőmérsékletű és nagynyomású PECVD környezetben, biztosítva a folyamat stabilitását.

A VET Energy PECVD eljárással készült grafit ostyatartója a következő jellemzőkkel rendelkezik:

▪Nagy tisztaságú:Rendkívül alacsony szennyeződés-tartalom, elkerülhető a film szennyeződése, a film minőségének biztosítása érdekében.

▪Nagy sűrűség:nagy sűrűségű, nagy mechanikai szilárdságú, ellenáll a magas hőmérsékletnek és a nagynyomású PECVD környezetnek.

▪Jó méretstabilitás:kis méretváltozások magas hőmérsékleten a folyamat stabilitásának biztosítása érdekében.

▪Kiváló hővezető képesség:hatékonyan vezeti át a hőt, hogy megakadályozza az ostya túlmelegedését.

▪Erős korrózióállóság:Képes ellenállni a különféle korrozív gázok és a plazma eróziójának.

▪Testreszabott szolgáltatás:Különböző méretű és formájú grafit tartóasztalok testreszabhatók az ügyfél igényei szerint.

Grafit anyag az SGL-től:

Tipikus paraméter: R6510
Index	Vizsgálati szabvány	Érték	Egység
Átlagos szemcseméret	ISO 13320	10	μm
Térfogatsűrűség	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Nyitott porozitás	DIN66133	10	%
Közepes pórusméretű	DIN66133	1.8	μm
Áteresztőképesség	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell keménység HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Fajlagos elektromos ellenállás	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hajlító szilárdság	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Nyomószilárdság	DIN 51910	130	MPa
Young modulusa	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Hőtágulás (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Hővezető képesség (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Kifejezetten nagy hatékonyságú napelemgyártáshoz tervezték, támogatva a G12 nagyméretű szeletek feldolgozását. Az optimalizált hordozótervezés jelentősen növeli az átviteli sebességet, lehetővé téve a magasabb hozamot és az alacsonyabb termelési költségeket.

Tétel	Típus	Számlap hordozó
PEVCD Grephite hajó - A 156-os sorozat	156-13 grefit csónak	144
	156-19 grefit csónak	216
	156-21 grefit csónak	240
	156-23 grafit csónak	308
PEVCD Grephite hajó - A 125-ös sorozat	125-15 grefit csónak	196
	125-19 grefit csónak	252
	125-21 grafit csónak	280