PECVD ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट

VET Energy PECVD प्रक्रिया के लिए ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट एक मुख्य उपभोज्य वस्तु है जिसे PECVD (प्लाज्मा एनहांस्ड केमिकल वेपर डिपोजिशन) प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह उत्पाद उच्च शुद्धता और उच्च घनत्व वाले ग्रेफाइट पदार्थ से बना है, जिसमें उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और अन्य विशेषताएं हैं। यह PECVD प्रक्रिया के लिए एक स्थिर सपोर्ट प्लेटफॉर्म प्रदान करता है, जिससे फिल्म डिपोजिशन की एकरूपता और समतलता सुनिश्चित होती है।

वीईटी एनर्जी के ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट का "ग्रेफाइट सपोर्ट" डिजाइन न केवल वेफर को प्रभावी ढंग से सहारा दे सकता है, बल्कि उच्च तापमान और उच्च दबाव वाले पीईसीवीडी वातावरण में थर्मल स्थिरता भी प्रदान करता है ताकि प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित हो सके।

VET Energy PECVD प्रक्रिया द्वारा निर्मित ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:

▪उच्च शुद्धता:अत्यंत कम अशुद्धता स्तर, फिल्म के संदूषण से बचाव, जिससे फिल्म की गुणवत्ता सुनिश्चित होती है।

▪उच्च घनत्व:उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान और उच्च दबाव वाले PECVD वातावरण को सहन कर सकता है।

▪अच्छी आयामी स्थिरता:प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए उच्च तापमान पर छोटे आयामी परिवर्तन किए जाते हैं।

▪उत्कृष्ट तापीय चालकता:वेफर को अधिक गर्म होने से बचाने के लिए ऊष्मा को प्रभावी ढंग से स्थानांतरित करना।

▪उच्च संक्षारण प्रतिरोध:विभिन्न संक्षारक गैसों और प्लाज्मा द्वारा होने वाले क्षरण का प्रतिरोध करने में सक्षम।

▪अनुकूलित सेवा:ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न आकारों और आकृतियों के ग्रेफाइट सपोर्ट टेबल को अनुकूलित किया जा सकता है।