PECVD ग्रेफाइट वेफर समर्थन

VET Energy PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट PECVD (प्लाज्मा एन्हांस्ड केमिकल वेपर डिपोजिशन) प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया एक मुख्य उपभोज्य है। यह उत्पाद उच्च शुद्धता, उच्च घनत्व वाले ग्रेफाइट सामग्री से बना है, जिसमें उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और अन्य विशेषताएं हैं, जो PECVD प्रक्रिया के लिए एक स्थिर समर्थन मंच प्रदान कर सकता है, ताकि फिल्म जमाव की एकरूपता और समतलता सुनिश्चित हो सके।

वीईटी एनर्जी ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट का "ग्रेफाइट सपोर्ट" डिजाइन न केवल वेफर को प्रभावी ढंग से सपोर्ट कर सकता है, बल्कि प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए उच्च तापमान और उच्च दबाव वाले पीईसीवीडी वातावरण में थर्मल स्थिरता भी प्रदान कर सकता है।

वीईटी एनर्जी पीईसीवीडी प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर समर्थन में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:

▪उच्च शुद्धता:अत्यंत कम अशुद्धता सामग्री, फिल्म के संदूषण से बचने के लिए, फिल्म की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए।

▪उच्च घनत्व:उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान और उच्च दबाव PECVD वातावरण का सामना कर सकते हैं।

▪अच्छी आयामी स्थिरता:प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए उच्च तापमान पर छोटे आयामी परिवर्तन।

▪उत्कृष्ट तापीय चालकता:वेफर को अधिक गर्म होने से बचाने के लिए प्रभावी रूप से गर्मी का स्थानांतरण करें।

▪मजबूत संक्षारण प्रतिरोध:विभिन्न संक्षारक गैसों और प्लाज्मा द्वारा क्षरण का प्रतिरोध करने में सक्षम।

▪अनुकूलित सेवा:विभिन्न आकारों और आकृतियों की ग्रेफाइट समर्थन तालिकाओं को ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।