PECVD ග්‍රැෆයිට් වේෆර් සහාය

VET බලශක්ති PECVD ක්‍රියාවලි මිනිරන් වේෆර් ආධාරකය යනු PECVD (ප්ලාස්මා වැඩි දියුණු කළ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) ක්‍රියාවලිය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති මූලික පරිභෝජන ද්‍රව්‍යයකි. මෙම නිෂ්පාදනය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, ඉහළ ඝනත්ව මිනිරන් ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ඇති අතර, විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධයක්, විඛාදන ප්‍රතිරෝධයක්, මාන ස්ථායිතාවයක් සහ අනෙකුත් ලක්ෂණ සහිතව, පටල තැන්පත් වීමේ ඒකාකාරිත්වය සහ සමතලා බව සහතික කිරීම සඳහා PECVD ක්‍රියාවලිය සඳහා ස්ථාවර ආධාරක වේදිකාවක් සැපයිය හැකිය.

VET බලශක්ති ග්‍රැෆයිට් වේෆර් ආධාරකයේ "මිනිරන් ආධාරක" සැලසුම මඟින් වේෆරයට ඵලදායී ලෙස සහාය වීම පමණක් නොව, ක්‍රියාවලියේ ස්ථායිතාව සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්ව සහ අධි පීඩන PECVD පරිසරයේ තාප ස්ථායිතාව ද ලබා දිය හැකිය.

VET බලශක්ති PECVD ක්‍රියාවලි මිනිරන් වේෆර් ආධාරකයට පහත ලක්ෂණ ඇත:

▪ ශ්‍රව්‍යඉහළ සංශුද්ධතාවය:චිත්‍රපටයේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා, චිත්‍රපටය දූෂණය වීම වැළැක්වීම සඳහා අතිශයින් අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතයක්.

▪ ශ්‍රව්‍යඅධික ඝනත්වය:ඉහළ ඝනත්වය, ඉහළ යාන්ත්‍රික ශක්තිය, ඉහළ උෂ්ණත්වය සහ අධි පීඩන PECVD පරිසරයට ඔරොත්තු දිය හැකිය.

▪ ශ්‍රව්‍යහොඳ මාන ස්ථාවරත්වයක්:ක්‍රියාවලියේ ස්ථායිතාව සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්වයේ දී කුඩා මාන වෙනස්කම්.

▪ ශ්‍රව්‍යවිශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය:වේෆර් අධික උනුසුම් වීම වැළැක්වීම සඳහා ඵලදායී ලෙස තාපය මාරු කරයි.

▪ ශ්‍රව්‍යශක්තිමත් විඛාදන ප්‍රතිරෝධය:විවිධ විඛාදන වායු සහ ප්ලාස්මා මගින් සිදුවන ඛාදනයට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව ඇත.

▪ ශ්‍රව්‍යඅභිරුචිකරණය කළ සේවාව:විවිධ ප්‍රමාණයන්ගෙන් සහ හැඩයන්ගෙන් යුත් මිනිරන් ආධාරක වගු පාරිභෝගික අවශ්‍යතා අනුව අභිරුචිකරණය කළ හැකිය.