VET බලශක්ති PECVD ක්රියාවලි මිනිරන් වේෆර් ආධාරකය යනු PECVD (ප්ලාස්මා වැඩි දියුණු කළ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) ක්රියාවලිය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති මූලික පරිභෝජන ද්රව්යයකි. මෙම නිෂ්පාදනය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, ඉහළ ඝනත්ව මිනිරන් ද්රව්ය වලින් සාදා ඇති අතර, විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක්, විඛාදන ප්රතිරෝධයක්, මාන ස්ථායිතාවයක් සහ අනෙකුත් ලක්ෂණ සහිතව, පටල තැන්පත් වීමේ ඒකාකාරිත්වය සහ සමතලා බව සහතික කිරීම සඳහා PECVD ක්රියාවලිය සඳහා ස්ථාවර ආධාරක වේදිකාවක් සැපයිය හැකිය.
VET බලශක්ති ග්රැෆයිට් වේෆර් ආධාරකයේ "මිනිරන් ආධාරක" සැලසුම මඟින් වේෆරයට ඵලදායී ලෙස සහාය වීමට පමණක් නොව, ක්රියාවලියේ ස්ථායිතාව සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්ව සහ අධි පීඩන PECVD පරිසරයේ තාප ස්ථායිතාව ලබා දීමටද හැකිය.
VET බලශක්ති PECVD ක්රියාවලි මිනිරන් වේෆර් ආධාරකයට පහත ලක්ෂණ ඇත:
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයඉහළ සංශුද්ධතාවය:චිත්රපටයේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා, චිත්රපටය දූෂණය වීම වැළැක්වීම සඳහා අතිශයින් අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතයක්.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයඅධික ඝනත්වය:ඉහළ ඝනත්වය, ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය, ඉහළ උෂ්ණත්වය සහ අධි පීඩන PECVD පරිසරයට ඔරොත්තු දිය හැකිය.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයහොඳ මාන ස්ථාවරත්වයක්:ක්රියාවලියේ ස්ථායිතාව සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්වයේ දී කුඩා මාන වෙනස්කම්.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයවිශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය:වේෆර් අධික උනුසුම් වීම වැළැක්වීම සඳහා ඵලදායී ලෙස තාපය මාරු කරයි.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයශක්තිමත් විඛාදන ප්රතිරෝධය:විවිධ විඛාදන වායු සහ ප්ලාස්මා මගින් සිදුවන ඛාදනයට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව ඇත.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයඅභිරුචිකරණය කළ සේවාව:විවිධ ප්රමාණයන්ගෙන් සහ හැඩයන්ගෙන් යුත් මිනිරන් ආධාරක වගු පාරිභෝගික අවශ්යතා අනුව අභිරුචිකරණය කළ හැකිය.
SGL වෙතින් මිනිරන් ද්රව්ය:
| සාමාන්ය පරාමිතිය: R6510 | |||
| දර්ශකය | පරීක්ෂණ ප්රමිතිය | වටිනාකම | ඒකකය |
| සාමාන්ය ධාන්ය ප්රමාණය | අයිඑස්ඕ 13320 | 10 යි | μm |
| තොග ඝනත්වය | ඩින් අයිඊසී 60413/204 | 1.83 යනු | ග්රෑම්/සෙ.මී.3 |
| විවෘත සිදුරු | DIN66133 හඳුන්වා දීම | 10 යි | % |
| මධ්යම සිදුරු ප්රමාණය | DIN66133 හඳුන්වා දීම | 1.8 මාලා | μm |
| පාරගම්යතාව | ඩින් 51935 | 0.06 යනු | සෙ.මී.²/තත්පරය |
| රොක්වෙල් දෘඪතාව HR5/100 | DIN IEC60413/303 හඳුන්වා දීම | 90 යි | HR |
| නිශ්චිත විද්යුත් ප්රතිරෝධය | ඩින් අයිඊසී 60413/402 | 13 | μΩm |
| නම්යශීලී ශක්තිය | ඩින් අයිඊසී 60413/501 | 60 | එම්පීඒ |
| සම්පීඩ්යතා ශක්තිය | ඩින් 51910 | 130 යි | එම්පීඒ |
| යංගේ මාපාංකය | ඩින් 51915 | 11.5×10³ | එම්පීඒ |
| තාප ප්රසාරණය (20-200℃) | ඩින් 51909 | 4.2X10 (4.2X10) යනු කුමක්ද?-6 | K-1 |
| තාප සන්නායකතාවය (20℃) | ඩින් 51908 | 105 යි | Wm-1K-1 |
එය විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත්තේ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයකින් යුත් සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය සඳහා වන අතර, G12 විශාල ප්රමාණයේ වේෆර් සැකසීමට සහාය වේ. ප්රශස්ත වාහක සැලසුම සැලකිය යුතු ලෙස ප්රතිදානය වැඩි කරයි, ඉහළ අස්වැන්න අනුපාත සහ අඩු නිෂ්පාදන පිරිවැය සක්රීය කරයි.
| අයිතමය | වර්ගය | වේෆර් වාහක අංකය |
| PEVCD ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව - 156 ශ්රේණිය | 156-13 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 144 (ස්පාඤ්ඤය) |
| 156-19 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 216 ශ්රේණිය | |
| 156-21 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 240 (240) | |
| 156-23 මිනිරන් බෝට්ටුව | 308 - | |
| PEVCD ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව - 125 ශ්රේණිය | 125-15 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 196 (ස්පාඤ්ඤය) |
| 125-19 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 252 (252) | |
| 125-21 ග්රිෆයිට් බෝට්ටුව | 280 (280) |
-
Vet අභිරුචි ඉහළ උෂ්ණත්වයට ඔරොත්තු දෙන මිනිරන් ...
-
ඉහළ උෂ්ණත්ව ඒක දිශානුගත කාබන් ෆයිබර් එල්...
-
කල් පවතින, ජල ආරක්ෂිත සහ ඇඳීමට ඔරොත්තු දෙන, නවෝත්පාදන...
-
සමස්ථානික මිනිරන් සහ විශේෂ මිනිරන් බ්ලොක් යූ...
-
අභිරුචි මිනිරන් වළල්ල විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන සමස්ථානික...
-
ඉන්ධන සෛල සඳහා ග්රැෆයිට් කඩදාසි h... වලට ප්රතිරෝධී වේ.