
Varkë me pllaka kuarciështë një mjet kryesor bartës në prodhimin e gjysmëpërçuesve, prodhimin e qelizave fotovoltaike dhe kërkimin dhe zhvillimin e materialeve të avancuara, i projektuar për transferimin dhe pozicionimin e qëndrueshëm të pllakave të drurit në procese me temperaturë të lartë. Ky produkt është bërë nga silicë e shkrirë me pastërti ultra të lartë (SiO2), me rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturës, stabilitet kimik dhe karakteristika ultra të ulëta të ndotjes së metaleve, i përshtatshëm për furrën e difuzionit, furrën e oksidimit, PECVD/LPCVD dhe pajisje të tjera, i përdorur gjerësisht në veshjen e pllakave të drurit, implantimin e joneve, pjekjen në temperaturë të lartë dhe procese të tjera thelbësore.
Përparësitë kryesore të varkës prej kuarci të VET Energy:
- Material me pastërti ultra të lartë
Pastërtia ≥99.99%: Përmbajtja e papastërtive (Na, K, Fe, etj.) <5ppm, duke shmangur kontaminimin e pllakave dhe duke garantuar rendimentin e çipave.
Reshje dhe adsorbim i ulët: sipërfaqja është super e lëmuar (Ra≤0.4μm) për të zvogëluar ngjitjen e grimcave dhe mbetjet e gazit. - Stabilitet në temperaturë të lartë
Kufiri i temperaturës: Temperatura e punës afatgjatë prej 1100℃, kulmi afatshkurtër prej 1300℃, pa deformim, pa reshje kristalesh.
Koeficient i ulët i zgjerimit termik (5.5x10-7/℃), rezistencë e shkëlqyer ndaj goditjeve termike, i adaptueshëm ndaj procesit të rritjes dhe rënies së shpejtë të temperaturës (p.sh., kalitja e shpejtë RTP). - Dizajn i saktë strukturor
Preciziteti i prerjes ± 0.1 mm: përputhje e pllakave nga 2" deri në 12", gabimi i uniformitetit të hapësirës <0.05 mm, duke siguruar që pllakat të mos kenë zhvendosje.
Kapacitet i lartë ngarkese: Ngarkesë maksimale prej 50 napolitanësh (në terma të napolitanëve 12”) në një varkë të vetme, duke mbështetur transferimin e qëndrueshëm të napolitanëve të hollë (≥100um). - Inertiteti kimik
Rezistenca ndaj korrozionit: Rezistente ndaj korrozionit të acidit (përveç HF), alkalit dhe tretësit organik, e pajtueshme me procesin e pastrimit CMP.
Ngushtësi e shkëlqyer ndaj gazit: Shkalla e rrjedhjes <5x10-10 Pa.m3/s, e përshtatshme për mjedise me vakum dhe mbrojtëse me gaz. - Jetëgjatësi dhe mirëmbajtje e gjatë
Jetëgjatësia ≥ 5000 cikle (kushte normale pune), sipërfaqja mund të pastrohet dhe përdoret në mënyrë të përsëritur, duke ulur koston e përgjithshme.
Dizajni modular: mbështet zëvendësimin e pjesshëm (p.sh., dhëmb i vetëm i varkës), duke zvogëluar kohën e ndërprerjes së funksionimit.
Ne ofrojmë sipërfaqe transparente dhe të mbuluara me arrë sipas kërkesave të klientit:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd është një ndërmarrje e teknologjisë së lartë që përqendrohet në prodhimin dhe shitjen e materialeve të përparuara të nivelit të lartë, materialet dhe teknologjia përfshijnë grafit, karabit të silikonit, qeramikën, trajtim sipërfaqësor si veshje SiC, veshje TaC, veshje karboni qelqor, veshje karboni pirolitik, etj., këto produkte përdoren gjerësisht në fotovoltaikë, gjysmëpërçues, energji të re, metalurgji, etj.
Ekipi ynë teknik vjen nga institucione kërkimore vendase kryesore dhe ka zhvilluar teknologji të shumta të patentuara për të siguruar performancën dhe cilësinë e produktit, gjithashtu mund t'u ofrojë klientëve zgjidhje profesionale materiale.
-
Qeramikë SiC e karabit të silikonit poroz
-
Materiale harxhuese të pajisjeve gjysmëpërçuese prej alumini...
-
Cer alumini rezistent ndaj temperaturave të larta dhe konsumimit...
-
Mandrinë vakumi qeramike poroze e avancuar
-
Mëngë elektrode gjysmëpërçuese prej qeramike alumini
-
Ngrohës qeramik me pllaka alumini AlN








